Televac AN 3025: El medidor de vacío de iones calientes desgasifica las instrucciones para el MM200

Propósito

Esta nota de aplicación explica el procedimiento de desgasificación de los vacuómetros de iones calientes Televac® y ETI (también llamados vacuómetros de ionización caliente o de filamento caliente) cuando se utilizan con el controlador de vacío Televac® MM200.

Productos Televac® relevantes

Esta nota de aplicación se aplica a los productos Televac® indicados:

Descripción Número de parte
Controlador de vacío MM200 2-7900-20
3F Mini Bayard-Alpert Hot Ionization Gauge 345X-830X-XX

Antecedentes

Los vacuómetros de iones calientes pueden ponerse en modo de alto voltaje (llamado modo "degas") que aplica alto voltaje al filamento y bombardea la red con electrones, causando la desgasificación y la eliminación de la contaminación. Esto mejora el rendimiento del vacuómetro en su rango de operación.

¿Con qué frecuencia debo desgasificar mi vacuómetro?

Respuesta corta: Televac® recomienda desgasificar su medidor de iones calientes como máximo una vez al mes, y al menos una vez cada tres meses.

Respuesta larga: Como casi todo lo relacionado con la medición del vacío, la respuesta es "depende". La frecuencia de la desgasificación depende en gran medida de su proceso único; en los entornos en los que hay más contaminación, o en las aplicaciones en las que es necesario realizar mediciones UHV (en el rango de 10-10 y 10-11 Torr), la desgasificación debería realizarse con más frecuencia. Para otros entornos y aplicaciones, puede hacerse con menos frecuencia.

¿Pero qué es "frecuente" o "a menudo"? Para responder a esta pregunta, es importante tener en cuenta que la desgasificación demasiado frecuente hará que el filamento y la rejilla se degraden, pero la falta de desgasificación puede afectar al rendimiento del vacuómetro y a la precisión de sus mediciones de vacío. Esto nos lleva de nuevo a nuestra recomendación, que es que Televac® recomienda desgasificar el vacuómetro como máximo una vez al mes, y al menos una vez cada tres meses.

La desgasificación puede realizarse a intervalos regulares (como una vez al mes), o se pueden utilizar otros métodos para intentar determinar cuándo es necesario desgasificar el medidor.

Un método para determinar si su medidor de iones calientes necesita ser desgasificado es compararlo con un medidor de vacío de referencia. Con el vacuómetro de referencia y el ionómetro caliente conectados al mismo sistema de vacío (físicamente tan cerca el uno del otro como sea posible), puede comparar sus lecturas para ver si la lectura del ionómetro caliente se ha desviado. La precisión típica de un medidor de iones calientes es de ±10%, por lo que deberá tenerlo en cuenta (esto se explica con más detalle a continuación).

Se pueden utilizar muchas cosas como un vacuómetro de referencia, incluyendo otro medidor de iones calientes, un medidor de cátodos fríos o un medidor de rotores giratorios (SRG). Todos estos diferentes tipos de vacuómetros de referencia tienen diferentes especificaciones de precisión. Como ejemplo, digamos que su vacuómetro de referencia es también un medidor de iones calientes, lo llamaremos Medidor de Iones Calientes 1, y llamaremos al medidor que ha estado usando en su sistema Medidor de Iones Calientes 2.

Tienes ambos medidores de Iones Calientes 1 y 2 instalados en tu sistema de vacío, bombeas hacia abajo, y tomas las siguientes lecturas:

Ejemplo 1

  1. Lectura del medidor de iones calientes 1 = 1.0E-6 Torr
    1. Teniendo en cuenta la especificación de precisión de ±10%, su lectura tiene una tolerancia de 9.0E-7 a 1.1E-6 Torr
  2. Lectura del medidor de iones calientes 2 = 9.0E-7
    1. Teniendo en cuenta la especificación de precisión de ±10%, su lectura tiene una tolerancia de 8,1E-7 a 9,9E-7 Torr
  3. Parece que estás en buena forma; no hay necesidad de desgasificar.

Ejemplo 2

  1. Lectura del medidor de iones calientes 1 = 1.0E-6 Torr
    1. Teniendo en cuenta la especificación de precisión de ±10%, su lectura tiene una tolerancia de 9.0E-7 a 1.1E-6 Torr
  2. Lectura del medidor de iones calientes 2 = 1.0E-7 Torr.
    1. Teniendo en cuenta la especificación de precisión de ±10%, su lectura tiene una tolerancia de 9.0E-8 a 1.1E-7 Torr
  3. Esas lecturas están fuera de tolerancia; ¡parece que es hora de desgasificar!

Procedimiento Degas

Esto sólo se aplica al controlador de vacío Televac® MM200 con medidores de iones calientes Televac® y ETI.

  1. Conecte todos los vacuómetros relevantes al sistema de vacío y conecte los cables de los vacuómetros al controlador MM200.
  2. Enciende el MM200.
  3. Bombee el sistema hasta que el medidor de iones calientes indique 1.0*10-5 o más abajo.
    1. Si el medidor está en modo "automático", se encenderá automáticamente cuando el vacuómetro en bruto llegue a 1*10-2 Torr (10 micrones).
    2. Si el medidor está en modo "auto", tendrá que ser encendido manualmente siguiendo el procedimiento estándar de encendido.
  4. Presiona SETUP hasta que la pantalla izquierda diga "0" y la derecha diga "dGAS".
    1. La pantalla de la izquierda indica la cantidad de tiempo (en minutos) que el medidor permanecerá en modo de desgasificación.
  5. Use las flechas izquierdas arriba y abajo para aumentar o disminuir el tiempo.
    1. Televac® recomienda desgasificar el medidor durante 5 minutos.
  6. Pulse SETUP o TEST/OP hasta que la unidad vuelva a la pantalla de medición.
  7. El indicador se está desgasificando ahora, y el tiempo restante (en minutos) parpadeará en la pantalla derecha.

Observe que hay dos filamentos en el medidor de iones calientes, y el procedimiento anterior desgasificará cualquier filamento que se seleccione. Para cambiar los filamentos, siga estos pasos:

  1. Presiona SETUP hasta que la pantalla izquierda diga "FIL" y la derecha diga "nbr1" o "nbr2".
  2. Utilice las flechas izquierda arriba y abajo para cambiar entre "nbr1" y "nbr2" (filamento número 1 y filamento número 2).
  3. Pulse SETUP o TEST/OP hasta que la unidad vuelva a la pantalla de medición.

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