Part Numbers: 2-2106-001, 2-2107-030, 2-2107-031, 2-2107-032, 2-2107-050, 2-2107-052, 6-2107-001
対応機種:MX200, MX200 イーサネットIP
特長と効果
- 低コストの圧電ダイアフラム真空圧力計
- コンパクトで堅牢、耐汚染性に優れた真空トランスデューサ
- 数多くの継手が利用可能 (1/8″NPT、NW25、NW40、CF40、他の多くの中で)
- ドロップイン式真空圧計交換
- 真空トランスデューサの優れたカスタマーサポート
- 高濃度汚染環境に対応したフィルター
Our 1E piezo diaphragm gauge (also often called a vacuum pressure gauge, vacuum transducer, or vacuum sensor) is a fast, robust, contamination resistant, and high accuracy low vacuum pressure gauge due to the piezo-diaphragm design. Note that by comparison to the 2A and 4A vacuum gauges which have a thermocouple gauge design, the 1E piezo-diaphragm vacuum sensor design is gas-independent and can be mounted in any orientation.
The 1E piezo-diaphragm vacuum sensor will read from 1 Torr (1000 microns) to 1000 Torr (1,000,000 microns, slightly above atmosphere). It also has excellent accuracy over its range, and when paired with the MX200 vacuum controller it has ±5% to ±10% accuracy over the operating range of this vacuum gauge.
供給電流 | 1.5 mA |
フルスケール出力 | 75 mV ~ 150 mV |
0 圧力出力 | >2 mV |
非線形性 | +/- 0.05 %~0.10 |
ヒステリシス | 0.01 %~0.05 % +/- . |
イン/アウト抵抗 | 2.5 K ~ 6.0 K Ω |
温度誤差-スパン | +/- 0.3%から0.5%まで |
温度エラー-ゼロ | +/- 0.1%から0.5%まで |
温度ヒステリシススパン | +/- .1 % |
温度ヒステリシスゼロ | +/- .1 % |
応答時間 | 1.0 mS |
出力負荷 抵抗 | 50 M Ω |
圧力過負荷(定格 | 最大3倍 |
動作温度 | 0 °C~50 °C |
加速 | 50g以下 |
衝撃 | 1000gのピークを0.05msのために |
振動 | 10 Hz~2000 Hzで20 gのピーク |
メディア | 非腐食性ガス |
熱処理・真空炉 |
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薄膜の成膜・コーティング工程 |
電子ビーム溶接 |
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