目的
このアプリケーションノートでは、MX2AまたはMX4A粗真空アクティブゲージのリレーセットポイントを使用して、MX7BまたはMX7M冷陰極高真空アクティブゲージを自動的に有効/無効にする方法を説明します。
関連するTelevac®製品
このアプリケーションノートは、以下に示すTelevac®製品に適用されます。
| 説明 | 部品番号 |
| エムエックスツーエー | 2-8910-1XX |
| エムエックスフォーエー | 2-8930-1XX |
| エムエックスセブンビー | 2-8940-XXX |
| エムエックスセブンエム | 2-8950-XXX |
| MX2A/MX4A 15芯ケーブル | 2-9858-XXX |
| MX7B/MX7M 6芯ケーブル | 2-9873-XXX |
| MX7B/MX7M 15芯ケーブル | 2-9858-XXX |
背景
Televac® MX2A およびMX4Aは、粗真空測定（1*10-3Torr～1000Torr）用の熱伝導率ゲージです。Televac® MX7BおよびMX7Mは、高真空および超高真空測定用冷陰極ゲージです（1*10-11/1*10-8 Torr～1*10-2Torr）。
冷陰極の設計上、1*10-2Torr以上の圧力ではオンにしないことが重要です。より高い圧力で冷陰極をオンにすると、スパッタリング、酸化、汚染の原因となります。したがって、1*10-2Torr以上の圧力で冷陰極を無効にするには、MX2AやMX4Aのような大まかな真空計を使用する必要があります。
MX2AとMX4Aの両方にはリレーセットポイントがあります。この場合、セットポイントは1*10-2Torrになります。リレーは冷陰極の電圧供給に配線することができ、1*10-11/1*10-8Torrから1000 Torrまでの測定が可能なアクティブゲージシステムを作成します。
MX2A/MX4Aセットポイントの設定
MX2AとMX4Aには2つのセットポイントがあります。このアプリケーションはリレーのセットポイントで最もよく動作するので、このアプリケーションノートではセットポイント2に焦点を当てています。
セットポイント2には2つの設定があります。
1.SP2H (セットポイント 2 高) - セットポイントが無効になる真空度測定値
2.SP2L (セットポイント 2 ロー) - セットポイントがアクティブになる真空度測定値
SP2でMX7BやMX7Mを制御する場合は、以下の設定を推奨します。
1.SP2H - 0.012 Torr (12 mTorr、12ミクロン、1.2*10-2Torr)
2.SP2L - 0.010 Torr (10 mTorr, 10 micr, 1.0*10-2Torr)
これらはあくまでも推奨事項であることに注意してください。お使いのシステムによっては、異なる設定が必要になる場合があります。
SP2H、SP2L の設定を変更するには、以下の操作を行います。
1.画面に「Setpoints」と表示されるまで SEL ボタンを押します。
2.画面に「SP2L」と表示されるまで、上下矢印を使用します。
3.ENTボタンを押す画面上部に「ADJ」と表示されます。
4.上下矢印を使って、希望のSP2Lに調整します。上記の推奨値では、0.010になります。
5.5. もう一度ENTキーを押して、変更を保存します。画面上部の「ADJ」が消えます。
6.6. 下矢印を押す画面に「SP2H」と表示されるはずです。表示されない場合は、表示されるまで矢印を押してください。
7.ENTを押す"画面上部に「ADJ」と表示されます。
8.上下の矢印を使って、希望のSP2Hに調整します。上記の推奨値では、0.012 になります。
9.9. もう一度ENTを押して、新しい設定を保存します。画面上部の「ADJ」が消えます。
10.10. 測定画面になるまでSELを押すか、画面がタイムアウトするまで待ちます。
また、SP2H、SP2L は RS-485 W3 コマンドを使用して変更することができます。以下のコマンドでSP2HとSP2Lを弊社推奨値に変更します。
Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed):
*XW310021202<cr>
W3コマンドの詳細については、MX2AおよびMX4Aの取扱説明書を参照してください。
MX7B/MX7Mのピン制御を有効にする
MX7B/MX7Mは、MX2A/MX4A で ON/OFF する前に、ピンコントロールモードにする必要があります。ゲージをピンコントロールモードにするには、以下の手順に従ってください。
1.システム設定」と表示されるまでSELを押します。最初に測定画面が表示されている場合は、2回押してこの画面に到達します。
2.画面に"Vsense Control"が表示されるまでSELを押します。これが4番目の設定になります。
3.上下の矢印を使用して、これをピンコントロールに設定します。
これは RS-485 W8 コマンドでも可能です。以下のコマンドでピン制御モードにします。
Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed).
*XW81<cr>
W8 コマンドの詳細については、MX7BおよびMX7M のマニュアルを参照してください。
これでMX7B/MX7Mは MX2A/MX4Aのリレーで制御できるようになりました。
MX2A/MX4AとMX7B/MX7Mの接続
MX7B/ MX7Mのピン制御は 13 ピンと 14 ピンを基準にトグルします。これらが短絡されると、冷陰極がオンになります。それ以外の場合、コールドカソードはオフになります。
MX2A/MX4Aのリレーは、圧力が設定値以上になるとピン11と3を接続し、圧力が設定値以下になるとピン11と4を接続します。したがって、これを利用して、ピン１３、１４を短絡させることができる。以下の表と図は、リレーがMX7B/MX7Mを制御できるようになる接続を示しています。
| MX2A/MX4A | MX7B/MX7M |
| ピン 11 (SP2 COM) | ピン13 |
| ピン 4 (SP2 NO) | ピン14 |
MX7B/MX7Mは、MX2A/MX4Aが1*10-2よりも低い圧力を検出した場合にのみ、冷陰極をオンにします。
ユニットへの電源供給が必要となりますのでご注意ください。また、用途によってはアナログ接続やRS-485接続が必要な場合があります。
