Televac AN 3023: Automatische Steuerung einer MX7B/MX7M mit einer MX2A/MX4A

Zweck

This application note explains how the relay set point of an MX2A or MX4A rough vacuum active gauge can be used to automatically enable and disable an MX7B or MX7M cold cathode high vacuum active gauge.

Relevant Televac® Products

This application note applies to the Televac® products listed below:

Beschreibung Teilenummer
MX2A 2-8910-1XX
MX4A 2-8930-1XX
MX7B 2-8940-XXX
MX7M 2-8950-XXX
MX2A/MX4A 15-Leiter-Kabel 2-9858-XXX
MX7B/MX7M 6-Leiter-Kabel 2-9873-XXX
MX7B/MX7M 15-Leiter-Kabel 2-9858-XXX

Hintergrund

The Televac® MX2A and MX4A are thermal conductivity gauges for rough vacuum measurement (1*10-3 Torr to 1000 Torr). The Televac® MX7B and MX7M are cold cathode gauges for high and ultra high vacuum measurement (1*10-11/1*10-8 Torr to 1*10-2 Torr).

Aufgrund der Konstruktion von Kaltkathoden ist es wichtig, dass sie nicht bei Drücken über 1*10-2 Torr eingeschaltet werden. Das Einschalten der Kaltkathode bei höheren Drücken führt zu Sputtering, Oxidation und Verschmutzung; dies führt zu ungenauen Messwerten und Beschädigung des Sensors. Daher ist es notwendig, ein Grobvakuummeter, wie z. B. das MX2A oder MX4A, zu verwenden, um die Kaltkathode bei Drücken über 1*10-2 Torr zu deaktivieren.

Der MX2A und der MX4A verfügen beide über einen Relais-Sollwert, der im Wesentlichen ein Schalter ist, der auf einen bestimmten Vakuumwert eingestellt werden kann. In diesem Fall wird der Sollwert 1*10-2 Torr sein. Das Relais kann mit der Spannungsversorgung der Kaltkathode verdrahtet werden, wodurch ein aktives Messgerätesystem entsteht, das von 1*10-11/1*10-8 Torr bis 1000 Torr messen kann.

Configuring the MX2A/MX4A Set Point

Der MX2A und MX4A haben 2 Sollwerte. Diese Anwendung funktioniert am besten mit dem Relais-Sollwert, daher konzentriert sich dieser Anwendungshinweis auf den Sollwert 2.

Sollwert 2 hat 2 Einstellungen:

1. SP2H (Set Point 2 High) - der Vakuumwert, bei dem der Sollwert deaktiviert wird.
2. SP2L (Set Point 2 Low) - der Vakuummesswert, bei dem der Sollwert aktiviert wird

Wir empfehlen die folgenden Einstellungen für SP2 zur Steuerung einer MX7B oder MX7M.

1. SP2H - 0,012 Torr (12 mTorr, 12 Mikrometer, 1,2*10-2 Torr)
2. SP2L - 0,010 Torr (10 mTorr, 10 Mikrometer, 1,0*10-2 Torr)

Beachten Sie, dass dies nur Empfehlungen sind. Ihr System kann andere Einstellungen erfordern.

Gehen Sie wie folgt vor, um die Einstellungen für SP2H und SP2L zu ändern:

1. Drücken Sie die Taste SEL, bis auf dem Bildschirm "Sollwerte" angezeigt wird.
2. Verwenden Sie die Auf-/Ab-Pfeile, bis auf dem Bildschirm "SP2L" angezeigt wird.
3. Drücken Sie ENT. Oben auf dem Bildschirm wird nun "ADJ" angezeigt.
4. Verwenden Sie die Auf-/Ab-Pfeile, um den Wert auf den gewünschten SP2L einzustellen. In unseren obigen Empfehlungen wäre dies 0,010.
5. Drücken Sie erneut ENT, um die Änderung zu speichern. Die Anzeige "ADJ" am oberen Rand des Bildschirms wird ausgeblendet.
6. Drücken Sie den Abwärtspfeil. Auf dem Bildschirm sollte nun SP2H angezeigt werden. Wenn dies nicht der Fall ist, drücken Sie die Pfeiltasten, bis dies der Fall ist.
7. Drücken Sie ENT. "ADJ" erscheint wieder am oberen Rand des Bildschirms.
8. Verwenden Sie die Auf-/Ab-Pfeile, um die Werte auf den gewünschten SP2H einzustellen. In unseren obigen Empfehlungen wäre dies 0,012.
9. Drücken Sie erneut ENT, um die neue Einstellung zu speichern. Die Anzeige "ADJ" am oberen Rand des Bildschirms wird ausgeblendet.
10. Drücken Sie SEL, bis Sie den Messbildschirm erreichen, oder warten Sie, bis der Bildschirm eine Zeitüberschreitung aufweist.

SP2H und SP2L können auch mit dem RS-485-Befehl W3 geändert werden. Der folgende Befehl ändert SP2H und SP2L auf unsere empfohlenen Werte.

Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed):

*XW310021202<cr>

See the instruction manual for the MX2A and MX4A for more information on the W3 command.

Enabling Pin Control on the MX7B/MX7M

Das MX7B/MX7M muss in den Stiftsteuerungsmodus versetzt werden, bevor es mit einem MX2A/MX4A ein- und ausgeschaltet werden kann. Führen Sie die folgenden Schritte aus, um das Messgerät in den Pin-Steuermodus zu versetzen:

1. Drücken Sie SEL, bis der Bildschirm "Systemeinstellungen" anzeigt. Wenn Sie sich zunächst auf dem Messbildschirm befinden, sollten Sie 2 Mal drücken, um diesen Bildschirm zu erreichen.
2. Drücken Sie SEL, bis "Vsense Control" auf dem Bildschirm angezeigt wird. Dies sollte die 4. Einstellung sein.
3. Verwenden Sie die Auf- und Abwärtspfeile, um dies auf Pin Control einzustellen.

Dies kann auch mit dem RS-485-Befehl W8 erfolgen. Mit dem folgenden Befehl wird das Gerät in den Pin-Steuerungsmodus versetzt.

Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed).

*XW81<cr>

Weitere Informationen zum Befehl W8 finden Sie in den Handbüchern MX7B und MX7M.

Jetzt ist der MX7B/MX7M bereit, vom Relais des MX2A/MX4A gesteuert zu werden.

Connecting the MX2A/MX4A to the MX7B/MX7M

Die Pin-Steuerung des MX7B/MX7M schaltet auf der Grundlage der Pins 13 und 14 um. Wenn sie kurzgeschlossen sind, schaltet sich die Kaltkathode ein. Andernfalls ist die Kaltkathode ausgeschaltet.

Das Relais des MX2A/MX4A verbindet die Pins 11 und 3, wenn der Druck über dem Sollwert liegt, und verbindet die Pins 11 und 4, wenn der Druck unter dem Sollwert liegt. Daher kann dies zum Kurzschließen der Pins 13 und 14 verwendet werden. Die folgende Tabelle und das Diagramm zeigen die Anschlüsse, mit denen das Relais das MX7B/MX7M steuern kann:

MX2A/MX4A MX7B/MX7M
Pin 11 (SP2 COM) Pin 13
Pin 4 (SP2 NO) Pin 14

 

Der MX7B/MX7M schaltet die Kaltkathode jetzt nur ein, wenn der MX2A/MX4A einen Druck von weniger als 1*10-2 erkennt.

Beachten Sie, dass es notwendig ist, die Geräte mit Strom zu versorgen. Zusätzlich kann es je nach Anwendung notwendig sein, an die analogen oder RS-485-Anschlüsse anzuschließen.

Verwandte Produkte

MX2A Thermoelement-Aktiv-Vakuum-Messgerät

MX2A Thermoelement-Aktiv-Vakuum-Messgerät

- 1*10-4 Torr bis zu 1000 Torr
- Leicht ablesbares farbiges OLED-Display
- Leicht austauschbare Sensoren

MX4A Aktives digitales Konvektionsvakuummessgerät

MX4A Konvektions-Aktiv-Vakuummessgerät

- 1*10-4 Torr bis 1000 Torr
- Leicht austauschbare Sensoren
- Verschmutzungsresistent

MX7B Kaltkathoden-Aktiv-Vakuum-Digitalmessgerät

MX7B Kaltkathoden-Aktiv-Vakuum-Messgerät

• 1*10-8 Torr to 1*10-3 Torr
• Set point relay and open connector for process control
• Compact and contamination resistant

Televac®️ MX7M NW16/KF16 Active Vacuum Gauge

MX7M Kaltkathoden-Aktiv-Vakuum-Messgerät

• 5*10-11 Torr to 1*10-2 Torr
• Set point relay and open connector for process control
• All metal seals leading to low outgassing