Televac AN 3022: Controllo automatico di un MP7ER/MP7FR con un MX2A/MX4A

Scopo

The application note explains how the open collector set point of an MX2A or MX4A rough vacuum active gauge can be used to automatically control the turn on/off of an MP7ER or MP7FR cold cathode high vacuum active gauge.

Relevant Televac Products

This document applies to the Televac® products listed

Descrizione Numero di parte
MX2A 2-8910-1XX
MX4A 2-8930-1XX
MP7ER 2-7950-XXX
MP7FR 2-7970-XXX
Cavo a 6 conduttori MX2A/MX4A 2-9857-XXX
Cavo conduttore MP7ER/MP7FR 9 2-9852-XXX

Sfondo

The Televac® MX2A and MX4A are thermal conductivity active gauges for rough vacuum measurement (1*10-3 Torr to 1000 Torr) and the Televac® MP7ER and MP7FR are cold cathode active gauges for high vacuum measurement (1*10-11/1*10-8 Torr to 1*10-2 Torr).

A causa della progettazione dei catodi freddi, è importante che non siano accesi a pressioni superiori a 1*10-2 Torr. Questo aiuta a prevenire lo sputtering, così come l'ossidazione e la contaminazione che si verifica quando il catodo freddo viene acceso a pressioni più elevate, e che causa letture imprecise e danni al manometro.

Because the cold cathode can’t read above 1*10-2 Torr, a rough vacuum gauge such as the MX2A or MX4A must be used to switch the cold cathode on/off at 1*10-2 Torr.

The MX2A and MX4A both include an open collector set point, which is essentially a switch that can be set to a specific vacuum reading. In this case, our set point is set to 1*10-2 Torr. This set point switch can be wired directly to the cold cathode turn on/off control pin of the MP7ER or MP7FR, creating a standalone active vacuum gauge system capable of measuring from 1*10-11/1*10-8 Torr to 1000 Torr.

Setting up the MX2A/MX4A Set Point 1 (Open Collector)

Il set point 1 open collector MX2A/MX4A ha due impostazioni:

1. SP1H (set point 1 high) - la lettura del vuoto dove il set point si disattiva
2. SP1L (set point 1 basso) - la lettura del vuoto dove il set point si attiva

Si consigliano le seguenti impostazioni per SP1H e SP1L quando il set point viene utilizzato per controllare un MP7ER/MP7FR:

1. SP1H - 0,012 Torr (equivalente a 12 mTorr, 12 micron e 1,2*10-2 Torr)
2. SP1L - 0,010 Torr (equivalente a 10 mTorr, 10 micron e 1,0*10-2 Torr)

Si noti che si tratta di raccomandazioni, il sistema potrebbe richiedere impostazioni diverse.
Per modificare le impostazioni di SP1H e SP1L, seguire questi passi:

1. 2. Dalla schermata di misurazione, premere due volte il tasto SEL
2. Lo schermo mostrerà quindi "Setpoint SP1L .XXX" (dove .XXX è l'impostazione corrente)
3. 3. Premere il tasto ENT, il centro superiore dello schermo mostrerà "ADJ".
4. Utilizzare le frecce su e giù per regolare il valore fino a quando non si legge ".010".
5. 5. Premere il tasto ENT, il "ADJ" nella parte superiore dello schermo scomparirà
6. 7. Premere la freccia verso il basso, lo schermo mostrerà quindi "Setpoint SP1H .XXX" (dove .XXX è l'impostazione corrente)
7. 8. Premere il tasto ENT, il centro superiore dello schermo mostrerà di nuovo "ADJ".
8. Usare le frecce su e giù per regolare il valore fino a quando non si legge ".012".
9. 10. Premere il tasto ENT, il "ADJ" nella parte superiore dello schermo scomparirà
10. 10. Premere tre volte SEL per tornare alla schermata di misurazione (o attendere il timeout)

The SP1H and SP1L settings can also be changed via RS-485 communications using the W2 command. The command to change the SP1H and SP1L settings to the values recommended above is the following (where X is the address of the unit, default is 0, and <cr> is a carriage return which is equivalent to pressing the enter key on your keyboard):

1. *XW210021202<cr>

Connecting the MX2A/MX4A and MP7ER/MP7FR

These instructions assume the use of Televac® MX2A/MX4A cables PN 2-9857-XXX and the Televac® MP7ER/MP7FR cables PN 2-9852-XXX. Once you’ve completed the MX2A/MX4A setup described in Section 3, make the connections listed in the table below. What this setup will do is supply power to both units, ground the source connection of the MX2A/MX4A set point 1, and connect the open drain of the MX2A/MX4A set point 1 to the cold cathode turn on/off control pin of the MP7ER/MP7FR.

Quando il sistema viene pompato e raggiunge 1,0*10-2 Torr, il set point 1 di MX2A/MX4A si commuta, collegando il pin di controllo del catodo freddo di accensione/spegnimento del MP7ER/MP7FR a terra e accendendolo. Al contrario, quando il sistema è ventilato o disperso e raggiunge 1,2*10-2 Torr, il pin di controllo sarà scollegato da terra, spegnendo il catodo freddo.

Note:

1. I fili indicati nello schema non devono essere collegati direttamente tra loro; ad esempio, potrebbero essere cablati attraverso una morsettiera in un armadio elettronico.
2. Possono essere necessari ulteriori collegamenti al vostro sistema; per esempio i fili di uscita analogica da 0 a 10 V DC possono dover essere collegati all'ingresso analogico del vostro PLC, oppure i fili RS-485 possono dover essere collegati al vostro PLC.

MX2A/MX4A MP7ER/MP7FR Descrizione
Pin 5 (verde) Pin 1 (marrone) Set point 1 collegamento al pin di controllo on/off del catodo freddo
Pin 12 (nero) Vedi Descrizione Collegare alla messa a terra dell'alimentazione (-), collegare in qualsiasi modo desiderato
Pin 8 (rosso) Pin 4 (giallo) Alimentazione (+) 24 V DC, questi possono essere collegati indipendentemente
Pin 15 (nero) Pin 2 (rosso) Massa dell'alimentazione (-), questi possono essere collegati indipendentemente

Additional Considerations

Queste istruzioni descrivono un modo in cui l'MX2A/MX4A può essere utilizzato per commutare automaticamente il pin di controllo del catodo freddo di un MP7ER/MP7FR. Ci sono vari altri modi che potrebbero essere più adatti al vostro sistema di vuoto unico, tra cui i seguenti:

1. 2. Utilizzando il relè di set point 2 MX2A/MX4A per commutare il pin di controllo del catodo freddo dell'MP7ER/MP7FR.
2. 2. Monitorando l'uscita analogica dell'MX2A/MX4A da un PLC (o altro sistema di controllo), convertendo l'uscita analogica in una lettura a vuoto e utilizzando il PLC per commutare direttamente il pin di controllo del catodo freddo dell'MP7ER/MP7FR a 1*10-2 Torr (10 micron).
3. 4. Simile all'opzione 2, ma con il monitoraggio della lettura del vuoto MX2A/MX4A utilizzando la comunicazione RS-485.

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