Manometri passivi per il vuoto a ioni caldi ETI
ETI Ione caldo
Il nostro marchio ETI offre vari tipi di tecnologia del vuoto, tra cui i misuratori di ioni caldi in vetro e nudi (chiamati anche filamenti caldi, Bayard-Alpert, BA, o BAG o sensori di vuoto) per la misurazione di vuoto spinto da 10-10 Torr a 10-3 Torr utilizzando filamenti di tungsteno. Questa tecnologia del vuoto è popolare nell'industria dei semiconduttori per la maggiore precisione che offre rispetto alla tecnologia del vuoto a catodo freddo. Se da un lato i misuratori a ioni caldi offrono una migliore precisione rispetto a quelli a catodo freddo, dall'altro i misuratori a ioni caldi sono più costosi, non possono essere puliti e sono più suscettibili alla contaminazione, quindi non durano a lungo.
