Scopo
Questa nota applicativa spiega come il set point del relè di un misuratore attivo di vuoto grezzo MX2A o MX4A possa essere utilizzato per attivare e disattivare automaticamente un misuratore attivo di alto vuoto a catodo freddo MX7B o MX7M.
Prodotti Televac® rilevanti
Questa nota applicativa si applica ai prodotti Televac® elencati di seguito:
Sfondo
I Televac® MX2A e MX4A sono misuratori di conducibilità termica per misure di vuoto spinto (da 1*10-3 Torr a 1000 Torr). I Televac® MX7B e MX7M sono misuratori a catodo freddo per misure di alto e altissimo vuoto (da 1*10-11/1*10-8 Torr a 1*10-2 Torr).
A causa della progettazione dei catodi freddi, è importante che non vengano accesi a pressioni superiori a 1*10-2 Torr. L'accensione del catodo freddo a pressioni più elevate porterà a sputtering, ossidazione e contaminazione; questi causeranno letture imprecise e danni al sensore. Pertanto, è necessario utilizzare un vacuometro approssimativo, come l'MX2A o l'MX4A, per disattivare il catodo freddo a pressioni superiori a 1*10-2 Torr.
MX2A e MX4A includono entrambi il set point del relè, che è essenzialmente un interruttore che può essere impostato su una specifica lettura del vuoto. In questo caso, il set point sarà 1*10-2 Torr. Il relè può essere collegato all'alimentazione di tensione del catodo freddo, creando un sistema di misura attivo in grado di misurare da 1*10-11/1*10-8 Torr a 1000 Torr.
Configurazione del set point di MX2A/MX4A
MX2A e MX4A hanno 2 set point. Questa applicazione funziona al meglio con il set point del relè, quindi questa nota applicativa si concentrerà sul set point 2.
Il set point 2 ha 2 impostazioni:
1. SP2H (Set Point 2 High) - la lettura del vuoto dove il set point si disattiva
2. SP2L (Set Point 2 Low) - la lettura del vuoto dove il set point si attiva
Per il controllo di un MX7B o MX7M si consiglia di effettuare le seguenti impostazioni per SP2.
1. SP2H - 0,012 Torr (12 mTorr, 12 micron, 1,2*10-2 Torr)
2. SP2L - 0,010 Torr (10 mTorr, 10 micron, 1,0*10-2 Torr)
Si noti che queste sono solo raccomandazioni. Il vostro sistema potrebbe richiedere impostazioni diverse.
Per modificare le impostazioni di SP2H e SP2L, procedere come segue:
1. 2. Premere il tasto SEL finché sullo schermo non appare la scritta "Setpoint".
2. 3. Usare le frecce su/giù fino a quando lo schermo dice "SP2L".
3. 3. Premere ENT. Nella parte superiore dello schermo verrà ora visualizzato il messaggio "ADJ".
4. 5. Usare le frecce su/giù per regolare il valore sull'SP2L desiderato. Nelle nostre raccomandazioni di cui sopra, questo sarebbe 0,010.
5. 5. Premere nuovamente ENT per salvare la modifica. Il "ADJ" nella parte superiore dello schermo scomparirà.
6. 6. Premere la freccia verso il basso. Lo schermo dovrebbe ora mostrare SP2H. In caso contrario, premere le frecce fino a quando non appare.
7. 7. Premere ENT. "ADJ" riapparirà sulla parte superiore dello schermo.
8. 8. Usare le frecce su/giù per regolare i valori al SP2H desiderato. Nelle nostre raccomandazioni di cui sopra, questo sarebbe 0,012.
9. 9. Premere nuovamente ENT per salvare la nuova impostazione. Il "ADJ" nella parte superiore dello schermo scomparirà.
10. 10. Premere SEL fino a raggiungere la schermata di misurazione o attendere il timeout della schermata.
SP2H e SP2L possono essere modificati anche con il comando RS-485 W3. Il comando seguente modificherà SP2H e SP2L ai nostri valori consigliati.
Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed):
*XW310021202<cr>
Per ulteriori informazioni sul comando W3, consultare il manuale di istruzioni di MX2A e MX4A.
Abilitazione del controllo dei pin su MX7B/MX7M
L'MX7B/MX7M deve essere messo in modalità di controllo dei pin prima di poterlo accendere e spegnere con un MX2A/MX4A. Per mettere il misuratore in modalità di controllo dei pin, seguire questi passi:
1. 2. Premere SEL finché sullo schermo non appare la scritta "Impostazioni di sistema". Se inizialmente sulla schermata di misurazione, deve essere premuto 2 volte per raggiungere questa schermata.
2. 3. Premere SEL finché sullo schermo non viene visualizzato Vsense Control. Questa dovrebbe essere la quarta impostazione.
3. 3. Usare le frecce su e giù per impostare questo su Pin Control.
Questo può essere fatto anche con il comando RS-485 W8. Il seguente comando imposta l'unità in modalità di controllo dei pin.
Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed).
*XW81<cr>
Per ulteriori informazioni sul comando W8, vedere i manuali MX7B e MX7M.
Ora, l'MX7B/MX7M è pronto per essere controllato dal relè dell'MX2A/MX4A.
Collegamento dell'MX2A/MX4A all'MX7B/MX7M
Il controllo dei pin dell'MX7B/MX7M si basa sui pin 13 e 14. Quando sono in cortocircuito, il catodo freddo si accende. Altrimenti il catodo freddo si spegne.
Il relè MX2A/MX4A collegherà i pin 11 e 3 quando la pressione è superiore al setpoint, e collegherà i pin 11 e 4 quando la pressione è inferiore al setpoint. Pertanto, questo può essere utilizzato per cortocircuitare i pin 13 e 14. La seguente tabella e il diagramma mostrano le connessioni che permetteranno al relè di controllare l'MX7B/MX7M:
| MX2A/MX4A | MX7B/MX7M |
| Pin 11 (SP2 COM) | Pin 13 |
| Pin 4 (SP2 NO) | Pin 14 |
MX7B/MX7M ora accenderà il catodo freddo solo se MX2A/MX4A rileva una pressione inferiore a 1*10-2.
Si noti che è necessario alimentare le unità. Inoltre, a seconda dell'applicazione, può essere necessario collegarsi alle connessioni analogiche o RS-485.
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