1.まとめ
真空測定の用語は、特定の産業に特有のものであることが多く、互換性を持って使用されています。この文書では、さまざまな用語の概要と、それらがどのように相互に関連しているかを説明します。
2.用語解説
1.アナログ出力、レコーダー出力、0～10VのDC出力；すべて同じものの交換可能な用語で、圧力に対応した電圧出力。
2.低真空、粗い真空、粗い真空、高圧、同じことのための交換可能な用語は、あなたがこれらに話している人に応じて、〜760トーレと〜25トーレ、または〜760トーレと〜10-3トーレの間の圧力です。後者はまた、中真空と定義されています。
3.3.高真空、低圧；同じもののための交換可能な用語で、一般的に10-3Torrから10-9Torrと定義されています。
4.4.超高真空、UHV、超低圧、同じものの交換可能な用語で、一般的には10-9Torrから10-12Torrと定義されます。
5.超高真空、XHV、超低圧、同じものの交換可能な用語で、一般的に10-12Torr以下の圧力として定義されます。
6.ミクロン、ミリトル、mTorr；すべて同じものを表す用語で、10-3または0.001トルに等しい。
7.PLC（プログラマブル・ロジック・コントローラ）：真空システムの「頭脳」で、通常はロックウェル・コリンズ/アレン・ブラドリーまたはシーメンスが供給しますが、他にもいくつかのメーカーがあります。
8.HMI、またはヒューマン・マシン・インターフェース；真空システムのディスプレイ。
9. ゲージ、パッシブゲージ、センサー、トランスデューサ、チューブ、またはこれらの組み合わせ。時々、これらの用語は、電子機器と組み合わせた受動真空ゲージを示すために使用されますが、これを「アクティブゲージ」と呼んでいます。これは、特定のアプリケーション、特に放射線が存在するアプリケーションでは重要な区別です（アクティブ真空ゲージは、放射線が照射された環境ではすぐに劣化します）。
10.ピラニ、対流、コンベクトロン、TC、熱電対、これらは技術的にはすべて別物ですが（TCと熱電対を除く）、しばしば互換的に使われます。これらを総称して「熱伝導率計」と呼んでいます。
11.CDG、キャパシタンスダイアフラムゲージ、キャパシタンスマノメータ、バラトロン。バラトロンはMKS Instruments, Inc.の登録商標です。
12.冷陰極、CC、冷イオン化ゲージ、イオン化ゲージ、イオンゲージ、ペニング；通常はすべて同じものを意味する交換可能な用語です。冷陰極にはさまざまな種類がありますが、ほとんどのメーカーやユーザーはそれらを区別していません。
13.ホットイオン、ホットイオン化、ホットフィラメント、ホットカソード、バヤールアルパート、BAG（バヤールアルパートゲージ）；異なるタイプがありますが、これらは通常、すべて同じものを意味する交換可能な用語です。
14.フランジ、フィッティング;これらは技術的には異なるが、互換性を持って使用されます。これは、真空システムのポートと真空ゲージの間のインターフェースです。
15.NW、KF、QF、DN、クラインフランジ、クイックフランジ、またはこれらの組み合わせに2桁の数字を付けた もので、これらはすべて同じタイプのフランジの呼称です。ご興味のある方は、2桁の数字がフランジの公称内径をミリ単位で示しています。
16. CF、コンフラット；同じタイプのフランジの交換可能な名称で、これらは通常、超高真空用途に使用されます。