Televac® 3F Mini BA Hot Ion Ultra-High Vacuum Gauge (UHV)

3F Hot Ion Vacuum Gauge
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Part Numbers: 3451-8305-25, 3451-8305-35, 3452-8306-05

Compatible With: MC300 (Legacy), MM200 (Legacy)

The Televac® 3F Mini BA Hot Cathode Ionization UHV gauge maximizes performance with proven accuracy and unmatched durability in high vacuums. The miniature sensor’s rugged all-metal construction is ideal for most applications, with the primary enclosure and many of the internal elements fabricated of 304 stainless steel. The dual filaments are yttria-coated iridium and are individually supported to provide uniform output over variations in temperature and age and exhibit less calibration error. Coated iridium filaments tend to withstand pressure bursts with a robustness not possible with lesser materials. The typical user should experience a filament lifetime of 10,000 hours. The precision ion collector is 0.004” diameter, decreasing the x-ray limit of the gauge.

仕様

測定範囲 1*10-2から 1*10-10Torr
窒素に対する感度 10/Torr
ベークアウト温度 200 °C
動作温度 0 °C～50 °C
エックス線限界 <1*10-10 Torr
フィラメントエミッション電流 .01、0.1、1.0 mAまたは自動
フィラメントバイアス電位 +30 V +/‐ 0.3%
グリッドポテンシャル +180 V +/‐ 0.3%
フィラメント加熱電圧 1.5 V Typical (2.5 V Max)
フィラメント加熱電流 1.5A（代表値）、3A（最大値
取付方向 何れかの
ドガパワー 5 W電子ビーム

アプリケーション

低温・工業用ガス
半導体
薄膜の成膜・コーティング工程
分析機器
装飾的なコーティング
電子顕微鏡
環境シミュレーション
高エネルギー物理学
イルミネーション製品の製造・販売
磁気メディア製造株式会社
分子線エピタキシー
光学・機能性コーティング
物理蒸着
表面科学
熱処理