목적
이 애플리케이션 노트에서는 MX2A 또는 MX4A 거친 진공 활성 게이지의 릴레이 설정점을 사용하여 MX7B 또는 MX7M 콜드 음극 고진공 활성 게이지를 자동으로 활성화 및 비활성화하는 방법을 설명합니다.
관련 텔레바크® 제품
이 애플리케이션 노트는 아래 나열된 Televac® 제품에 적용됩니다.
| 설명 | 부품 번호 |
| MX2A | 2-8910-1XX |
| MX4A | 2-8930-1XX |
| MX7B | 2-8940-XXX |
| MX7M | 2-8950-XXX |
| MX2A/MX4A 15 도체 케이블 | 2-9858-XXX |
| MX7B/MX7M 6 컨덕터 케이블 | 2-9873-XXX |
| MX7B/MX7M 15 도체 케이블 | 2-9858-XXX |
배경
Televac® MX2A 및 MX4A는 거친 진공 측정을 위한 열전도도 게이지입니다(1*10-3 Torr ~ 1000 Torr). Televac® MX7B 및 MX7M은 고진공 및 초고진공 측정을 위한 냉음극 게이지입니다(1*10-11/1*10-8 Torr ~ 1*10-2 Torr).
차가운 음극의 디자인으로 인해 1 *10-2 Torr 이상의 압력에서 켜지지 않는 것이 중요합니다. 더 높은 압력에서 차가운 음극을 돌리면 스퍼터링, 산화 및 오염으로 이어질 것입니다. 이로 인해 센서가 부정확한 판독값과 손상이 발생합니다. 따라서 MX2A 또는 MX4A와 같은 거친 진공 게이지를 사용하여 1*10-2 Torr 이상의 압력에서 차가운 음극을 비활성화할 필요가 있습니다.
MX2A와 MX4A에는 릴레이 설정점이 모두 포함되며, 이는 본질적으로 특정 진공 판독값으로 설정할 수 있는 스위치입니다. 이 경우 설정 점은 1*10-2 Torr입니다. 릴레이는 차가운 음극의 전압 공급에 연결하여 1*10-11/1*10-8 Torr에서 1000 Torr까지 측정할 수 있는 액티브 게이지 시스템을 만들 수 있습니다.
MX2A/MX4A 설정점 구성
MX2A와 MX4A에는 2세트 포인트가 있습니다. 이 응용 프로그램은 릴레이 설정 점에서 가장 잘 작동하므로 이 응용 프로그램 노트는 세트 포인트 2에 중점을 둡니다.
세트 포인트 2에는 2개의 설정이 있습니다.
1. SP2H (설정 점 2 높음) – 세트점이 비활성화되는 진공 판독
2. SP2L (설정 점 2 낮음) - 세트점이 활성화되는 진공 판독
MX7B 또는 MX7M을제어하려면 SP2에 대한 다음 설정을 권장합니다.
1. SP2H – 0.012 토르 (12 mTorr, 12 미크론, 1.2 *10-2 토르)
2. SP2L – 0.010 토르 (10 mTorr, 10 미크론, 1.0 *10-2 토르)
이러한 사항은 권장 사항일 뿐입니다. 시스템에 다른 설정이 필요할 수 있습니다.
SP2H 및 SP2L 설정을 변경하려면 다음을 수행하십시오.
1. 화면이 "Setpoints"라고 할 때까지 SEL 버튼을 누릅니다.
2. 화면이 "SP2L"이라고 할 때까지 위/아래 화살표를 사용합니다.
3. 이비인후드를 누르는다. 화면 상단에 "ADJ"라고 표시됩니다.
4. 위/아래 화살표를 사용하여 원하는 SP2L로 값을 조정합니다. 위의 권장 사항에서 이 내용은 0.010입니다.
5. 변경 된 것을 저장 하려면 다시 ENT를 누르십시오. 화면 상단에 있는 "ADJ"가 사라집니다.
6. 아래쪽 화살표를 누릅니다. 이제 화면에 SP2H가 표시됩니다. 그렇지 않으면 화살표가 될 때까지 누릅니다.
7. 이비인후드를 누르기. 화면 상단에 "ADJ"가 다시 나타납니다.
8. 위/아래 쪽 화살표를 사용하여 값을 원하는 SP2H로 조정합니다. 위의 권장 사항에서 이것은 0.012입니다.
9. 새로운 설정을 저장하려면 이비인후드를 다시 누릅니다. 화면 상단에 있는 "ADJ"가 사라집니다.
10. 측정 화면에 도달하거나 화면이 시간 아웃될 때까지 SEL을 누릅니다.
RS-485 W3 명령을 사용하여 SP2H 및 SP2L도 변경할 수 있습니다. 다음 명령은 SP2H 및 SP2L을 권장값으로 변경합니다.
Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed):
*XW310021202<cr>
W3 명령에 대한 자세한 내용은 MX2A 및 MX4A의 사용 설명서를 참조하십시오.
MX7B/MX7M에서 핀 제어 활성화
MX7B/MX7M은 MX2A / MX4A로켜고 끌 수있기 전에 핀 제어 모드로 넣어야합니다. 게이지를 핀 컨트롤 모드로 전환하려면 다음 단계를 따르십시오.
1. 화면이 "시스템 설정"이라고 적을 때까지 SEL을 누릅니다. 처음에 측정 화면에서 이 화면에 도달하기 위해 2번 눌러야 합니다.
2. Vsense 컨트롤이 화면에 표시 될 때까지 SEL을 누릅니다. 이것은 4번째 설정이어야 합니다.
3. 위쪽 및 아래쪽 화살표를 사용하여 핀 컨트롤로 설정합니다.
RS-485 W8 명령에서도 수행할 수 있습니다. 다음 명령은 장치를 핀 컨트롤 모드로 설정합니다.
Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed).
*XW81<cr>
W8 명령에 대한 자세한 내용은 MX7B 및 MX7M 매뉴얼을 참조하십시오.
이제 MX7B/MX7M은 MX2A/MX4A의릴레이에 의해 제어 될 준비가되어 있습니다.
MX2A/MX4A를 MX7B/MX7M에 연결
MX7B/MX7M의핀 컨트롤 토글핀 13 및 14에 따라 전환합니다. 그들이 단락되면, 차가운 음극이 켜집니다. 그렇지 않으면, 차가운 음극이 꺼질 것입니다.
MX2A/MX4A의릴레이는 압력이 셋포인트 위에 있을 때 핀 11과 3을 연결하고, 압력이 셋포인트 아래에 있을 때 핀 11과 4를 연결합니다. 따라서 이 핀은 13및 14의 짧은 핀에 사용할 수 있습니다. 다음 표 와 다이어그램은 릴레이가 MX7B/MX7M을제어 할 수있는 연결을 보여줍니다 :
| MX2A/MX4A | MX7B/MX7M |
| 핀 11 (SP2 COM) | 핀 13 |
| 핀 4 (SP2 NO) | 핀 14 |
MX7B/MX7M은 이제 MX2A / MX4A가1 * 10 -2보다낮은 압력을 감지하는 경우에만 차가운 음극을 켭니다.
장치에 전원을 공급할 필요가 있습니다. 또한 응용 프로그램에 따라 아날로그 또는 RS-485 연결에 연결해야 할 수도 있습니다.
관련 제품
• 5*10-11 토르에서 1*10-2 토르까지
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• 낮은 가스 배출로 이어지는 모든 금속 씰