1. 요약
진공 측정 용어는 종종 특정 산업 및/또는 상호 교환적으로 사용되는 고유합니다. 이 문서에서는 서로 다른 용어와 상호 연관된 방법에 대한 개요를 제공합니다.
2. 용어학
1. 아날로그 출력, 레코더 출력, 0 ~ 10 V DC 출력; 동일한 것에 대한 모든 교환 용어, 압력에 대응하는 전압 출력.
2. 낮은 진공, 거친 진공, 거친 진공, 고압; 같은 일에 대 한 교환 용어, 이러한 얘기하는 사람에 따라 ~760 토르와 ~25 토르, 또는 ~760 토르와 ~10-3 토르 사이의 압력. 후자는 또한 중간 진공으로 정의됩니다.
3. 높은 진공, 저압; 동일한 것에 대해 상호 교환 가능한 용어는 일반적으로10-3 Torr에서10-9 Torr로 정의됩니다.
4. 초고진공, UHV, 매우 낮은 압력; 동일한 것에 대한 교환 용어, 일반적으로 10-9 Torr에서 10-12 Torr로 정의됩니다.
5. 매우 높은 진공, XHV, 매우 낮은 압력; 동일한 것에 대해 상호 교환 가능한 용어는 일반적으로10-12 Torr 미만의 압력으로 정의됩니다.
6. 마이크론, 밀리토르, mTorr; 같은 일에 대한 모든 용어, 10-3 또는 0.001 토르와 동일합니다.
7. PLC 또는 프로그래밍 가능한 논리 컨트롤러; 진공 시스템의 "두뇌", 일반적으로 로큰웰 콜린스 / 앨런 브래들리 또는 지멘스에 의해 공급, 여러 다른 제조 업체가 있지만.
8. HMI, 또는 인간 기계 인터페이스; 진공 시스템에 대한 디스플레이.
9. 게이지, 패시브 게이지, 센서, 트랜스듀서, 튜브 또는 이러한 조합; 동일한 것에 대한 모든 교환 가능한 용어, 명확성을 위해 우리는 이를 "패시브 진공 게이지"라고 지칭합니다. 때로는 이러한 용어가 전자 장치와 결합된 수동 진공 게이지를 나타내는 데 사용되며, 이는 "액티브 게이지"라고 부릅니다. 이것은 특정 응용 분야, 특히 방사선이 존재하는 응용 분야에 대한 중요한 구별입니다 (활성 진공 게이지는 조사 된 환경에서 빠르게 저하됩니다).
10. 피라니, 대류, 대류, 대류트론, TC, 열전대; 이들은 기술적으로 모두 다른 (TC와 열전대 제외), 하지만 그들은 종종 상호 교환 사용. 이러한 게이지의 모든 유형에 대한 광범위한 용어는 "열 전도도 게이지"입니다.
11. CDG, 커패시턴스 다이어프램 게이지, 커패시턴스 기노미터, 바라트론; 동일한 것에 대한 모든 상호 교환 용어. 바라트론은 MKS 인스트루먼트, Inc.의 등록 상표입니다.
12. 콜드 음극, CC, 차가운 이온화 게이지, 이온화 게이지, 이온 게이지, 페닝; 일반적으로 동일한 것에 대한 모든 교환 용어. 차가운 음극의 다른 유형이 있다, 하지만 대부분의 제조 업체와 사용자가 그들을 구별 하지 않습니다.
13. 뜨거운 이온, 뜨거운 이온화, 뜨거운 필라멘트, 뜨거운 음극, 바야드 알퍼트, BAG (바야드 알퍼트 게이지); 다른 유형이 있지만 일반적으로 동일한 용어에 대해 모두 교환 할 수 있습니다.
14화 플랜지, 피팅; 이들은 기술적으로 다르지만 상호 교환적으로 사용됩니다. 이것은 진공 시스템의 포트와 진공 게이지 사이의 인터페이스입니다.
15. NW, KF, QF, DN, 클라인 플랜지, 빠른 플랜지, 또는 두 자리 숫자와 이들의 일부 조합; 이들은 모두 동일한 유형의 플랜지에 대한 지정입니다. 관심이 있다면 두 자리 숫자는 플랜지의 명목 내경을 밀리미터 단위로 나타냅니다.
16. CF, conflat; 동일한 유형의 플랜지에 대한 교환 가능한 이름, 이들은 일반적으로 UHV 응용 프로그램에 사용됩니다.