テレバックAN 3024MP2AR/MP4ARによるMX7B/MX7Mの自動制御

目的

このアプリケーションノートでは、MP2ARまたはMP4AR粗真空アクティブゲージのリレーセットポイントを使用して、MX7BまたはMX7M冷陰極高真空アクティブゲージを自動的に有効化および無効化する方法について説明します。

関連するTelevac®製品

このアプリケーションノートは、以下に示すTelevac®製品に適用されます。

説明 部品番号
MP2AR 2-7910-XXX
エムピーエヌピーエーアール 2-7930-XXX
エムエックスセブンビー 2-8940-XXX
エムエックスセブンエム 2-8950-XXX
MP2AR/MP4AR 9芯ケーブル 2-9852-XXX
MX7B/MX7M 6芯ケーブル 2-9873-XXX
MX7B/MX7M 15芯ケーブル 2-9858-XXX

背景

Televac®MP2ARMP4ARは、粗真空測定(1*10-3 Torr から 20/760 Torr)用の熱伝導率ゲージです。TelevacMX7Bと MX7Mは、高真空や超高真空測定(1*10-11/1*10-8 Torr~1*10-2 Torr)用の冷陰極管ゲージです。

冷陰極の設計上、1*10-2Torr以上の圧力ではオンにしないことが重要です。より高い圧力で冷陰極をオンにすると、スパッタリング、酸化、汚染の原因となり、不正確な測定値やセンサーの損傷の原因となります。したがって、1*10-2Torr以上の圧力で冷陰極を無効にするには、MP2ARやMP4ARのような大まかな真空計を使用する必要があります。

MP2ARとMP4ARにはリレーセットポイントが搭載されており、これは基本的に特定の真空度に設定できるスイッチです。この場合、セットポイントは1*10-2Torrになります。リレーは冷陰極の電圧供給に配線することができ、高真空(10-11/10-8Torr)から粗真空(20/760 Torr)までの測定が可能なアクティブゲージシステムを作成します。

MP2AR/MP4ARのセットポイントを設定する

MP2AR とMP4ARにはリレーのセットポイントがあり、一定の真空度を読み取ったときに信号を出力することができます。この信号を利用して、必要な時に冷陰極をオンにすることができます。MX7B/ MX7Mを制御するために、我々は1*10-2Torrでそれらをオンにすることをお勧めしますので、セットポイントは、その真空レベルでトリップするように設定する必要があります。これらはあくまでも推奨値であることに注意してください。お使いのシステムによっては、異なる設定が必要になる場合があります。

現在の設定値は、MP2AR/MP4AR上部の「設定値表示」ボタンを押すことで確認することができます。これにより、設定値の真空度がディスプレイに表示されます。1 Torr以下の圧力ではミクロンLEDが点灯します。設定値を表示している間、ディスプレイは点滅します。通常の操作に戻るには、「設定値表示」ボタンを再度押すか、60 秒間待ってタイムアウトします。

設定値は、DB9 コネクタのピン 9 から電圧として読み取ることもできます。この電圧値は、MP2AR/MP4ARマニュアルに記載されている方法で真空に変換することができます。

MP2AR/MP4AR の設定値を調整するには、以下の操作を行います。

  1. 上記のいずれかの方法でセットポイントを表示します。
  2. 設定値調整」ネジを回して設定値を変更します。
  3. 設定値を10ミクロンに調整します。

MX7B/MX7Mのピン制御を有効にする

MX7B/ MX7M をピンコントロールモードにしてから、MP2AR/MP4AR で ON/OFF する必要があります。ゲージをピンコントロールモードにするには、以下の手順に従ってください。

  1. システム設定」と表示されるまでSELを押します。最初に測定画面が表示されている場合は、2回押してこの画面に到達する必要があります。
  2. 画面にVsense Controlが表示されるまでSELを押します。これが4番目の設定になっているはずです。
  3. 上下の矢印を使って、これをピンコントロールに設定します。

This can also be done with the RS-485 W8 command. The following command will set the unit to pin control mode. Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed).
*XW81<cr>

W8 コマンドの詳細については、MX7BMX7M のマニュアルを参照してください。これで、MX7B/MX7MMP2AR/MP4ARのリレーで制御する準備が整いました。

MP2AR/MP4ARとMX7B/MX7Mの接続について

MX7B/ MX7Mのピン制御は 13 ピンと 14 ピンを基準にトグルします。これらが短絡されると、冷陰極がオンになります。それ以外の場合、コールドカソードはオフになります。

MP2AR/MP4ARのリレーは、圧力が設定値以上になると2番ピンと6番ピンを接続し、圧力が設定値以下になると1番ピンと6番ピンを接続します。そのため、MX7B/MX7Mの13番ピンと14番ピンをショートさせることができます。以下の表と図は、リレーがMX7B/MX7Mを制御するための接続を示しています。

MP2AR/MP4AR MX7B/MX7M
ピン 6 (リレー COM) ピン13
ピン 1 (リレー NO) ピン14

 

MX7B/ MX7Mは、MP2AR/MP4ARが1*10-2以下の圧力を検出した場合にのみ、冷陰極をオンにします。
ユニットに電源を供給する必要があることに注意してください。また、用途によってはアナログ接続やRS-485接続が必要になる場合があります。

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