Objectif
La note d'application explique comment le point de consigne du collecteur ouvert d'une jauge active à vide grossier MX2A ou MX4A peut être utilisé pour contrôler automatiquement la mise en marche ou l'arrêt d'une jauge active à vide élevé à cathode froide MP7ER ou MP7FR .
Produits Televac pertinents
Ce document s'applique aux produits Televac® énumérés ci-dessous.
| Description | Numéro de pièce |
| MX2A | 2-8910-1XX |
| MX4A | 2-8930-1XX |
| MP7ER | 2-7950-XXX |
| MP7FR | 2-7970-XXX |
| Câble à 6 conducteurs MX2A/MX4A | 2-9857-XXX |
| MP7ER/MP7FR 9 Câble conducteur | 2-9852-XXX |
Contexte
Les Televac® MX2A et MX4A sont des jauges actives à conductivité thermique pour les mesures de vide grossier (1*10-3 Torr à 1000 Torr) et les Televac® MP7ER et MP7FR sont des jauges actives à cathode froide pour les mesures de vide poussé (1*10-11/1*10-8 Torr à 1*10-2 Torr).
En raison de la conception des cathodes froides, il est important qu'elles ne soient pas activées à des pressions supérieures à 1*10-2 Torr. Cela permet d'éviter la pulvérisation, ainsi que l'oxydation et la contamination qui se produisent lorsque la cathode froide est activée à des pressions plus élevées, et qui entraînent des lectures inexactes et des dommages à la jauge.
Comme la cathode froide ne peut pas lire au-delà de 1*10-2 Torr, un vacuomètre grossier tel que le MX2A ou le MX4A doit être utilisé pour activer/désactiver la cathode froide à 1*10-2 Torr.
Le MX2A et le MX4A comprennent tous deux un point de consigne à collecteur ouvert, qui est essentiellement un interrupteur pouvant être réglé sur une valeur de vide spécifique. Dans ce cas, notre point de consigne est réglé sur 1*10-2 Torr. Ce commutateur de point de consigne peut être câblé directement à la broche de contrôle d'activation/désactivation de la cathode froide du MP7ER ou du MP7FR, créant ainsi un système autonome de jauge à vide active capable de mesurer de 1*10-11/1*10-8 Torr à 1000 Torr.
Configuration du MX2A/MX4A Point de consigne 1 (collecteur ouvert)
Le collecteur ouvert MX2A/MX4A à point de consigne 1 a deux réglages :
1. SP1H (point de consigne 1 haut) - la lecture du vide où le point de consigne se désactive
2. SP1L (point de consigne 1 bas) - la lecture du vide où le point de consigne s'active
Nous recommandons les réglages suivants pour SP1H et SP1L lorsque le point de consigne est utilisé pour contrôler un MP7ER/MP7FR :
1. SP1H - 0,012 Torr (équivalent à 12 mTorr, 12 microns, et 1,2*10-2 Torr)
2. SP1L - 0,010 Torr (équivalent à 10 mTorr, 10 microns, et 1,0*10-2 Torr)
Notez qu'il s'agit de recommandations, votre système peut nécessiter des réglages différents.
Pour modifier les paramètres SP1H et SP1L, suivez les étapes suivantes :
1. A partir de l'écran de mesure, appuyez deux fois sur la touche SEL
2. L'écran affiche alors "Setpoints SP1L .XXX" (où .XXX est le réglage actuel)
3. Appuyez sur la touche ENT, le centre supérieur de l'écran affichera alors "ADJ".
4. Utilisez les flèches vers le haut et vers le bas pour ajuster la valeur jusqu'à ce qu'elle soit de ".010".
5. Appuyez sur la touche ENT, la mention "ADJ" en haut de l'écran disparaîtra alors
6. Appuyez sur la flèche vers le bas, l'écran affichera alors "Setpoints SP1H .XXX" (où .XXX est le réglage actuel)
7. Appuyez sur la touche ENT, le centre supérieur de l'écran affichera à nouveau "ADJ".
8. Utilisez les flèches vers le haut et vers le bas pour ajuster la valeur jusqu'à ce qu'elle s'affiche ".012".
9. Appuyez sur la touche ENT, la mention "ADJ" en haut de l'écran disparaîtra alors
10. Appuyez trois fois sur SEL pour revenir à l'écran de mesure (ou attendez le délai d'attente)
The SP1H and SP1L settings can also be changed via RS-485 communications using the W2 command. The command to change the SP1H and SP1L settings to the values recommended above is the following (where X is the address of the unit, default is 0, and <cr> is a carriage return which is equivalent to pressing the enter key on your keyboard):
1. *XW210021202<cr>
Connexion du MX2A/MX4A et du MP7ER/MP7FR
Ces instructions supposent l'utilisation des câbles Televac® MX2A/MX4A PN 2-9857-XXX et des câbles Televac® MP7ER/MP7FR PN 2-9852-XXX. Une fois que vous avez terminé l'installation du MX2A/MX4A décrite dans la section 3, effectuez les connexions indiquées dans le tableau ci-dessous. Cette configuration permet d'alimenter les deux appareils, de mettre à la terre la connexion de la source du point de consigne 1 du MX2A/MX4A et de connecter le drain ouvert du point de consigne 1 du MX2A/MX4A à la broche de contrôle d'activation/désactivation de la cathode froide du MP7ER/MP7FR.
Lorsque le système est pompé et atteint 1,0*10-2 Torr, le point de consigne 1 du MX2A/MX4A s'enclenche, connectant la broche de commande de mise en marche/arrêt de la cathode froide du MP7ER/MP7FR à la terre et l'enclenchant. Inversement, lorsque le système est ventilé ou fuit et atteint 1,2*10-2 Torr, la broche de commande sera déconnectée de la terre, ce qui éteindra la cathode froide.
Notes :
1. Les fils indiqués dans le schéma n'ont pas besoin d'être directement reliés entre eux ; par exemple, ils peuvent être câblés par un bloc de bornes dans une armoire électronique.
2. Des connexions supplémentaires peuvent être nécessaires à votre système ; par exemple, les fils de sortie analogique 0 à 10 V DC peuvent devoir être connectés à l'entrée analogique de votre PLC, ou les fils RS-485 peuvent devoir être connectés à votre PLC.
| MX2A/MX4A | MP7ER/MP7FR | Description |
| Pin 5 (vert) | Broche 1 (marron) | Point de consigne 1 connexion à la cathode froide broche de commande marche/arrêt |
| Pin 12 (noir) | Voir la description | Connectez à la terre de l'alimentation (-), connectez de n'importe quelle manière |
| Broche 8 (rouge) | Broche 4 (jaune) | Alimentation électrique (+) 24 V DC, ceux-ci peuvent être connectés indépendamment |
| Pin 15 (noir) | Pin 2 (rouge) | Alimentation électrique (-) mise à la terre, ceux-ci peuvent être connectés indépendamment |
Autres considérations
Ces instructions décrivent une façon dont le MX2A/MX4A peut être utilisé pour commuter automatiquement la broche de commande de la cathode froide d'un MP7ER/MP7FR. Il existe plusieurs autres façons qui pourraient être plus adaptées à votre système de vide unique, notamment les suivantes :
1. Utiliser le relais du point de consigne 2 du MX2A/MX4A pour commuter la broche de commande de la cathode froide du MP7ER/MP7FR.
2. Surveillance de la sortie analogique du MX2A/MX4A à partir d'un PLC (ou autre système de contrôle), conversion de la sortie analogique en une lecture de vide, et utilisation du PLC pour commuter directement la broche de contrôle de la cathode froide du MP7ER/MP7FR à 1*10-2 Torr (10 microns).
3. Similaire à l'option 2, mais en surveillant la lecture du vide du MX2A/MX4A à l'aide de communications RS-485.
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