説明
This application note shows the MX200 Vacuum Controller analog (0 to 10 V DC) output settings that are equivalent to an MM200 Vacuum Controller.
比較表
緑でハイライトされた値は、そのセンサータイプのMX200のデフォルト設定です。
赤くハイライトされた値は、そのセンサータイプのMM200のデフォルト設定です。
| センサー | M200 Code | MX200設定 | 高価値 | 低価格 |
| 1E | アールワンエン | Linear (LIN) | 1.0E+03 Torr | 1.0E+00 Torr |
| アールワンエル | Not supported | - | - | |
| 1F | アールワンエン | Linear (LIN) | 1.0E+04 Torr | 1.0E+01 Torr |
| アールワンエル | Not supported | - | - | |
| 2A | Ｒ２ＡＮ | Linear (LIN) | 1.0E+00 Torr | 1.0E-03 Torr |
| Ｒ２ＡＬ | Logarithmic (LOG) | 1.0E+00 Torr | 1.0E-03 Torr | |
| Ｒ２ＡＴ | Not supported | - | - | |
| R2AC | Not supported | - | - | |
| Ｒ２ＡＲ | Not supported | - | - | |
| 4A | Ｒ４ＡＮ | Linear-by-decade (L-D) | 1.0E+03 Torr | 1.0E-03 Torr |
| Ｒ４ＡＵ | Linear (LIN) | 1.0E+00 Torr | 1.0E-03 Torr | |
| Ｒ４ＡＴ | Not supported | - | - | |
| Ｒ４ＡＬ | Logarithmic (LOG) | 1.0E+03 Torr | 1.0E-03 Torr | |
| 5A/5B/5C/5D/5E/5F | Ｒ５ＡＮ | Linear (LIN) | Full scale | Full scale * 0.001 |
| Ｒ５ＡＬ | Not supported | - | - | |
| 7B | アールセブンビーエム | Linear-by-decade (L-D) | 1.0E-03 | 1.0E-07 |
| アールセブンビーエル | Logarithmic (LOG) | 1.0E-03 | 1.0E-07 | |
| アールセブンビーイー | Not supported | - | - | |
| アールセブンビーエヌ | Linear (LIN) | 1.0E-03 | 1.0E-06 | |
| R7BA | Not supported | - | - | |
| アールセブンビーティー | Not supported | - | - | |
| 7E | アールセブンイーエム | Linear-by-decade 7E (L-D 7E) | 1.0E-02 | 1.0E-08 |
| アールセブンエル | Logarithmic (LOG) | 1.0E-02 | 1.0E-11 | |
| R7Ex | Linear (LIN) | 1.0E-0x* | 1.0E-(x+3)* | |
| 7F/7FC/7FCS | アールセブンエフエム | Linear-by-decade (L-D) | 1.0E-02 | 1.0E-11 |
| アールセブンエフエル | Logarithmic (LOG) | 1.0E-02 | 1.0E-11 | |
| アールセブンエフエックス | Linear (LIN) | 1.0E-0x* | 1.0E-(x+3)* |
*7E=2≤x≤5、7F/7FC/7FCS=2≤x≤8の値に依存します。
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