Televac AN 3025: Televac AN 3025: istruzioni per il misuratore di vuoto a ioni caldi Degas per l'MM200

Scopo

Questa nota applicativa spiega la procedura di degasaggio per i vuotometri a ioni caldi Televac® ed ETI (chiamati anche vuotometri a ionizzazione calda o a filamento caldo) quando sono utilizzati con il controllore del vuoto Televac® MM200.

Prodotti Televac® rilevanti

Questa nota applicativa si applica ai prodotti Televac® elencati:

Descrizione Numero di parte
Controllore di vuoto MM200 2-7900-20
Mini misuratore a ionizzazione a caldo 3F Bayard-Alpert 345X-830X-XX

Sfondo

I misuratori di vuoto a ioni caldi possono essere messi in modalità ad alta tensione (chiamata modalità "degas") che applica l'alta tensione al filamento e bombarda la rete con gli elettroni, causando il degasaggio e la rimozione della contaminazione. Questo migliora le prestazioni del vacuometro nel suo campo di funzionamento.

Con quale frequenza devo degasare il mio vacuometro?

Risposta breve: Televac® raccomanda di degassare il vostro misuratore di ioni caldi al massimo una volta al mese, e almeno una volta ogni tre mesi.

Risposta lunga: Come per quasi tutto ciò che riguarda la misura del vuoto, la risposta è "dipende". La frequenza di degasaggio dipende fortemente dal vostro processo unico; in ambienti in cui è presente una maggiore contaminazione, o per applicazioni in cui è necessario ottenere misurazioni UHV (nel range 10-10 e 10-11 Torr), il degasaggio dovrebbe essere fatto più frequentemente. Per altri ambienti ed applicazioni, può essere effettuata meno spesso.

Ma cos'è "frequente" o "spesso"? Per rispondere a questa domanda, è importante notare che un degasaggio troppo frequente causa il degrado del filamento e della griglia, ma il mancato degasaggio può influire sulle prestazioni del vuotometro e sulla precisione delle vostre misurazioni del vuoto. Questo ci riporta alla nostra raccomandazione, ovvero che Televac® raccomanda di degassare il vuotometro al massimo una volta al mese e almeno una volta ogni tre mesi.

La degassazione può essere effettuata a intervalli regolari (ad esempio una volta al mese), oppure si possono usare altri metodi per cercare di determinare quando il misuratore deve essere degassato.

Un metodo per determinare se il vostro misuratore di ioni caldi deve essere degassato è quello di confrontarlo con un misuratore di vuoto di riferimento. Con il vacuometro di riferimento e il misuratore di ioni caldi collegati allo stesso sistema di vuoto (fisicamente il più vicino possibile l'uno all'altro), è possibile confrontare le loro letture per vedere se la lettura del misuratore di ioni caldi è andata alla deriva. La precisione tipica per un misuratore di ioni caldi è di ±10%, quindi è necessario tenerne conto (questo è spiegato più dettagliatamente di seguito).

Molte cose possono essere usate come vacuometro di riferimento, incluso un altro misuratore di ioni caldi, un misuratore a catodo freddo o un misuratore a rotore rotante (SRG). Tutti questi diversi tipi di misuratori di riferimento hanno specifiche di precisione diverse. Per esempio, diciamo che il vostro vacuometro di riferimento è anche un misuratore a ioni caldi, lo chiameremo Hot Ion Gauge 1, e chiameremo il misuratore che avete usato sul vostro sistema Hot Ion Gauge 2.

Avete sia Hot Ion Gauge 1 che Hot Ion Gauge 2 installati sul vostro sistema di vuoto, si pompa verso il basso e si effettuano le seguenti letture:

Esempio 1

  1. Manometro a ioni caldi 1 lettura = 1.0E-6 Torr
    1. Tenendo conto della specifica di precisione del ±10%, la vostra lettura ha una tolleranza da 9.0E-7 a 1.1E-6 Torr
  2. Lettura del misuratore a ioni caldi 2 = 9.0E-7
    1. Tenendo conto della specifica di precisione del ±10%, la vostra lettura ha una tolleranza da 8.1E-7 a 9.9E-7 Torr
  3. Sembra che tu sia in buona forma; non c'è bisogno di degasare.

Esempio 2

  1. Manometro a ioni caldi 1 lettura = 1.0E-6 Torr
    1. Tenendo conto della specifica di precisione del ±10%, la vostra lettura ha una tolleranza da 9.0E-7 a 1.1E-6 Torr
  2. Lettura del misuratore a ioni caldi 2 = 1.0E-7 Torr
    1. Tenendo conto della specifica di precisione del ±10%, la vostra lettura ha una tolleranza da 9.0E-8 a 1.1E-7 Torr
  3. Queste letture sono fuori tolleranza; sembra che sia ora di degasare!

Procedura Degas

Questi valgono solo per il controllore di vuoto Televac® MM200 con misuratori a ioni caldi Televac® e ETI.

  1. Collegare tutti i vuotometri rilevanti al sistema di vuoto e collegare i cavi dei vuotometri al controllore MM200.
  2. Accendere la MM200.
  3. Pompare il sistema fino a quando il misuratore di ioni caldi è in lettura 1.0*10-5 o sotto.
    1. Se il misuratore è in modalità "auto", si accenderà automaticamente quando il misuratore di vuoto grezzo raggiunge 1*10-2 Torr (10 micron).
    2. Se il misuratore è in modalità "auto", dovrà essere acceso manualmente seguendo la procedura standard di accensione.
  4. Premere SETUP fino a quando la schermata di sinistra dice "0" e quella di destra dice "dGAS".
    1. La schermata di sinistra indica il tempo (in minuti) in cui il misuratore rimarrà in modalità degas.
  5. Utilizzare le frecce di sinistra verso l'alto e verso il basso per aumentare o diminuire il tempo.
    1. Televac® raccomanda di degassare il manometro per 5 minuti.
  6. Premere SETUP o TEST/OP finché l'unità non ritorna alla schermata di misurazione.
  7. Il manometro ora sta degassando, e il tempo rimanente (in minuti) lampeggerà sullo schermo di destra.

Si noti che ci sono due filamenti nel misuratore di ioni caldi, e la procedura di cui sopra degaserà qualsiasi filamento sia selezionato. Per cambiare i filamenti, seguire questi passi:

  1. Premere SETUP fino a quando la schermata di sinistra dice "FIL" e quella di destra dice "nbr1" o "nbr2".
  2. Con le frecce di sinistra verso l'alto e verso il basso passare da "nbr1" a "nbr2" (numero di filamento 1 e numero di filamento 2).
  3. Premere SETUP o TEST/OP finché l'unità non ritorna alla schermata di misurazione.

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