目的
The application note explains how the open collector set point of an MX2A or MX4A rough vacuum active gauge can be used to automatically control the turn on/off of an MP7ER or MP7FR cold cathode high vacuum active gauge.
Relevant Televac Products
This document applies to the Televac® products listed
| 説明 | 部品番号 |
| エムエックスツーエー | 2-8910-1XX |
| エムエックスフォーエー | 2-8930-1XX |
| ＭＰ７ＥＲ | 2-7950-XXX |
| エムピーセブンエフアール | 2-7970-XXX |
| MX2A/MX4A 6芯ケーブル | 2-9857-XXX |
| MP7ER/MP7FR 9芯ケーブル | 2-9852-XXX |
背景
The Televac® MX2A and MX4A are thermal conductivity active gauges for rough vacuum measurement (1*10-3 Torr to 1000 Torr) and the Televac® MP7ER and MP7FR are cold cathode active gauges for high vacuum measurement (1*10-11/1*10-8 Torr to 1*10-2 Torr).
冷陰極の設計上、1*10-2Torr以上の圧力でオンにしないことが重要です。これはスパッタリングの防止に役立つだけでなく、冷陰極をより高い圧力でオンにしたときに発生する酸化や汚染を防ぎ、不正確な測定値やゲージの損傷の原因となります。
Because the cold cathode can’t read above 1*10-2 Torr, a rough vacuum gauge such as the MX2A or MX4A must be used to switch the cold cathode on/off at 1*10-2 Torr.
The MX2A and MX4A both include an open collector set point, which is essentially a switch that can be set to a specific vacuum reading. In this case, our set point is set to 1*10-2 Torr. This set point switch can be wired directly to the cold cathode turn on/off control pin of the MP7ER or MP7FR, creating a standalone active vacuum gauge system capable of measuring from 1*10-11/1*10-8 Torr to 1000 Torr.
Setting up the MX2A/MX4A Set Point 1 (Open Collector)
MX2A/MX4Aのセットポイント1オープンコレクタには2つの設定があります。
1.SP1H (セットポイント 1 高) - セットポイントが無効になる真空度測定値
2.SP1L (セットポイント 1 ロー) - セットポイントがアクティブになる真空度測定値
MP7ER/MP7FR の制御にセットポイントを使用する場合は、SP1H、SP1L の設定を推奨します。
1.SP1H - 0.012 Torr (12 mTorr、12ミクロン、1.2*10-2Torrに相当)
2.SP1L - 0.010 Torr (10 mTorr、10ミクロン、1.0*10-2Torrに相当)
これらは推奨事項であり、お使いのシステムでは異なる設定が必要な場合があります。
SP1H と SP1L の設定を変更するには、以下の手順に従います。
1.測定画面からSELキーを2回押します。
2.画面には、"Setpoints SP1L .XXX"が表示されます（.XXX は現在の設定です）。
3.ENTキーを押すと、画面中央上部に「ADJ」と表示されます。
4.上下の矢印を使用して、「.010」と表示されるまで値を調整します。
5.ENTキーを押すと、画面上部の「ADJ」が消えます。
6.下向き矢印を押すと、画面に「セットポイント SP1H .XXX」が表示されます（ここで .XXX は現在の設定です）。
7.ENTキーを押すと、画面中央上部に再び「ADJ」と表示されます。
8.上下の矢印を使用して、「.012」と表示されるまで値を調整します。
9.ENTキーを押すと、画面上部の「ADJ」が消えます。
10.SEL を 3 回押して測定画面に戻る（またはタイムアウトを待つ）。
The SP1H and SP1L settings can also be changed via RS-485 communications using the W2 command. The command to change the SP1H and SP1L settings to the values recommended above is the following (where X is the address of the unit, default is 0, and <cr> is a carriage return which is equivalent to pressing the enter key on your keyboard):
1. *XW210021202<cr>
Connecting the MX2A/MX4A and MP7ER/MP7FR
These instructions assume the use of Televac® MX2A/MX4A cables PN 2-9857-XXX and the Televac® MP7ER/MP7FR cables PN 2-9852-XXX. Once you’ve completed the MX2A/MX4A setup described in Section 3, make the connections listed in the table below. What this setup will do is supply power to both units, ground the source connection of the MX2A/MX4A set point 1, and connect the open drain of the MX2A/MX4A set point 1 to the cold cathode turn on/off control pin of the MP7ER/MP7FR.
システムがポンプダウンして1.0*10-2Torrに達すると、MX2A/MX4Aのセットポイント1が切り替わり、MP7ER/MP7FRの冷陰極ターンオン/オフ制御ピンをグランドに接続してオンになります。逆に、システムのベントやリークアップで1.2*10-2Torrになると、コントロールピンがグランドから切り離され、冷陰極をオフにします。
注意してください。
1.図に示す配線は、互いに直接接続する必要はなく、例えば、電子キャビネットの端子台を介して配線することができます。
2.例えば、アナログ 0～10V DC 出力ワイヤを PLC のアナログ入力に接続したり、RS-485 ワイヤを PLC に接続する必要がある場合があります。
| MX2A/MX4A | MP7ER/MP7FR | 説明 |
| ピン 5 (緑) | ピン1（茶色 | セットポイント1は冷陰極ターンオン/オフ制御ピンに接続します。 |
| ピン12（黒 | 説明を参照してください。 | 電源(-)グランドに接続し、任意の方法で接続します。 |
| ピン 8 (赤) | ピン 4 (黄) | 電源 (+) 24 V DC、これらは独立して接続することができます。 |
| ピン15（黒 | ピン 2 (赤) | 電源(-)グランド、これらは独立して接続することができます |
Additional Considerations
この説明書では、MX2A/MX4Aを使用してMP7ER/MP7FRのコールドカソードコントロールピンを自動的に切り替える方法を説明しています。お客様のユニークな真空システムには、以下のような他にも様々な方法があります。
1.MX2A/MX4A の設定点 2 リレーを使用して、MP7ER/MP7FR の冷陰極制御端子を切り換える。
2.2. MX2A/MX4Aのアナログ出力をPLC(または他の制御システム)から監視し、アナログ出力を真空度に変換し、PLCを使用してMP7ER/MP7FRの冷陰極制御ピンを1*10-2Torr(10ミクロン)で直接切り替える。
3.オプション2と似ていますが、RS-485通信を使用してMX2A/MX4Aの真空度測定値を監視します。
関連製品
MP7ER Cold Cathode Active Gauge
• 1*10-8 Torr to 1*10-2 Torr
• Cleanable sensor for extended use
• Minimal stray magnetic field
MP7FR Cold Cathode Active Gauge
• 1*10-11 Torr to 1*10-2 Torr
• Compact and robust design
• Minimal stray magnetic field