Zweck
In diesem Anwendungshinweis wird erläutert, wie der Relais-Sollwert eines aktiven Grobvakuummessgeräts MP2AR oder MP4AR verwendet werden kann, um ein aktives Kaltkathoden-Hochvakuummessgerät MX7B oder MX7M automatisch zu aktivieren und zu deaktivieren.
Relevante Televac® Produkte
Dieser Anwendungshinweis gilt für die unten aufgeführten Televac® Produkte:
Hintergrund
Die Televac® MP2AR und MP4AR sind Wärmeleitfähigkeitsmessgeräte für die Messung im Grobvakuum (1*10-3 Torr bis 20/760 Torr). Die Televac® MX7B und MX7M sind Kaltkathodenmessgeräte für die Messung von Hoch- und Ultrahochvakuum (1*10-11/1*10-8 Torr bis 1*10-2 Torr).
Aufgrund der Konstruktion von Kaltkathoden ist es wichtig, dass sie nicht bei Drücken über 1*10-2 Torr eingeschaltet werden. Das Einschalten der Kaltkathode bei höheren Drücken führt zu Sputtering, Oxidation und Verschmutzung; diese verursachen ungenaue Messwerte und Schäden am Sensor. Daher ist es notwendig, ein Grobvakuummeter, wie das MP2AR oder MP4AR, zu verwenden, um die Kaltkathode bei Drücken über 1*10-2 Torr zu deaktivieren.
Der MP2AR und der MP4AR verfügen beide über einen Relais-Sollwert, der im Wesentlichen ein Schalter ist, der auf einen bestimmten Vakuumwert eingestellt werden kann. In diesem Fall wird der Sollwert 1*10-2 Torr sein. Das Relais kann mit der Spannungsversorgung der Kaltkathode verdrahtet werden, wodurch ein aktives Messgerätesystem entsteht, das vom Hochvakuum (10-11/10-8 Torr) bis zum Grobvakuum (20/760 Torr) messen kann.
Konfigurieren des MP2AR/MP4AR-Sollwerts
Der MP2AR und der MP4AR verfügen über einen Relais-Sollwert, der zur Ausgabe eines Signals verwendet werden kann, wenn ein bestimmtes Vakuumniveau gelesen wird. Dieses Signal kann dann verwendet werden, um die Kaltkathode einzuschalten, wenn sie benötigt wird. Um die MX7B/MX7M zu steuern, empfehlen wir, sie bei 1*10-2 Torr einzuschalten, so dass der Sollwert so konfiguriert werden sollte, dass er bei diesem Vakuumpegel auslöst. Beachten Sie, dass dies nur Empfehlungen sind. Ihr System kann andere Einstellungen erfordern.
Die aktuelle Einstellung für den Sollwert kann durch Drücken der Taste "Sollwertanzeige" auf der Oberseite des MP2AR/MP4AR eingesehen werden. Dadurch wird das Sollwert-Vakuum auf dem Display angezeigt. Beachten Sie, dass die Mikron-LED bei Drücken unter 1 Torr leuchtet. Die Anzeige blinkt, während sie den Sollwert anzeigt. Um zum Normalbetrieb zurückzukehren, drücken Sie die Taste "Sollwertanzeige" erneut oder warten Sie 60 Sekunden, bis die Anzeige erlischt.
Der Sollwert kann auch als Spannung an Pin 9 des DB9-Steckers abgelesen werden. Dieser Spannungswert kann mit der im MP2AR/MP4AR-Handbuch beschriebenen Methode in Vakuum umgerechnet werden.
Um den Sollwert am MP2AR/MP4AR einzustellen, gehen Sie wie folgt vor:
- Zeigen Sie den Sollwert mit einer der oben beschriebenen Methoden an.
- Drehen Sie die Schraube "Sollwertverstellung", um den Sollwert zu ändern.
- Stellen Sie den Sollwert auf 10 Mikrometer ein.
Aktivieren der Pin-Steuerung auf dem MX7B/MX7M
Das MX7B/MX7M muss in den Pin-Steuermodus versetzt werden, bevor es mit einem MP2AR/MP4AR ein- und ausgeschaltet werden kann. Gehen Sie folgendermaßen vor, um das Messgerät in den Pin-Steuermodus zu versetzen:
- Drücken Sie SEL, bis der Bildschirm "Systemeinstellungen" anzeigt. Wenn Sie sich zunächst auf dem Messbildschirm befinden, sollten Sie 2 Mal drücken, um diesen Bildschirm zu erreichen.
- Drücken Sie SEL, bis Vsense Control auf dem Bildschirm angezeigt wird. Dies sollte die 4. Einstellung sein.
- Verwenden Sie die Pfeile nach oben und unten, um dies auf "Pin Control" einzustellen.
This can also be done with the RS-485 W8 command. The following command will set the unit to pin control mode. Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed).
*XW81<cr>
Weitere Informationen über den W8-Befehl finden Sie in den Handbüchern für MX7B und MX7M. Jetzt ist das MX7B/MX7M bereit, vom Relais des MP2AR/MP4AR gesteuert zu werden.
Anschließen des MP2AR/MP4AR an die MX7B/MX7M
Die Pin-Steuerung des MX7B/MX7M schaltet auf der Grundlage der Pins 13 und 14 um. Wenn sie kurzgeschlossen sind, schaltet sich die Kaltkathode ein. Andernfalls ist die Kaltkathode ausgeschaltet.
Das Relais des MP2AR/MP4AR verbindet die Pins 2 und 6, wenn der Druck über dem Sollwert liegt, und verbindet die Pins 1 und 6, wenn der Druck unter dem Sollwert liegt. Daher kann dies verwendet werden, um die Pins 13 und 14 am MX7B/MX7M kurzzuschließen. Die folgende Tabelle und das Diagramm zeigen die Anschlüsse, mit denen das Relais das MX7B/MX7M steuern kann:
| MP2AR/MP4AR | MX7B/MX7M |
| Pin 6 (Relais COM) | Pin 13 |
| Pin 1 (Relais NO) | Pin 14 |
Das MX7B/MX7M schaltet nun die Kaltkathode nur ein, wenn das MP2AR/MP4AR einen Druck von weniger als 1*10-2 erkennt.
Beachten Sie, dass es notwendig ist, die Geräte mit Strom zu versorgen. Zusätzlich kann es je nach Anwendung erforderlich sein, an die Analog- oder RS-485-Anschlüsse anzuschließen.
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