目的
シミュレーターは、さまざまな真空レベル/圧力で一般的な真空計からの電気信号を模倣します。最も一般的な用途は、真空システムのトラブルシューティングや潜在的なセットアップの問題を特定することです。このアプリケーションノートでは、Televac®が提供するシミュレータの概要とその使用方法について説明します。
シミュレーターの種類
Televac®は、最も一般的な真空センサーのシミュレーターを提供しています。これらのシミュレーターには2つのタイプがあります：
1.ゼロ点シミュレータは、0ミクロン/mTorrでの典型的な真空ゲージ出力をシミュレートします。
2.マルチポイントシミュレータは、複数の圧力での典型的な真空ゲージ出力をシミュレートします。
利用可能なシミュレータは以下の通りです。
| センサーモデル | 模擬圧力 | 製品番号 |
| 2A熱電対 | ゼロ（赤線、0ミクロン 3点（0、100、1000ミクロン |
2-2100-237 2-2100-242 |
| 2Aミニ熱電対 | ゼロ（赤線、0ミクロン 3点（0、100、1000ミクロン |
2-2100-240 2-2100-241 |
| 4A対流 | ゼロ（赤線、0ミクロン 3点（0、1、760トーア |
2-2119-000 2-2119-003 |
| 7B ペニングマグネトロン | 2点（10-3、10-5トーア 4点（10-3、10-4、10-5、10-6トーア |
2-2100-93 2-2100-108 |
| 7E二重反転マグネトロン | 2点（10-2、10-5トーア | 2-2142-000 |
| 7F 二重反転マグネトロン | 2点（10-3、10-5トーア | 2-2145-000 |
シミュレーターを使ったトラブルシューティング
Televac®コントローラのバキューム測定値が正しくない場合、セットアップのどの部分が問題を引き起こしているかを特定するのは困難な場合があります。いくつかのトラブルシューティング方法を以下に説明します：
1.シミュレータは一般的な真空計からの電気信号を表しているため、真空計が問題を引き起こしているかどうかをテストするために使用できます。これをテストするには、バキュームゲージをシミュレータと交換し、コントローラからの出力が妥当な許容範囲内にあるかどうかを確認します。そうでない場合は、ゲージを交換する必要があるかもしれません。
2.2. 当社の冷陰極ゲージのほとんどすべてをクリーニングすることができ、それらのゲージの問題を修正できる可能性があります。詳細情報とクリーニング手順については、アプリケーションノート 3002(7B および 7E) およびアプリケーションノート 3004(7FC および 7FCS) を参照してください。
3.ゲージを交換しても問題が解決しない場合は、真空を引っ張らずに他のシステムコンポーネントをテストするためにシミュレータを使用することもできます。例えば、別のケーブルをシミュレータでテストして、問題のある測定値を修正するかどうかを確認することができます。
校正にシミュレーターを使用する際の注意点
キャリブレーションは、真空コントローラーのセットアップの一般的なステップです。これは、対応する真空計とコントローラーの測定値が許容範囲内にあることを保証するものです。シミュレーターは典型的な真空ゲージを代表するものであるため、シミュレーターはゲージ間の変動を考慮しません。そのため、シミュレーターで校正すると、真空ゲージを接続したときに誤った測定値が得られる可能性があります。このため、Televac®では、シミュレーターを使用して真空コントローラーを校正することは推奨していません。
Televac®が推奨する真空システムのフィールド校正の詳細については、アプリケーション・ノート3015をご覧ください。
関連製品
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