Objectif
Cette note d'application explique comment le point de consigne du relais d'une jauge active à vide brut MX2A ou MX4A peut être utilisé pour activer et désactiver automatiquement une jauge active à vide élevé à cathode froide MX7B ou MX7M.
Produits Televac® pertinents
Cette note d'application s'applique aux produits Televac® énumérés ci-dessous :
Contexte
Les Televac® MX2A et MX4A sont des jauges de conductivité thermique pour les mesures de vide grossier (1*10-3 Torr à 1000 Torr). Les Televac® MX7B et MX7M sont des jauges à cathode froide pour les mesures sous vide poussé et ultra poussé (1*10-11/1*10-8 Torr à 1*10-2 Torr).
En raison de la conception des cathodes froides, il est important qu'elles ne soient pas activées à des pressions supérieures à 1*10-2 Torr. La mise en marche de la cathode froide à des pressions plus élevées entraînera une pulvérisation, une oxydation et une contamination ; celles-ci provoqueront des lectures inexactes et endommageront le capteur. Il est donc nécessaire d'utiliser un vacuomètre grossier, tel que le MX2A ou le MX4A, pour désactiver la cathode froide à des pressions supérieures à 1*10-2 Torr.
Le MX2A et le MX4A comprennent tous deux un point de consigne de relais, qui est essentiellement un interrupteur pouvant être réglé sur une mesure de vide spécifique. Dans ce cas, le point de consigne sera de 1*10-2 Torr. Le relais peut être câblé à l'alimentation en tension de la cathode froide, créant ainsi un système de jauge active capable de mesurer de 1*10-11/1*10-8 Torr à 1000 Torr.
Configuration du point de consigne du MX2A/MX4A
Le MX2A et le MX4A ont deux points de consigne. Cette application fonctionne mieux avec le point de consigne du relais, c'est pourquoi cette note d'application se concentrera sur le point de consigne 2.
Le point de consigne 2 a 2 réglages :
1. SP2H (Set Point 2 High) - la lecture du vide où le point de consigne se désactive
2. SP2L (Set Point 2 Low) - la lecture du vide où le point de consigne s'active
Nous recommandons les réglages suivants pour le SP2 afin de contrôler un MX7B ou un MX7M.
1. SP2H - 0,012 Torr (12 mTorr, 12 microns, 1,2*10-2 Torr)
2. SP2L - 0,010 Torr (10 mTorr, 10 microns, 1,0*10-2 Torr)
Notez que ce ne sont que des recommandations. Votre système peut nécessiter des réglages différents.
Pour modifier les paramètres SP2H et SP2L, procédez comme suit :
1. Appuyez sur le bouton SEL jusqu'à ce que l'écran affiche "Points de consigne".
2. Utilisez les flèches haut/bas jusqu'à ce que l'écran indique "SP2L".
3. Appuyez sur la touche ENT. L'écran affiche alors "ADJ" en haut de l'écran.
4. Utilisez les flèches haut/bas pour ajuster la valeur au SP2L souhaité. Dans nos recommandations ci-dessus, ce serait 0,010.
5. Appuyez à nouveau sur ENT pour enregistrer la modification. Le "ADJ" en haut de l'écran disparaîtra.
6. Appuyez sur la flèche vers le bas. L'écran devrait maintenant afficher SP2H. Si ce n'est pas le cas, appuyez sur les flèches jusqu'à ce que ce soit le cas.
7. Appuyez sur ENT. "ADJ" réapparaîtra en haut de l'écran.
8. Utilisez les flèches haut/bas pour ajuster les valeurs au SP2H souhaité. Dans nos recommandations ci-dessus, ce serait 0,012.
9. Appuyez à nouveau sur ENT pour enregistrer le nouveau réglage. Le "ADJ" en haut de l'écran disparaîtra.
10. Appuyez sur SEL jusqu'à ce que vous atteigniez l'écran de mesure ou attendez que l'écran s'éteigne.
SP2H et SP2L peuvent également être modifiés à l'aide de la commande RS-485 W3. La commande suivante permet de modifier SP2H et SP2L en fonction des valeurs recommandées.
Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed):
*XW310021202<cr>
Voir le manuel d'instruction du MX2A et du MX4A pour plus d'informations sur la commande W3.
Activation du contrôle des broches sur le MX7B/MX7M
Le MX7B/MX7M doit être mis en mode de contrôle des broches avant de pouvoir être allumé et éteint avec un MX2A/MX4A. Pour mettre la jauge en mode de contrôle des broches, suivez les étapes suivantes :
1. Appuyez sur SEL jusqu'à ce que l'écran indique "System Settings". Si vous êtes initialement sur l'écran de mesure, il faut appuyer 2 fois pour atteindre cet écran.
2. Appuyez sur SEL jusqu'à ce que l'écran indique "Vsense Control". Ceci devrait être le 4ème réglage.
3. Utilisez les flèches vers le haut et vers le bas pour régler ce paramètre sur Contrôle des broches.
Cela peut également être fait avec la commande RS-485 W8. La commande suivante mettra l'unité en mode de contrôle des broches.
Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed).
*XW81<cr>
Pour plus d'informations sur la commande W8, voir les manuels MX7B et MX7M.
Maintenant, le MX7B/MX7M est prêt à être contrôlé par le relais du MX2A/MX4A.
Connexion du MX2A/MX4A au MX7B/MX7M
Le contrôle des broches du MX7B/MX7M est basé sur les broches 13 et 14. Lorsqu'elles sont court-circuitées, la cathode froide s'allume. Sinon, la cathode froide s'éteint.
Le relais du MX2A/MX4A connectera les broches 11 et 3 lorsque la pression est supérieure au point de consigne, et connectera les broches 11 et 4 lorsque la pression est inférieure au point de consigne. Il peut donc être utilisé pour raccourcir les broches 13 et 14. Le tableau et le schéma suivants montrent les connexions qui permettront au relais de contrôler le MX7B/MX7M:
| MX2A/MX4A | MX7B/MX7M |
| Broche 11 (SP2 COM) | Broche 13 |
| Broche 4 (SP2 NO) | Broche 14 |
Les MX7B/MX7M n'activeront désormais la cathode froide que si les MX2A/MX4A détectent une pression inférieure à 1*10-2.
Notez qu'il est nécessaire d'alimenter les unités en énergie. En outre, il peut être nécessaire de se connecter aux connexions analogiques ou RS-485 selon l'application.
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