テレバックMX7M冷陰極電離イオンゲージ
MX7Mは、5*10-11～1*10-2 Torrの広い動作範囲を持つ新しいTelevac® 7M冷陰極イオン化ゲージを搭載したアクティブ真空計です。10-11Torrの範囲で測定できるクリーニング可能な冷陰極は、市場でこれだけです。新しいトリプルインバーテッドマグネトロンデザインは、浮遊磁場を大幅に減少させながら直線性を向上させることで、真空ゲージの全体的な精度を向上させています。
この真空計は全金属製シールで、コンパクトな全体デザインを維持しながらアウトガスを最小限に抑えます。MX7M冷陰極ゲージは、設定可能な0～10 V DCアナログ出力、RS-485通信（EthernetIPオプション）、プログラム可能な2つのセットポイント（リレーとオープンコレクタ）、180°の視野角を持つ明るいOLEDディスプレイなど、さまざまな機能も備えています。
MX7M 冷陰極真空計の特長
- 高耐汚染性の冷陰極イオン化ゲージ設計
- 低アウトガスを実現するオールメタルシール
- 設定可能な0～10Vアナログ出力
- プロセス制御用セットポイントリレーとオープンコネクタ
- RS-485およびUSB通信規格