Télévac AN 3024 : Contrôle automatique d'un MX7B/MX7M avec un MP2AR/MP4AR

Purpose

This application note explains how the relay set point of an MP2AR or MP4AR rough vacuum active gauge can be used to automatically enable and disable an MX7B or MX7M cold cathode high vacuum active gauge.

Relevant Televac® Products

This application note applies to the Televac® products listed below:

Description Numéro de pièce
MP2AR 2-7910-XXX
MP4AR 2-7930-XXX
MX7B 2-8940-XXX
MX7M 2-8950-XXX
MP2AR/MP4AR 9 Câble conducteur 2-9852-XXX
MX7B/MX7M Câble à 6 conducteurs 2-9873-XXX
MX7B/MX7M 15 Câble conducteur 2-9858-XXX

Contexte

The Televac® MP2AR and MP4AR are thermal conductivity gauges for rough vacuum measurement (1*10-3 Torr to 20/760 Torr). The Televac MX7B and MX7M are cold cathode gauges for high and ultra high vacuum measurement (1*10-11/1*10-8 Torr to 1*10-2 Torr).

En raison de la conception des cathodes froides, il est important qu'elles ne soient pas activées à des pressions supérieures à 1*10-2 Torr. La mise en marche de la cathode froide à des pressions plus élevées entraînera une pulvérisation, une oxydation et une contamination ; celles-ci provoqueront des lectures inexactes et endommageront le capteur. Il est donc nécessaire d'utiliser un vacuomètre grossier, tel que le MP2AR ou le MP4AR, pour désactiver la cathode froide à des pressions supérieures à 1*10-2 Torr.

Le MP2AR et le MP4AR comprennent tous deux un point de consigne de relais, qui est essentiellement un interrupteur pouvant être réglé sur une lecture de vide spécifique. Dans ce cas, le point de consigne sera de 1*10-2 Torr. Le relais peut être câblé à l'alimentation en tension de la cathode froide, créant ainsi un système de jauge active capable de mesurer du vide poussé (10-11/10-8 Torr) au vide poussé (20/760 Torr).

Configuring the MP2AR/MP4AR Set Point

Le MP2AR et le MP4AR ont un point de consigne de relais qui peut être utilisé pour émettre un signal lorsqu'un certain niveau de vide est lu. Ce signal peut ensuite être utilisé pour allumer la cathode froide lorsque cela est nécessaire. Pour contrôler les MX7B/MX7M, nous recommandons de les mettre en marche à 1*10-2 Torr, donc le point de consigne doit être configuré pour se déclencher à ce niveau de vide. Notez que ce ne sont que des recommandations. Votre système peut nécessiter des réglages différents.

Le réglage actuel du point de consigne peut être visualisé en appuyant sur le bouton "affichage du point de consigne" situé en haut du MP2AR/MP4AR. Cela affichera le vide du point de consigne sur l'écran. Notez que la LED micron s'allumera pour les pressions inférieures à 1 Torr. L'affichage clignotera tout en indiquant la valeur du point de consigne. Pour revenir au fonctionnement normal, appuyez à nouveau sur le bouton "affichage du point de consigne", ou attendez 60 secondes pour qu'il s'éteigne.

Le point de consigne peut également être lu comme une tension à partir de la broche 9 du connecteur DB9. Cette valeur de tension peut être convertie en vide en utilisant la méthode décrite dans le manuel MP2AR/MP4AR.

Pour régler le point de consigne sur le MP2AR/MP4AR, procédez comme suit :

  1. Visualisez le point de consigne en utilisant l'une des méthodes décrites ci-dessus.
  2. Tournez la vis de "réglage du point de consigne" pour modifier la valeur du point de consigne.
  3. Ajustez le point de consigne à 10 microns.

Enabling Pin Control on the MX7B/MX7M

Le MX7B/MX7M doit être mis en mode de contrôle des broches avant de pouvoir être allumé et éteint avec un MP2AR/MP4AR. Pour mettre la jauge en mode de contrôle des broches, suivez les étapes suivantes :

  1. Appuyez sur SEL jusqu'à ce que l'écran indique "System Settings". Si vous êtes initialement sur l'écran de mesure, il faut appuyer 2 fois pour atteindre cet écran.
  2. Appuyez sur SEL jusqu'à ce que Vsense Control s'affiche à l'écran. Ce devrait être le 4ème réglage.
  3. Utilisez les flèches vers le haut et vers le bas pour régler ce paramètre sur le contrôle des épingles.

This can also be done with the RS-485 W8 command. The following command will set the unit to pin control mode. Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed).
*XW81<cr>

Pour plus d'informations sur la commande W8, voir les manuels MX7B et MX7M. Maintenant, le MX7B/MX7M est prêt à être contrôlé par le relais du MP2AR/MP4AR.

Connecting the MP2AR/MP4AR to the MX7B/MX7M

Le contrôle des broches du MX7B/MX7M est basé sur les broches 13 et 14. Lorsqu'elles sont court-circuitées, la cathode froide s'allume. Sinon, la cathode froide s'éteint.

Le relais du MP2AR/MP4AR connectera les broches 2 et 6 lorsque la pression est supérieure au point de consigne, et connectera les broches 1 et 6 lorsque la pression est inférieure au point de consigne. Il peut donc être utilisé pour raccourcir les broches 13 et 14 du MX7B/MX7M. Le tableau et le schéma suivants montrent les connexions qui permettront au relais de contrôler le MX7B/MX7M:

MP2AR/MP4AR MX7B/MX7M
Broche 6 (Relais COM) Broche 13
Broche 1 (relais NO) Broche 14

 

Le MX7B/MX7M n'activera désormais la cathode froide que si le MP2AR/MP4AR détecte une pression inférieure à 1*10-2.
Notez qu'il est nécessaire d'alimenter les appareils. De plus, il peut être nécessaire de se connecter aux connexions analogiques ou RS-485 selon l'application.

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