テレバックAN 3020。真空用語リファレンス

1.まとめ

真空測定の用語は、特定の産業に特有のものであることが多く、互換性を持って使用されています。この文書では、さまざまな用語の概要と、それらがどのように相互に関連しているかを説明します。

2.用語解説

1.アナログ出力、レコーダー出力、0~10VのDC出力;すべて同じものの交換可能な用語で、圧力に対応した電圧出力。

2.低真空、粗い真空、粗い真空、高圧、同じことのための交換可能な用語は、あなたがこれらに話している人に応じて、〜760トーレと〜25トーレ、または〜760トーレと〜10-3トーレの間の圧力です。後者はまた、中真空と定義されています。

3.3.高真空、低圧;同じもののための交換可能な用語で、一般的に10-3Torrから10-9Torrと定義されています。

4.4.超高真空、UHV、超低圧、同じものの交換可能な用語で、一般的には10-9Torrから10-12Torrと定義されます。

5.超高真空、XHV、超低圧、同じものの交換可能な用語で、一般的に10-12Torr以下の圧力として定義されます。

6.ミクロン、ミリトル、mTorr;すべて同じものを表す用語で、10-3または0.001トルに等しい。

7.PLC(プログラマブル・ロジック・コントローラ):真空システムの「頭脳」で、通常はロックウェル・コリンズ/アレン・ブラドリーまたはシーメンスが供給しますが、他にもいくつかのメーカーがあります。

8.HMI、またはヒューマン・マシン・インターフェース;真空システムのディスプレイ。

9. ゲージ、パッシブゲージ、センサー、トランスデューサ、チューブ、またはこれらの組み合わせ。時々、これらの用語は、電子機器と組み合わせた受動真空ゲージを示すために使用されますが、これを「アクティブゲージ」と呼んでいます。これは、特定のアプリケーション、特に放射線が存在するアプリケーションでは重要な区別です(アクティブ真空ゲージは、放射線が照射された環境ではすぐに劣化します)。

10.ピラニ、対流、コンベクトロン、TC、熱電対、これらは技術的にはすべて別物ですが(TCと熱電対を除く)、しばしば互換的に使われます。これらを総称して「熱伝導率計」と呼んでいます。

11.CDG、キャパシタンスダイアフラムゲージ、キャパシタンスマノメータ、バラトロン。バラトロンはMKS Instruments, Inc.の登録商標です。

12.陰極、CC、冷イオン化ゲージ、イオン化ゲージ、イオンゲージ、ペニング;通常はすべて同じものを意味する交換可能な用語です。冷陰極にはさまざまな種類がありますが、ほとんどのメーカーやユーザーはそれらを区別していません。

13.ホットイオン、ホットイオン化、ホットフィラメント、ホットカソード、バヤールアルパート、BAG(バヤールアルパートゲージ);異なるタイプがありますが、これらは通常、すべて同じものを意味する交換可能な用語です。

14.フランジ、フィッティング;これらは技術的には異なるが、互換性を持って使用されます。これは、真空システムのポートと真空ゲージの間のインターフェースです。

15.NW、KF、QF、DN、クラインフランジ、クイックフランジ、またはこれらの組み合わせに2桁の数字を付けた もので、これらはすべて同じタイプのフランジの呼称です。ご興味のある方は、2桁の数字がフランジの公称内径をミリ単位で示しています。

16. CF、コンフラット;同じタイプのフランジの交換可能な名称で、これらは通常、超高真空用途に使用されます。