Télévac AN 3023 : Contrôle automatique d'un MX7B/MX7M avec un MX2A/MX4A

Purpose

This application note explains how the relay set point of an MX2A or MX4A rough vacuum active gauge can be used to automatically enable and disable an MX7B or MX7M cold cathode high vacuum active gauge.

Relevant Televac® Products

This application note applies to the Televac® products listed below:

Description Numéro de pièce
MX2A 2-8910-1XX
MX4A 2-8930-1XX
MX7B 2-8940-XXX
MX7M 2-8950-XXX
Câble conducteur MX2A/MX4A 15 2-9858-XXX
MX7B/MX7M Câble à 6 conducteurs 2-9873-XXX
MX7B/MX7M 15 Câble conducteur 2-9858-XXX

Contexte

The Televac® MX2A and MX4A are thermal conductivity gauges for rough vacuum measurement (1*10-3 Torr to 1000 Torr). The Televac® MX7B and MX7M are cold cathode gauges for high and ultra high vacuum measurement (1*10-11/1*10-8 Torr to 1*10-2 Torr).

En raison de la conception des cathodes froides, il est important qu'elles ne soient pas activées à des pressions supérieures à 1*10-2 Torr. La mise en marche de la cathode froide à des pressions plus élevées entraînera une pulvérisation, une oxydation et une contamination ; celles-ci provoqueront des lectures inexactes et endommageront le capteur. Il est donc nécessaire d'utiliser un vacuomètre grossier, tel que le MX2A ou le MX4A, pour désactiver la cathode froide à des pressions supérieures à 1*10-2 Torr.

Le MX2A et le MX4A comprennent tous deux un point de consigne de relais, qui est essentiellement un interrupteur pouvant être réglé sur une mesure de vide spécifique. Dans ce cas, le point de consigne sera de 1*10-2 Torr. Le relais peut être câblé à l'alimentation en tension de la cathode froide, créant ainsi un système de jauge active capable de mesurer de 1*10-11/1*10-8 Torr à 1000 Torr.

Configuring the MX2A/MX4A Set Point

Le MX2A et le MX4A ont deux points de consigne. Cette application fonctionne mieux avec le point de consigne du relais, c'est pourquoi cette note d'application se concentrera sur le point de consigne 2.

Le point de consigne 2 a 2 réglages :

1. SP2H (Set Point 2 High) - la lecture du vide où le point de consigne se désactive
2. SP2L (Set Point 2 Low) - la lecture du vide où le point de consigne s'active

Nous recommandons les réglages suivants pour le SP2 afin de contrôler un MX7B ou un MX7M.

1. SP2H - 0,012 Torr (12 mTorr, 12 microns, 1,2*10-2 Torr)
2. SP2L - 0,010 Torr (10 mTorr, 10 microns, 1,0*10-2 Torr)

Notez que ce ne sont que des recommandations. Votre système peut nécessiter des réglages différents.

Pour modifier les paramètres SP2H et SP2L, procédez comme suit :

1. Appuyez sur le bouton SEL jusqu'à ce que l'écran affiche "Points de consigne".
2. Utilisez les flèches haut/bas jusqu'à ce que l'écran indique "SP2L".
3. Appuyez sur la touche ENT. L'écran affiche alors "ADJ" en haut de l'écran.
4. Utilisez les flèches haut/bas pour ajuster la valeur au SP2L souhaité. Dans nos recommandations ci-dessus, ce serait 0,010.
5. Appuyez à nouveau sur ENT pour enregistrer la modification. Le "ADJ" en haut de l'écran disparaîtra.
6. Appuyez sur la flèche vers le bas. L'écran devrait maintenant afficher SP2H. Si ce n'est pas le cas, appuyez sur les flèches jusqu'à ce que ce soit le cas.
7. Appuyez sur ENT. "ADJ" réapparaîtra en haut de l'écran.
8. Utilisez les flèches haut/bas pour ajuster les valeurs au SP2H souhaité. Dans nos recommandations ci-dessus, ce serait 0,012.
9. Appuyez à nouveau sur ENT pour enregistrer le nouveau réglage. Le "ADJ" en haut de l'écran disparaîtra.
10. Appuyez sur SEL jusqu'à ce que vous atteigniez l'écran de mesure ou attendez que l'écran s'éteigne.

SP2H et SP2L peuvent également être modifiés à l'aide de la commande RS-485 W3. La commande suivante permet de modifier SP2H et SP2L en fonction des valeurs recommandées.

Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed):

*XW310021202<cr>

See the instruction manual for the MX2A and MX4A for more information on the W3 command.

Enabling Pin Control on the MX7B/MX7M

Le MX7B/MX7M doit être mis en mode de contrôle des broches avant de pouvoir être allumé et éteint avec un MX2A/MX4A. Pour mettre la jauge en mode de contrôle des broches, suivez les étapes suivantes :

1. Appuyez sur SEL jusqu'à ce que l'écran indique "System Settings". Si vous êtes initialement sur l'écran de mesure, il faut appuyer 2 fois pour atteindre cet écran.
2. Appuyez sur SEL jusqu'à ce que l'écran indique "Vsense Control". Ceci devrait être le 4ème réglage.
3. Utilisez les flèches vers le haut et vers le bas pour régler ce paramètre sur Contrôle des broches.

Cela peut également être fait avec la commande RS-485 W8. La commande suivante mettra l'unité en mode de contrôle des broches.

Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed).

*XW81<cr>

Pour plus d'informations sur la commande W8, voir les manuels MX7B et MX7M.

Maintenant, le MX7B/MX7M est prêt à être contrôlé par le relais du MX2A/MX4A.

Connecting the MX2A/MX4A to the MX7B/MX7M

Le contrôle des broches du MX7B/MX7M est basé sur les broches 13 et 14. Lorsqu'elles sont court-circuitées, la cathode froide s'allume. Sinon, la cathode froide s'éteint.

Le relais du MX2A/MX4A connectera les broches 11 et 3 lorsque la pression est supérieure au point de consigne, et connectera les broches 11 et 4 lorsque la pression est inférieure au point de consigne. Il peut donc être utilisé pour raccourcir les broches 13 et 14. Le tableau et le schéma suivants montrent les connexions qui permettront au relais de contrôler le MX7B/MX7M:

MX2A/MX4A MX7B/MX7M
Broche 11 (SP2 COM) Broche 13
Broche 4 (SP2 NO) Broche 14

 

Les MX7B/MX7M n'activeront désormais la cathode froide que si les MX2A/MX4A détectent une pression inférieure à 1*10-2.

Notez qu'il est nécessaire d'alimenter les unités en énergie. En outre, il peut être nécessaire de se connecter aux connexions analogiques ou RS-485 selon l'application.

Produits connexes

Jauge à vide active pour thermocouple MX2A

Jauge à vide active pour thermocouple MX2A

- 1*10-4 Torr jusqu'à 1000 Torr
- Écran OLED couleur facile à lire
- Des capteurs faciles à remplacer

Vacuomètre numérique actif à convection MX4A

Jauge à vide active à convection MX4A

- 1*10-4 Torr à 1000 Torr
- Des capteurs faciles à remplacer
- Résistant à la contamination

Jauge numérique à vide à cathode froide active MX7B

Jauge à vide active à cathode froide MX7B

• 1*10-8 Torr to 1*10-3 Torr
• Set point relay and open connector for process control
• Compact and contamination resistant

Televac®️ MX7M NW16/KF16 Active Vacuum Gauge

Jauge à vide active à cathode froide MX7M

• 5*10-11 Torr to 1*10-2 Torr
• Set point relay and open connector for process control
• All metal seals leading to low outgassing