Televac AN 3023: Control automático de un MX7B/MX7M con un MX2A/MX4A

Propósito

This application note explains how the relay set point of an MX2A or MX4A rough vacuum active gauge can be used to automatically enable and disable an MX7B or MX7M cold cathode high vacuum active gauge.

Productos Televac® relevantes

Esta nota de aplicación se aplica a los productos Televac® que se enumeran a continuación:

Descripción Número de parte
MX2A 2-8910-1XX
MX4A 2-8930-1XX
MX7B 2-8940-XXX
MX7M 2-8950-XXX
Cable conductor MX2A/MX4A 15 2-9858-XXX
MX7B/MX7M 6 Cable conductor 2-9873-XXX
Cable conductor MX7B/MX7M 15 2-9858-XXX

Antecedentes

The Televac® MX2A and MX4A are thermal conductivity gauges for rough vacuum measurement (1*10-3 Torr to 1000 Torr). The Televac® MX7B and MX7M are cold cathode gauges for high and ultra high vacuum measurement (1*10-11/1*10-8 Torr to 1*10-2 Torr).

Debido al diseño de los cátodos fríos, es importante que no se enciendan a presiones superiores a 1*10-2 Torr. Encender el cátodo frío a presiones más altas conducirá a la pulverización, oxidación y contaminación, lo que causará lecturas inexactas y daños en el sensor. Por lo tanto, es necesario utilizar un vacuómetro de grueso calibre, como el MX2A o MX4A, para desactivar el cátodo frío a presiones superiores a 1*10-2 Torr.

Tanto el MX2A como el MX4A incluyen un punto de ajuste del relé, que es esencialmente un interruptor que puede ser ajustado a una lectura de vacío específica. En este caso, el punto de ajuste será 1*10-2 Torr. El relé puede ser conectado a la fuente de voltaje del cátodo frío, creando un sistema de medición activo capaz de medir desde 1*10-11/1*10-8 Torr hasta 1000 Torr.

Configuring the MX2A/MX4A Set Point

El MX2A y el MX4A tienen 2 puntos de ajuste. Esta aplicación funciona mejor con el punto de ajuste del relé, por lo que esta nota de aplicación se centrará en el punto de ajuste 2.

El punto de ajuste 2 tiene 2 ajustes:

1. SP2H (Set Point 2 High) - la lectura del vacío donde el punto de ajuste se desactiva
2. SP2L (Set Point 2 Low) - la lectura del vacío donde se activa el punto de ajuste

Recomendamos los siguientes ajustes para que SP2 controle un MX7B o MX7M.

1. SP2H - 0.012 Torr (12 mTorr, 12 micrones, 1.2*10-2 Torr)
2. SP2L - 0.010 Torr (10 mTorr, 10 micrones, 1.0*10-2 Torr)

Tenga en cuenta que estas son sólo recomendaciones. Su sistema puede requerir una configuración diferente.

Para cambiar los ajustes de SP2H y SP2L, haga lo siguiente:

1. 2. Presione el botón SEL hasta que la pantalla indique "Setpoints".
2. 2. Use las flechas arriba/abajo hasta que la pantalla diga "SP2L".
3. Presione el botón ENT. La parte superior de la pantalla ahora dirá "ADJ".
4. Use las flechas arriba/abajo para ajustar el valor al SP2L deseado. En nuestras recomendaciones anteriores, este sería 0.010.
5. 5. Pulse ENT de nuevo para guardar el cambio. El "ADJ" en la parte superior de la pantalla desaparecerá.
6. Presione la flecha hacia abajo. La pantalla debería mostrar ahora SP2H. Si no lo hace, pulse las flechas hasta que lo haga.
7. Presione ENT. "ADJ" reaparecerá en la parte superior de la pantalla.
8. Utilice las flechas arriba/abajo para ajustar los valores al SP2H deseado. En nuestras recomendaciones anteriores, esto sería 0.012.
9. 10. Pulse ENT de nuevo para guardar el nuevo ajuste. El "ADJ" en la parte superior de la pantalla desaparecerá.
10. 10. Pulse SEL hasta llegar a la pantalla de medición o espere a que la pantalla se apague.

SP2H y SP2L también pueden ser cambiados usando el comando RS-485 W3. El siguiente comando cambiará SP2H y SP2L a nuestros valores recomendados.

Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed):

*XW310021202<cr>

See the instruction manual for the MX2A and MX4A for more information on the W3 command.

Activación del control de pines en el MX7B/MX7M

El MX7B/MX7M debe ponerse en modo de control de clavijas antes de poder encenderlo y apagarlo con un MX2A/MX4A. Para poner el medidor en modo de control de clavijas, siga estos pasos:

1. 2. Presione SEL hasta que la pantalla indique "Configuración del sistema". 2. Si inicialmente en la pantalla de medición, debe ser presionado 2 veces para llegar a esta pantalla.
2. 2. Presione SEL hasta que aparezca Vsense Control en la pantalla. Este debe ser el cuarto ajuste.
3. 3. Utilice las flechas arriba y abajo para configurar esto en Control de Vsense.

Esto también se puede hacer con el comando RS-485 W8. El siguiente comando pondrá la unidad en modo de control de clavijas.

Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed).

*XW81<cr>

Para más información sobre el mando del W8, ver los manuales del MX7B y MX7M.

Ahora, el MX7B/MX7M está listo para ser controlado por el relé del MX2A/MX4A.

Connecting the MX2A/MX4A to the MX7B/MX7M

El control de los alfileres del MX7B/MX7M se basa en los alfileres 13 y 14. Cuando están en cortocircuito, el cátodo frío se enciende. De lo contrario, el cátodo frío se apagará.

El relé del MX2A/MX4A conectará los pines 11 y 3 cuando la presión esté por encima del punto de ajuste, y conectará los pines 11 y 4 cuando la presión esté por debajo del punto de ajuste. Por lo tanto, esto se puede usar para acortar las patillas 13 y 14. La tabla y el diagrama siguientes muestran las conexiones que permitirán al relé controlar el MX7B/MX7M:

MX2A/MX4A MX7B/MX7M
Pin 11 (SP2 COM) Pin 13
Pin 4 (SP2 NO) Pin 14

 

El MX7B/MX7M ahora sólo encenderá el cátodo frío si el MX2A/MX4A detecta una presión inferior a 1*10-2.

Tenga en cuenta que es necesario suministrar energía a las unidades. Además, puede ser necesario conectar a las conexiones analógicas o RS-485, dependiendo de la aplicación.

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