ETI Heißionen-Passiv-Vakuummessgeräte
ETI Heiße Ionen
Unsere Marke ETI bietet verschiedene Arten von Vakuumtechnologie an, darunter Glas- und Nackt-Hot-Ion-Messgeräte (auch Hot-Filament-, Bayard-Alpert-, BA- oder BAG-Messgeräte oder Vakuumsensoren genannt) für Hochvakuummessungen von 10-10 Torr bis 10-3 Torr unter Verwendung von Wolfram-Filamenten. Diese Vakuumtechnologie ist in der Halbleiterindustrie beliebt, da sie eine höhere Genauigkeit als die Kaltkathoden-Vakuumtechnologie bietet. Während Heißionenmessgeräte eine bessere Genauigkeit als Kaltkathodenmessgeräte bieten, sind Heißionenmessgeräte auch teurer, können nicht gereinigt werden und sind anfälliger für Verschmutzungen, so dass sie nicht so lange halten.