テレバック AN 30047FCと7FCS冷陰極パッシブゲージのクリーニング

説明

このアプリケーションノートでは、過酷な環境で使用されたり、10-4Torr以上の範囲で長時間動作したTelevac® 7FC冷陰極および7FCS冷陰極真空センサーのクリーニングプロセスについて説明します。

必要な材料

7FC冷陰極および7FCS冷陰極真空センサを適切に洗浄するためには、以下の材料が必要である。

1.3/16インチ六角レンチ

指示

1.真空チャンバーからセンサーを取り出す。

2.ボルトを緩めて陽極アセンブリを露出させる。

3.アノードアセンブリをゆっくりと上に持ち上げて、本体から分離します。

4.センサーから銅製ガスケットを取り外します。

5.陽極とボディの両方のナイフエッジが良好な状態であることを確認する。

6.タワシを使用して陽極の汚れを優しく取り除きます。7FCSの場合、始動補助装置を傷つけないように注意してください。

7.ボディにガラスビーズを吹き付ける。

8.洗浄後、乾燥窒素でガラスビーズやほこりを吹き飛ばす。

9.新しい銅製ガスケットをボディに取り付ける。

10.陽極アセンブリをボディに戻します。

11.ガスケットが均一に圧縮されるように、ボルトからボルトへと徐々にボルトを締める。

12.真空チャンバーに再装着する。

13.高真空までポンプダウンすると、チューブが脱気されるのに数時間かかる。

14.正しく洗浄し、組み立てれば、NISTトレーサブルな校正が必要な場合を除き、再校正なしでゲージ管を使用する準備が整います。
トレーサブルな校正が必要な場合を除き、再校正なしで使用できる。

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