AN 3023: Automatische Steuerung einer MX7B/MX7M mit einer MX2A/MX4A

Zweck

In diesem Anwendungshinweis wird erläutert, wie der Relais-Sollwert eines aktiven Grobvakuummessgeräts MX2A oder MX4A verwendet werden kann, um ein aktives Kaltkathoden-Hochvakuummessgerät MX7B oder MX7M automatisch zu aktivieren und zu deaktivieren.

Relevante ^Televac® Produkte

Dieser Anwendungshinweis gilt für die unten aufgeführten ^Televac® Produkte:

Beschreibung	Teilenummer
MX2A	2-8910-1XX
MX4A	2-8930-1XX
MX7B	2-8940-XXX
MX7M	2-8950-XXX
MX2A/MX4A 15-Leiter-Kabel	2-9858-XXX
MX7B/MX7M 6-Leiter-Kabel	2-9873-XXX
MX7B/MX7M 15-Leiter-Kabel	2-9858-XXX

Hintergrund

Die ^Televac® MX2A und MX4A sind Wärmeleitfähigkeitsmessgeräte für die Messung von Grobvakuum (^1*10-3 Torr bis 1000 Torr). Die ^Televac® MX7B und MX7M sind Kaltkathodenmessgeräte für die Messung von Hoch- und Ultrahochvakuum (^{1*10-11/1*10-8} Torr bis ^1*10-2 Torr).

Aufgrund der Konstruktion von Kaltkathoden ist es wichtig, dass sie nicht bei Drücken über 1*10-2 Torr eingeschaltet werden. Das Einschalten der Kaltkathode bei höheren Drücken führt zu Sputtering, Oxidation und Verschmutzung; dies führt zu ungenauen Messwerten und Beschädigung des Sensors. Daher ist es notwendig, ein Grobvakuummeter, wie z. B. das MX2A oder MX4A, zu verwenden, um die Kaltkathode bei Drücken über 1*10-2 Torr zu deaktivieren.

Der MX2A und der MX4A verfügen beide über einen Relais-Sollwert, der im Wesentlichen ein Schalter ist, der auf einen bestimmten Vakuumwert eingestellt werden kann. In diesem Fall wird der Sollwert 1*10-2 Torr sein. Das Relais kann mit der Spannungsversorgung der Kaltkathode verdrahtet werden, wodurch ein aktives Messgerätesystem entsteht, das von 1*10-11/1*10-8 Torr bis 1000 Torr messen kann.

Konfigurieren des MX2A/MX4A-Sollwerts

Der MX2A und MX4A haben 2 Sollwerte. Diese Anwendung funktioniert am besten mit dem Relais-Sollwert, daher konzentriert sich dieser Anwendungshinweis auf den Sollwert 2.

Sollwert 2 hat 2 Einstellungen:

1. SP2H (Set Point 2 High) - der Vakuumwert, bei dem der Sollwert deaktiviert wird.
2. SP2L (Set Point 2 Low) - der Vakuummesswert, bei dem der Sollwert aktiviert wird

Wir empfehlen die folgenden Einstellungen für SP2 zur Steuerung einer MX7B oder MX7M.

1. SP2H - 0,012 Torr (12 mTorr, 12 Mikrometer, 1,2*10-2 Torr)
2. SP2L - 0,010 Torr (10 mTorr, 10 Mikrometer, 1,0*10-2 Torr)

Beachten Sie, dass dies nur Empfehlungen sind. Ihr System kann andere Einstellungen erfordern.

Gehen Sie wie folgt vor, um die Einstellungen für SP2H und SP2L zu ändern:

1. Drücken Sie die Taste SEL, bis auf dem Bildschirm "Sollwerte" angezeigt wird.
2. Verwenden Sie die Auf-/Ab-Pfeile, bis auf dem Bildschirm "SP2L" angezeigt wird.
3. Drücken Sie ENT. Oben auf dem Bildschirm wird nun "ADJ" angezeigt.
4. Verwenden Sie die Auf-/Ab-Pfeile, um den Wert auf den gewünschten SP2L einzustellen. In unseren obigen Empfehlungen wäre dies 0,010.
5. Drücken Sie erneut ENT, um die Änderung zu speichern. Die Anzeige "ADJ" am oberen Rand des Bildschirms wird ausgeblendet.
6. Drücken Sie den Abwärtspfeil. Auf dem Bildschirm sollte nun SP2H angezeigt werden. Wenn dies nicht der Fall ist, drücken Sie die Pfeiltasten, bis dies der Fall ist.
7. Drücken Sie ENT. "ADJ" erscheint wieder am oberen Rand des Bildschirms.
8. Verwenden Sie die Auf-/Ab-Pfeile, um die Werte auf den gewünschten SP2H einzustellen. In unseren obigen Empfehlungen wäre dies 0,012.
9. Drücken Sie erneut ENT, um die neue Einstellung zu speichern. Die Anzeige "ADJ" am oberen Rand des Bildschirms wird ausgeblendet.
10. Drücken Sie SEL, bis Sie den Messbildschirm erreichen, oder warten Sie, bis der Bildschirm eine Zeitüberschreitung aufweist.

SP2H und SP2L können auch mit dem RS-485-Befehl W3 geändert werden. Der folgende Befehl ändert SP2H und SP2L auf unsere empfohlenen Werte.

Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed):

*XW310021202<cr>

Weitere Informationen zum W3-Befehl finden Sie in den Bedienungsanleitungen für MX2A und MX4A.

Aktivieren der Pin-Steuerung auf dem MX7B/MX7M

Das MX7B/MX7M muss in den Stiftsteuerungsmodus versetzt werden, bevor es mit einem MX2A/MX4A ein- und ausgeschaltet werden kann. Führen Sie die folgenden Schritte aus, um das Messgerät in den Pin-Steuermodus zu versetzen:

1. Drücken Sie SEL, bis der Bildschirm "Systemeinstellungen" anzeigt. Wenn Sie sich zunächst auf dem Messbildschirm befinden, sollten Sie 2 Mal drücken, um diesen Bildschirm zu erreichen.
2. Drücken Sie SEL, bis "Vsense Control" auf dem Bildschirm angezeigt wird. Dies sollte die 4. Einstellung sein.
3. Verwenden Sie die Auf- und Abwärtspfeile, um dies auf Pin Control einzustellen.

Dies kann auch mit dem RS-485-Befehl W8 erfolgen. Mit dem folgenden Befehl wird das Gerät in den Pin-Steuerungsmodus versetzt.

Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed).

*XW81<cr>

Weitere Informationen zum Befehl W8 finden Sie in den Handbüchern MX7B und MX7M.

Jetzt ist der MX7B/MX7M bereit, vom Relais des MX2A/MX4A gesteuert zu werden.

Anschluss der MX2A/MX4A an die MX7B/MX7M

Die Pin-Steuerung des MX7B/MX7M schaltet auf der Grundlage der Pins 13 und 14 um. Wenn sie kurzgeschlossen sind, schaltet sich die Kaltkathode ein. Andernfalls ist die Kaltkathode ausgeschaltet.

Das Relais des MX2A/MX4A verbindet die Pins 11 und 3, wenn der Druck über dem Sollwert liegt, und verbindet die Pins 11 und 4, wenn der Druck unter dem Sollwert liegt. Daher kann dies zum Kurzschließen der Pins 13 und 14 verwendet werden. Die folgende Tabelle und das Diagramm zeigen die Anschlüsse, mit denen das Relais das MX7B/MX7M steuern kann:

MX2A/MX4A	MX7B/MX7M
Pin 11 (SP2 COM)	Pin 13
Pin 4 (SP2 NO)	Pin 14

Der MX7B/MX7M schaltet die Kaltkathode jetzt nur ein, wenn der MX2A/MX4A einen Druck von weniger als 1*10-2 erkennt.

Beachten Sie, dass es notwendig ist, die Geräte mit Strom zu versorgen. Zusätzlich kann es je nach Anwendung notwendig sein, an die analogen oder RS-485-Anschlüsse anzuschließen.

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