ETI ホットイオンパッシブ真空計

ETIブランドでは、タングステンフィラメントを用いた10-10 Torrから10-3 Torrまでの高真空測定用のガラス製およびヌード製のホットイオンゲージ（ホットフィラメント、ベイヤード-アルパートゲージ、BA、BAGゲージ、真空センサーとも呼ばれます）を含むさまざまなタイプの真空技術を提供しています。この真空技術は、冷陰極真空技術よりも高精度であることから、半導体産業で普及しています。ホットイオンゲージは、冷陰極管よりも精度が高い反面、高価で洗浄ができず、汚れやすいため寿命が短いという欠点があります。