Televac AN 3025 : Instructions de dégazage par jauge à vide à ions chauds pour le MM200

Purpose

This application note explains the degas procedure for Televac® and ETI hot ion vacuum gauges (also called hot ionization vacuum gauges or hot filament vacuum gauges) when they’re used with the Televac® MM200 vacuum controller.

Relevant Televac® Products

This application note applies to the Televac® products listed:

Description Numéro de pièce
Contrôleur de vide MM200 2-7900-20
3F Mini jauge à ionisation à chaud Bayard-Alpert 345X-830X-XX

Contexte

Les vacuomètres à ions chauds peuvent être mis en mode haute tension (appelé mode "dégazage") qui applique une haute tension au filament et bombarde la grille d'électrons, provoquant le dégazage et l'élimination de la contamination. Cela améliore les performances du vacuomètre sur sa plage de fonctionnement.

How Often Should I Degas My Vacuum Gauge?

Réponse courte : Televac® recommande de dégazer votre jauge à ions chauds au maximum une fois par mois, et au moins une fois tous les trois mois.

Réponse longue : Comme pour presque tout ce qui concerne la mesure du vide, la réponse est "ça dépend". La fréquence des dégazages dépend fortement de votre procédé unique ; dans les environnements où la contamination est plus importante, ou pour les applications où vous devez réaliser des mesures UHV (dans la gamme des 10-10 et 10-11 Torr), les dégazages doivent être effectués plus fréquemment. Pour les autres environnements et applications, il peut être effectué moins souvent.

Mais qu'est-ce que "fréquent" ou "souvent" ? Pour répondre à cette question, il est important de noter qu'un dégazage trop fréquent entraînera la dégradation du filament et de la grille, mais que le fait de ne pas dégazer peut avoir un impact sur les performances du vacuomètre et la précision de vos mesures de vide. Cela nous ramène à notre recommandation, à savoir que Televac® recommande de dégazer le vacuomètre au maximum une fois par mois, et au moins une fois tous les trois mois.

Le dégazage peut être effectué à intervalles réguliers (par exemple une fois par mois), ou vous pouvez utiliser d'autres méthodes pour essayer de déterminer quand la jauge doit être dégazée.

Une méthode pour déterminer si votre jauge à ions chauds doit être dégazée consiste à la comparer à une jauge à vide de référence. Lorsque le vacuomètre de référence et la jauge à ions chauds sont connectés au même système de vide (physiquement aussi proches que possible), vous pouvez comparer leurs lectures pour voir si celle de la jauge à ions chauds a dérivé. La précision typique d'un détecteur d'ions chauds est de ±10%, vous devrez donc en tenir compte (ceci est expliqué plus en détail ci-dessous).

Beaucoup de choses peuvent être utilisées comme jauge à vide de référence, notamment une autre jauge à ions chauds, une jauge à cathode froide ou une jauge à rotor tournant (SRG). Tous ces différents types de jauges de référence ont des spécifications de précision différentes. À titre d'exemple, disons que votre vacuomètre de référence est également une jauge à ions chauds, nous l'appellerons jauge à ions chauds 1, et nous appellerons la jauge que vous avez utilisée sur votre système jauge à ions chauds 2.

Vous avez installé les jauges à ions chauds 1 et 2 sur votre système à vide, vous pompez et vous faites les relevés suivants :

Exemple 1

  1. Lecture de la jauge à ions chauds 1 = 1,0E-6 Torr
    1. En tenant compte de la spécification de précision de ±10%, votre lecture a une tolérance de 9,0E-7 à 1,1E-6 Torr
  2. Lecture de la jauge à ions chauds 2 = 9.0E-7
    1. En tenant compte de la spécification de précision de ±10%, votre lecture a une tolérance de 8,1E-7 à 9,9E-7 Torr
  3. On dirait que vous êtes en bonne forme ; pas besoin de dégazer.

Exemple 2

  1. Lecture de la jauge à ions chauds 1 = 1,0E-6 Torr
    1. En tenant compte de la spécification de précision de ±10%, votre lecture a une tolérance de 9,0E-7 à 1,1E-6 Torr
  2. Lecture de la jauge à ions chauds 2 = 1,0E-7 Torr
    1. En tenant compte de la spécification de précision de ±10%, votre lecture a une tolérance de 9,0E-8 à 1,1E-7 Torr
  3. Ces lectures sont hors tolérance ; il semble qu'il soit temps de dégazer !

Degas Procedure

Elles s'appliquent uniquement au contrôleur de vide Televac® MM200 avec les jauges à ions chauds Televac® et ETI.

  1. Raccordez toutes les jauges à vide pertinentes au système de vide et connectez les câbles des jauges au contrôleur MM200.
  2. Allumez le MM200.
  3. Pompez le système jusqu'à ce que la jauge à ions chauds indique 1,0*10-5 ou en dessous.
    1. Si la jauge est en mode "auto", elle sera automatiquement mise en marche lorsque le vacuomètre grossier atteindra 1*10-2 Torr (10 microns).
    2. Si la jauge est en mode "auto", elle devra être mise en marche manuellement en suivant la procédure de mise en marche standard.
  4. Appuyez sur SETUP jusqu'à ce que l'écran de gauche indique "0" et l'écran de droite "dGAS".
    1. L'écran de gauche indique la durée (en minutes) pendant laquelle la jauge restera en mode dégazage.
  5. Utilisez les flèches haut et bas à gauche pour augmenter ou diminuer le temps.
    1. Televac® recommande de dégazer la jauge pendant 5 minutes.
  6. Appuyez sur SETUP ou TEST/OP jusqu'à ce que l'appareil revienne à l'écran de mesure.
  7. La jauge est en train de se dégazer, et le temps restant (en minutes) clignote sur l'écran de droite.

Notez qu'il y a deux filaments dans la jauge d'ions chauds, et la procédure ci-dessus dégazera le filament choisi, quel qu'il soit. Pour changer de filament, suivez les étapes suivantes :

  1. Appuyez sur SETUP jusqu'à ce que l'écran de gauche indique "FIL" et l'écran de droite "nbr1" ou "nbr2".
  2. Utilisez les flèches gauche haut et bas pour passer de "nbr1" à "nbr2" (filament numéro 1 et filament numéro 2).
  3. Appuyez sur SETUP ou TEST/OP jusqu'à ce que l'appareil revienne à l'écran de mesure.

Produits connexes

Contrôleur de vide MM200

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Vacuomètre à ions chauds 3F

3F Mini BA Hot Ion UHV Vacuum Gauge

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