Heißionen-Vakuummessgerät Degas für MM200

Zweck

Dieser Anwendungshinweis erläutert das Entgasungsverfahren für ^Televac® und ETI Heißionen-Vakuummeter (auch Heißionisations-Vakuummeter oder Heißfilament-Vakuummeter genannt), wenn sie mit dem ^Televac® MM200 Vakuum-Controller verwendet werden.

Relevante ^Televac® Produkte

Dieser Anwendungshinweis gilt für die aufgeführten ^Televac® Produkte:

Beschreibung	Teilenummer
MM200 Vakuum-Controller	2-7900-20
3F Mini Bayard-Alpert Heiß-Ionisationsmessgerät	345X-830X-XX

Hintergrund

Heißionen-Vakuummessgeräte können in den Hochspannungsmodus (genannt "Entgasungsmodus") versetzt werden, der eine Hochspannung an das Filament anlegt und das Gitter mit Elektronen beschießt, was eine Entgasung und Entfernung von Verunreinigungen bewirkt. Dies verbessert die Leistung des Vakuummessgeräts über seinen Betriebsbereich.

Wie oft sollte ich mein Vakuummessgerät entgasen?

Kurze Antwort: Televac® empfiehlt, Ihr Heißionenmessgerät höchstens einmal im Monat und mindestens einmal alle drei Monate zu entgasen.

Lange Antwort: Wie bei fast allem, was mit Vakuummessungen zu tun hat, lautet die Antwort "es kommt darauf an". Die Häufigkeit der Entgasung hängt stark von Ihrem speziellen Prozess ab. In Umgebungen, in denen mehr Verunreinigungen vorhanden sind, oder bei Anwendungen, bei denen Sie UHV-Messungen (im Bereich von 10-10 und 10-11 Torr) erreichen müssen, sollte die Entgasung häufiger durchgeführt werden. In anderen Umgebungen und Anwendungen kann die Entgasung seltener durchgeführt werden.

Aber was ist "häufig" oder "oft"? Um diese Frage zu beantworten, ist es wichtig zu wissen, dass eine zu häufige Entgasung zu einer Verschlechterung des Filaments und des Gitters führt, aber eine Nichtentgasung kann die Leistung des Vakuummessgeräts und die Genauigkeit Ihrer Vakuummessungen beeinträchtigen. Dies bringt uns zurück zu unserer Empfehlung, die besagt, dass Televac® empfiehlt, das Messgerät höchstens einmal im Monat und mindestens einmal alle drei Monate zu entgasen.

Die Entgasung kann in regelmäßigen Abständen erfolgen (z. B. einmal im Monat), oder Sie können andere Methoden verwenden, um zu ermitteln, wann das Messgerät entgast werden muss.

Eine Methode, um festzustellen, ob Ihr Heißionenmessgerät entgast werden muss, besteht darin, es mit einem Referenzvakuummeter zu vergleichen. Wenn das Referenzvakuummeter und das Heißionenmessgerät an dasselbe Vakuumsystem angeschlossen sind (physisch so nah wie möglich beieinander), können Sie ihre Messwerte vergleichen, um zu sehen, ob der Messwert des Heißionenmessgeräts gedriftet ist. Die typische Genauigkeit eines Heißionenmessgeräts liegt bei ±10 %, das müssen Sie also berücksichtigen (dies wird weiter unten genauer erklärt).

Viele Dinge können als Referenz-Vakuummeter verwendet werden, einschließlich eines anderen Heißionenmessgeräts, eines Kaltkathodenmessgeräts oder eines Spinning Rotor Gauge (SRG). Alle diese verschiedenen Arten von Referenzmessgeräten haben unterschiedliche Genauigkeitsspezifikationen. Nehmen wir als Beispiel an, dass Ihr Referenzvakuummeter auch ein Heißionenmessgerät ist, nennen wir es Heißionenmessgerät 1, und das Messgerät, das Sie in Ihrem System verwendet haben, nennen wir Heißionenmessgerät 2.

Sie haben sowohl das Heiß-Ionen-Messgerät 1 als auch das Heiß-Ionen-Messgerät 2 an Ihrem Vakuumsystem installiert, pumpen ab und nehmen die folgenden Messwerte auf:

Beispiel 1

Heißionenmessgerät 1 Messwert = 1,0E-6 Torr
1. Unter Berücksichtigung der Genauigkeitsangabe von ±10 % hat Ihr Messwert eine Toleranz von 9,0E-7 bis 1,1E-6 Torr
Messwert des Heißionenmessgeräts 2 = 9,0E-7
1. Unter Berücksichtigung der Genauigkeitsangabe von ±10 % hat Ihr Messwert eine Toleranz von 8,1E-7 bis 9,9E-7 Torr
Sieht aus, als ob Sie in guter Verfassung sind; kein Grund zum Entgasen.

Beispiel 2

Heißionenmessgerät 1 Messwert = 1,0E-6 Torr
1. Unter Berücksichtigung der Genauigkeitsangabe von ±10 % hat Ihr Messwert eine Toleranz von 9,0E-7 bis 1,1E-6 Torr
Messwert des Heißionenmessgeräts 2 = 1,0E-7 Torr
1. Unter Berücksichtigung der Genauigkeitsangabe von ±10 % hat Ihr Messwert eine Toleranz von 9,0E-8 bis 1,1E-7 Torr
Diese Messwerte sind außerhalb der Toleranz; es sieht so aus, als wäre es Zeit zu entgasen!

Degas-Verfahren

Diese gelten nur für den Televac® MM200 Vakuum-Controller mit Televac® und ETI Heißionenmessgeräten.

Schließen Sie alle relevanten Vakuummessgeräte an das Vakuumsystem an und verbinden Sie die Messgerätekabel mit dem MM200-Controller.
Schalten Sie das MM200 ein.
Pumpen Sie das System ab, bis das Heißionenmessgerät 1,0*10 anzeigt^-5 oder darunter.
1. Wenn sich das Messgerät im "Auto"-Modus befindet, schaltet es sich automatisch ein, wenn das Grobvakuummeter 1*10-2 Torr (10 Mikron) erreicht.
2. Wenn sich das Messgerät im "Selbst"-Modus befindet, muss es manuell eingeschaltet werden, indem Sie dem Standard-Einschaltverfahren folgen.
Drücken Sie SETUP, bis im linken Bildschirm "0" und im rechten Bildschirm "dGAS" angezeigt wird.
1. Der linke Bildschirm zeigt die Zeit (in Minuten) an, die das Messgerät im Entgasungsmodus bleibt.
Verwenden Sie die linken Pfeiltasten nach oben und unten, um die Zeit zu erhöhen oder zu verringern.
1. Televac® empfiehlt, das Messgerät 5 Minuten lang zu entgasen.
Drücken Sie SETUP oder TEST/OP, bis das Gerät zum Messbildschirm zurückkehrt.
Das Messgerät entgast nun, und die verbleibende Zeit (in Minuten) blinkt auf dem rechten Bildschirm.

Beachten Sie, dass es im Heißionenmessgerät zwei Filamente gibt und dass das obige Verfahren das jeweils ausgewählte Filament entgasen wird. Um die Filamente zu wechseln, führen Sie die folgenden Schritte aus:

Drücken Sie SETUP, bis im linken Bildschirm "FIL" und im rechten Bildschirm "nbr1" oder "nbr2" angezeigt wird.
Verwenden Sie die linken Pfeile nach oben und unten, um zwischen "nbr1" und "nbr2" (Filamentnummer 1 und Filamentnummer 2) zu wechseln.
Drücken Sie SETUP oder TEST/OP, bis das Gerät zum Messbildschirm zurückkehrt.

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