説明
このアプリケーションノートでは、MM200真空コントローラと同等のMX200真空コントローラのアナログ（DC0～10V）出力設定を示します。
比較表
緑でハイライトされた値は、そのセンサータイプのMX200のデフォルト設定です。
赤くハイライトされた値は、そのセンサータイプのMM200のデフォルト設定です。
| センサー | M200コード | MX200設定 | 高価値 | 低価格 |
| 1E | アールワンエン | リニア（LIN） | 1.0E+03 Torr | 1.0E+00 Torr |
| アールワンエル | 非対応 | - | - | |
| 1F | アールワンエン | リニア（LIN） | 1.0E+04 Torr | 1.0E+01 Torr |
| アールワンエル | 非対応 | - | - | |
| 2A | Ｒ２ＡＮ | リニア（LIN） | 1.0E+00 Torr | 1.0E-03 Torr |
| Ｒ２ＡＬ | 対数 (LOG) | 1.0E+00 Torr | 1.0E-03 Torr | |
| Ｒ２ＡＴ | 非対応 | - | - | |
| R2AC | 非対応 | - | - | |
| Ｒ２ＡＲ | 非対応 | - | - | |
| 4A | Ｒ４ＡＮ | リニア・バイ・デケード（L-D） | 1.0E+03 Torr | 1.0E-03 Torr |
| Ｒ４ＡＵ | リニア（LIN） | 1.0E+00 Torr | 1.0E-03 Torr | |
| Ｒ４ＡＴ | 非対応 | - | - | |
| Ｒ４ＡＬ | 対数 (LOG) | 1.0E+03 Torr | 1.0E-03 Torr | |
| 5A/5B/5C/5D/5E/5F | Ｒ５ＡＮ | リニア（LIN） | フルスケール | フルスケール * 0.001 |
| Ｒ５ＡＬ | 非対応 | - | - | |
| 7B | アールセブンビーエム | リニア・バイ・デケード（L-D） | 1.0E-03 | 1.0E-07 |
| アールセブンビーエル | 対数 (LOG) | 1.0E-03 | 1.0E-07 | |
| アールセブンビーイー | 非対応 | - | - | |
| アールセブンビーエヌ | リニア（LIN） | 1.0E-03 | 1.0E-06 | |
| R7BA | 非対応 | - | - | |
| アールセブンビーティー | 非対応 | - | - | |
| 7E | アールセブンイーエム | リニア・バイ・デケード7E (L-D 7E) | 1.0E-02 | 1.0E-08 |
| アールセブンエル | 対数 (LOG) | 1.0E-02 | 1.0E-11 | |
| R7Ex | リニア（LIN） | 1.0E-0x | 1.0E-(x+3)*. | |
| 7F/7FC/7FCS | アールセブンエフエム | リニア・バイ・デケード（L-D） | 1.0E-02 | 1.0E-11 |
| アールセブンエフエル | 対数 (LOG) | 1.0E-02 | 1.0E-11 | |
| アールセブンエフエックス | リニア（LIN） | 1.0E-0x | 1.0E-(x+3)*. |
*7E=2≤x≤5、7F/7FC/7FCS=2≤x≤8の値に依存します。
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