पतली फिल्म बयान

एक पतली फिल्म को सतह पर एक परत माना जाता है जो नैनोमीटर (10-9 मीटर) के अंशों से माइक्रोमीटर (10-6 मीटर) तक मोटाई में होती है और वैक्यूम में पतली फिल्म कोटिंग के लिए दो मुख्य तरीके उपयोग किए जाते हैं। पहला पीवीडी या भौतिक वाष्प बयान है और दूसरा सीवीडी या रासायनिक वाष्प बयान है। पीवीडी में कणों का भौतिक आंदोलन शामिल है, जबकि सीवीडी में रासायनिक प्रतिक्रिया शामिल है। ध्यान दें कि पतली फिल्म जमाव के कई अन्य प्रकार और सबसेट हैं, लेकिन पीवीडी और सीवीडी इस लेख में केवल दो चर्चा कर रहे हैं।

पीवीडी के साथ, दो प्राथमिक तरीके हैं; वाष्पीकरण और स्पंदन। वाष्पीकरण और स्पंदन अक्सर वैक्यूम के तहत किया जाता है, कारण यह है कि दबाव कम हो जाता है (या के रूप में प्रणाली वैक्यूम में गहरी चला जाता है), वाष्प दबाव (दबाव जिस पर पदार्थ एक ठोस/तरल से एक गैस के लिए बदलता है) कम हो जाती है, तो कम तापमान का इस्तेमाल किया जा सकता है । यह वस्तु लेपित किया जा रहा है पर उच्च तापमान के किसी भी नकारात्मक प्रभाव को रोकने में मदद करता है। इसके अतिरिक्त, पीवीडी के लिए वातावरण को हटाने से सुखाया गई सामग्री को उस वस्तु के लिए अधिक प्रत्यक्ष मार्ग की अनुमति देता है जिसे लेपित किया जा रहा है।

 

जैसा कि आप नीचे चार्ट ए और चार्ट बी से देख सकते हैं, वाष्पीकरण काफी सीधा है। कक्ष खाली है और गर्मी लागू किया जाता है और फिल्म सामग्री वस्तु पर सुखाया जाता है। स्पंदन थोड़ा अधिक जटिल है, जिसमें वैक्यूम चैंबर और कोटिंग सामग्री के बीच संभावित अंतर लागू होता है। आर्गन की तरह निष्क्रिय गैस, तो कक्ष में जोड़ा जाता है जो एक बिजली के निर्वहन का कारण बनता है, वस्तु पर कोटिंग सामग्री फैलाने ।

सीवीडी प्रक्रियाओं में एक सामग्री का उपयोग करने के साथ प्रतिक्रिया या वस्तु पर एक और सामग्री को विघटित करने के लिए लेपित किया जा रहा शामिल है । यह आम तौर पर गर्मी से सक्रिय है, लेकिन यह भी कुछ मामलों में एक उत्प्रेरक के रूप में प्रकाश या प्लाज्मा का उपयोग कर सकते हैं । इस वजह से, सीवीडी प्रक्रियाएं बहुत अधिक तापमान पर चलती हैं, जो कोटेड की जा रही वस्तु के आधार पर समस्याग्रस्त हो सकती हैं।

पतली फिल्म जमाव सहित अनुप्रयोगों की एक किस्म है:

सेमीकंडक्टर विनिर्माण, सौर पैनल, बैटरी, विद्युत संचालन कोटिंग्स, सजावटी कोटिंग्स, ऑप्टिकल कोटिंग्स, या सुरक्षात्मक कोटिंग्स जैसे उत्पाद परिष्करण।

So which Televac® products are useful for thin film deposition? The first is the MX200 vacuum controller with a 4A/7B vacuum gauge combination. This will give vacuum measurement from atmosphere (1000 Torr) down to 10-7 Torr. The sensors are connected to the controller with cables, allowing for a remote display, and many analog and digital communication options are available including analog 0 to 10 V DC, EthernetIP, RS-232/RS-485, and USB.

एक अन्य विकल्प सक्रिय गेज का उपयोग करने का मार्ग लेना है। सक्रिय गेज के साथ नियंत्रण इलेक्ट्रॉनिक्स सीधे संवेदन तत्व पर मुहिम शुरू की जाती है, और इस मामले में हम कम से कम दो सक्रिय गेज का उपयोग करेंगे; वायुमंडल (1000 टोर) से 10-3 टोर तक माप के लिए एमएक्स4ए थर्मोकपल वैक्यूम गेज, और 10-3 टोर से 10-8 टोर तक माप के लिए एमएक्स 7बी कोल्ड कैथोड वैक्यूम गेज। इसी तरह के आउटपुट विकल्प एनालॉग 0 से 10 वी डीसी, ईथरनेटिप और आरएस-485 के उपलब्ध हैं। ध्यान दें कि कई सक्रिय गेज को एक साथ जंजीर किया जा सकता है और विभिन्न गेज का उपयोग इस लेख में उल्लिखित की तुलना में माप की विभिन्न श्रेणियों को प्राप्त करने के लिए किया जा सकता है।

ध्यान दें कि यह लेख सेमीकंडक्टर विनिर्माण के बारे में हमारे लेख से निकटता से जुड़ा हुआ है क्योंकि पतली फिल्म प्रक्रियाओं का उपयोग अर्धचालक विनिर्माणके लिए किया जाता है।

उत्पादों

टेलीवैक वैक्यूम कंट्रोलर वैक्यूम कंट्रोल यूनिट वैक्यूम प्रेशर कंट्रोलर, एमएक्स 200, फ्रेडरिक्स, 215 947 2500

एमएक्स200 वैक्यूम कंट्रोलर

• 1*10-11 Torr  to 1*104 Torr
• Control up to 10 Televac® vacuum gauges
• Easy-to-read OLED display

टेलीवैक वैक्यूम गेज संवहन गेज पिरानी वैक्यूम ट्रांसड्यूसर

4ए संवहन वैक्यूम गेज

• 1*10-3 Torr to 1000 Torr
• Millisecond response time
• Compact, robust design

टेलीवैक वैक्यूम गेज कोल्ड कैथोड गेज पेनिंग आयनीकरण गेज

7B पेनिंग मैग्नेट्रॉन कोल्ड कैथोड वैक्यूम गेज

• 1 *10-7 टोर से 1 *10-3 टोर
• मजबूत और अत्यधिक संदूषण प्रतिरोधी
• अलग और साफ करने के लिए आसान

संवहन वैक्यूम गेज पिरानी, एमएक्स4ए, टेलीवैक फ्रेडरिक्स कंपनी, 215 947 2500

MX4A संवहन सक्रिय वैक्यूम गेज

• 1 *10-4 टोर से 1000 टोर
• सेंसर को बदलना आसान
• संदूषण प्रतिरोधी

टेलीवैक वैक्यूम गेज कोल्ड कैथोड आयनीकरण गेज पेनिंग आयनीकरण गेज

MX7B कोल्ड कैथोड एक्टिव वैक्यूम गेज

• 1 *10-3 टोर से 1 *10-8 टोर
• प्रदूषण के लिए मजबूत और अत्यधिक प्रतिरोधी
• इलेक्ट्रॉनिक्स से सेंसर डिस्कनेक्ट करने के लिए सरल
• पूर्ण मेनू कार्यक्षमता के साथ मल्टी-कलर ओएलईडी डिस्प्ले