목적
The application note explains how the open collector set point of an MX2A or MX4A rough vacuum active gauge can be used to automatically control the turn on/off of an MP7ER or MP7FR cold cathode high vacuum active gauge.
Relevant Televac Products
This document applies to the Televac® products listed
| 설명 | 부품 번호 |
| MX2A | 2-8910-1XX |
| MX4A | 2-8930-1XX |
| MP7ER | 2-7950-XXX |
| MP7FR | 2-7970-XXX |
| MX2A/MX4A 6 도체 케이블 | 2-9857-XXX |
| MP7ER/MP7FR 9 컨덕터 케이블 | 2-9852-트리플 엑스 |
배경
The Televac® MX2A and MX4A are thermal conductivity active gauges for rough vacuum measurement (1*10-3 Torr to 1000 Torr) and the Televac® MP7ER and MP7FR are cold cathode active gauges for high vacuum measurement (1*10-11/1*10-8 Torr to 1*10-2 Torr).
차가운 음극의 디자인 때문에 1 *10-2 Torr 위의 압력에서 켜지지 않는 것이 중요합니다. 이것은 고압에서 차가운 음극을 켜고 게이지에 부정확한 판독및 손상을 일으키는 원인이 되는 산화 및 오염뿐만 아니라 스퍼터링을 방지하는 데 도움이 됩니다.
Because the cold cathode can’t read above 1*10-2 Torr, a rough vacuum gauge such as the MX2A or MX4A must be used to switch the cold cathode on/off at 1*10-2 Torr.
The MX2A and MX4A both include an open collector set point, which is essentially a switch that can be set to a specific vacuum reading. In this case, our set point is set to 1*10-2 Torr. This set point switch can be wired directly to the cold cathode turn on/off control pin of the MP7ER or MP7FR, creating a standalone active vacuum gauge system capable of measuring from 1*10-11/1*10-8 Torr to 1000 Torr.
Setting up the MX2A/MX4A Set Point 1 (Open Collector)
MX2A/MX4A 세트 포인트 1 오픈 컬렉터는 두 가지 설정이 있습니다.
1. SP1H (설정 점 1 높음) – 세트점이 비활성화되는 진공 판독
2. SP1L (설정 점 1 낮은 설정) – 세트 점이 활성화되는 진공 판독
설정 점을 사용하여 MP7ER/MP7FR을 제어하는 데 사용되는 경우 SP1H 및 SP1L에 대한 다음 설정을 사용하는 것이 좋습니다.
1. SP1H – 0.012 토르 (12 mTorr, 12 미크론 및 1.2 * 10-2 토르에 해당)
2. SP1L – 0.010 토르 (10 mTorr, 10 미크론 및 1.0 * 10-2 토르에 해당)
이러한 권장 사항은 시스템에서 다른 설정이 필요할 수 있습니다.
SP1H 및 SP1L 설정을 변경하려면 다음 단계를 따르십시오.
1. 측정 화면에서 SEL 키를 두 번 누르기
2. 화면은 다음 표시됩니다 "Setpoints SP1L .XXX" (여기서 .XXX는 현재 설정)
3. ENT 키를 누르면 화면 의 상단 중앙에 "ADJ"가 표시됩니다.
4. 위쪽 및 아래쪽 화살표를 사용하여 ".010"을 읽을 때까지 값을 조정합니다.
5. ENT 키를 누르면 화면 상단에있는 "ADJ"가 사라집니다.
6. 아래쪽 화살표를 누르면 화면이 "Setpoints SP1H .XXX"(.XXX가 현재 설정인 경우)를 표시합니다.
7. ENT 키를 누르면 화면 상단 중앙에 다시 "ADJ"가 표시됩니다.
8. 위쪽 및 아래쪽 화살표를 사용하여 ".012"를 읽을 때까지 값을 조정합니다.
9. ENT 키를 누르면 화면 상단의 "ADJ"가 사라집니다.
10. SEL을 세 번 눌러 측정 화면으로 돌아갑니다 (또는 시간 제전에 기다립니다)
The SP1H and SP1L settings can also be changed via RS-485 communications using the W2 command. The command to change the SP1H and SP1L settings to the values recommended above is the following (where X is the address of the unit, default is 0, and <cr> is a carriage return which is equivalent to pressing the enter key on your keyboard):
1. *XW210021202<cr>
Connecting the MX2A/MX4A and MP7ER/MP7FR
These instructions assume the use of Televac® MX2A/MX4A cables PN 2-9857-XXX and the Televac® MP7ER/MP7FR cables PN 2-9852-XXX. Once you’ve completed the MX2A/MX4A setup described in Section 3, make the connections listed in the table below. What this setup will do is supply power to both units, ground the source connection of the MX2A/MX4A set point 1, and connect the open drain of the MX2A/MX4A set point 1 to the cold cathode turn on/off control pin of the MP7ER/MP7FR.
시스템이 아래로 펌핑되고 1.0*10-2 Torr에 도달하면 MX2A/MX4A 세트 포인트 1이 전환되어 MP7ER/MP7FR의 차가운 음극 켜기/끄기 제어 핀을 접지및 켜집니다. 반대로 시스템이 환기되거나 유출되어 1.2*10-2 Torr에 도달하면 제어 핀이 지면에서 분리되어 차가운 음극을 차단합니다.
노트:
1. 다이어그램에 표시된 전선은 서로 직접 연결할 필요가 없습니다. 예를 들어 전자 캐비닛의 터미널 블록을 통해 유선으로 연결될 수 있습니다.
2. 시스템에 추가 연결이 필요할 수 있습니다. 예를 들어 아날로그 0 ~ 10 V DC 출력 와이어는 PLC의 아날로그 입력에 연결해야 하거나 RS-485 와이어를 PLC에 연결해야 할 수 있습니다.
| MX2A/MX4A | MP7ER/MP7FR | 설명 |
| 핀 5(그린) | 핀 1 (브라운) | 콜드 음극 켜기/끄기 제어 핀에 대한 1점 연결 설정 |
| 핀 12 (블랙) | 설명 보기 | 전원 공급 장치(-) 접지에 연결하고 원하는 방식으로 연결 |
| 핀 8(레드) | 핀 4(노란색) | 전원 공급 장치 (+) 24 V DC, 이들은 독립적으로 연결할 수 있습니다 |
| 핀 15 (블랙) | 핀 2(레드) | 전원 공급 장치(-) 접지, 이들은 독립적으로 연결할 수 있습니다. |
Additional Considerations
이 지침은 MX2A/MX4A를 사용하여 MP7ER/MP7FR의 냉음극 제어 핀을 자동으로 전환하는 데 사용할 수 있는 한 가지 방법을 설명합니다. 다음과 같은 고유한 진공 시스템에 더 적합할 수 있는 다양한 방법이 있습니다.
1. MX2A/MX4A 세트 포인트 2 릴레이를 사용하여 MP7ER/MP7FR의 냉음극 제어 핀을 전환합니다.
2. PLC(또는 다른 제어 시스템에서 MX2A/MX4A)의 아날로그 출력을 모니터링하고, 아날로그 출력을 진공 판독으로 변환하고, PLC를 사용하여 MP7ER/MP7FR의 냉음극 제어 핀을 1*10-2 Tor(10미크론)에서 직접 전환합니다.
3. 옵션 2와 유사하지만 RS-485 통신을 사용하여 MX2A / MX4A 진공 판독을 모니터링합니다.
관련 제품
MP7ER Cold Cathode Active Gauge
• 1*10-8 Torr to 1*10-2 Torr
• Cleanable sensor for extended use
• Minimal stray magnetic field
MP7FR Cold Cathode Active Gauge
• 1*10-11 Torr to 1*10-2 Torr
• Compact and robust design
• Minimal stray magnetic field