목적
이 애플리케이션 노트에서는 MP2AR 또는 MP4AR 러프 진공 액티브 게이지의 릴레이 설정 포인트를 사용하여 MX7B 또는 MX7M 냉음극 고진공 액티브 게이지를 자동으로 활성화 및 비활성화하는 방법을 설명합니다.
관련 텔레바크® 제품
이 애플리케이션 노트는 아래 나열된 Televac® 제품에 적용됩니다.
| 설명 | 부품 번호 |
| MP2AR | 2-7910-XXX |
| MP4AR | 2-7930-XXX |
| MX7B | 2-8940-XXX |
| MX7M | 2-8950-XXX |
| MP2AR/MP4AR 9 컨덕터 케이블 | 2-9852-트리플 엑스 |
| MX7B/MX7M 6 컨덕터 케이블 | 2-9873-XXX |
| MX7B/MX7M 15 도체 케이블 | 2-9858-XXX |
배경
Televac® MP2AR 및 MP4AR은 저진공 측정용 열전도도 측정기입니다(1*10-3 Torr ~ 20/760 Torr). Televac MX7B 및 MX7M은 고진공 및 초고진공 측정용 저온 음극 게이지입니다(1*10-11/1*10-8 Torr ~ 1*10-2 Torr).
차가운 음극의 디자인으로 인해 1 *10-2 Torr 이상의 압력에서 켜지지 않는 것이 중요합니다. 더 높은 압력에서 차가운 음극을 돌리면 스퍼터링, 산화 및 오염으로 이어질 것입니다. 이로 인해 센서가 부정확한 판독값과 손상이 발생합니다. 따라서 MP2AR 또는 MP4AR과같은 거친 진공 게이지를 사용하여 1*10-2 Torr 이상의 압력에서 차가운 음극을 비활성화할 필요가 있습니다.
MP2AR과 MP4AR에는 릴레이 세트점이 모두 포함되며, 이는 본질적으로 특정 진공 판독값으로 설정할 수 있는 스위치입니다. 이 경우 설정 점은 1*10-2 Torr입니다. 릴레이는 차가운 음극의 전압 공급에 연결하여 고진공(10-11/10-8 Torr)에서 거친 진공(20/760 Torr)까지 측정할 수 있는 액티브 게이지 시스템을 생성할 수 있습니다.
MP2AR/MP4AR 설정 포인트 구성하기
MP2AR 및 MP4AR에는 특정 진공 레벨을 읽을 때 신호를 출력하는 데 사용할 수 있는 릴레이 세트점이 있습니다. 이 신호는 필요할 때 차가운 음극을 켜는 데 사용할 수 있습니다. MX7B/MX7M을제어하려면 1 *10-2 Tor에서 켜는 것이 좋습니다. 이러한 사항은 권장 사항일 뿐입니다. 시스템에 다른 설정이 필요할 수 있습니다.
설정점에 대한 현재 설정은 MP2AR/MP4AR상단의 "설정점 표시" 버튼을 눌러 볼 수 있습니다. 이렇게 하면 디스플레이에 설정점 진공이 표시됩니다. 미크로른 LED는 1 Torr 이하의 압력에 대해 점등됩니다. 설정점 값을 표시하면서 디스플레이가 깜박입니다. 일반 작업으로 돌아가려면 "setpoint 표시" 버튼을 다시 누르거나 60초 정도 기다립니다.
설정점은 DB9 커넥터의 핀 9의 전압으로 읽을 수도 있습니다. 이러한 전압 값은 MP2AR/MP4AR매뉴얼에 기재된 방법을 사용하여 진공으로 변환될 수 있다.
MP2AR/MP4AR의설정점을 조정하려면 다음을 수행하십시오.
- 위에서 설명한 메서드 중 하나를 사용하여 집합점을 봅니다.
- "설정점 조정" 나사를 돌려 설정점 값을 변경합니다.
- 세트점을 10미크론으로 조정합니다.
MX7B/MX7M에서 핀 제어 활성화
MX7B/MX7M은 MP2AR/MP4AR로켜고 끌 수 있기 전에 핀 제어 모드로 넣어야합니다. 게이지를 핀 컨트롤 모드로 전환하려면 다음 단계를 따르십시오.
- 화면이 "시스템 설정"이라고 표시될 때까지 SEL을 누릅니다. 처음에 측정 화면에서 이 화면에 도달하기 위해 2번 눌러야 합니다.
- 화면에 Vsense 컨트롤이 표시될 때까지 SEL을 누릅니다. 이것은 4번째 설정이어야 합니다.
- 위쪽 및 아래쪽 화살표를 사용하여 핀 컨트롤로 설정합니다.
This can also be done with the RS-485 W8 command. The following command will set the unit to pin control mode. Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed).
*XW81<cr>
W8 명령에 대한 자세한 내용은 MX7B 및 MX7M 매뉴얼을 참조하십시오. 이제 MX7B/MX7M은 MP2AR/MP4AR의릴레이에 의해 제어 될 준비가되어 있습니다.
MP2AR/MP4AR을 MX7B/MX7M에 연결하기
MX7B/MX7M의핀 컨트롤 토글핀 13 및 14에 따라 전환합니다. 그들이 단락되면, 차가운 음극이 켜집니다. 그렇지 않으면, 차가운 음극이 꺼질 것입니다.
MP2AR/MP4AR의릴레이는 압력이 셋포인트 위에 있을 때 핀 2와 6을 연결하고 압력이 설정점 아래에 있을 때 핀 1과 6을 연결합니다. 따라서 MX7B/MX7M에서13 및 14핀의 짧은 핀에 사용할 수있습니다. 다음 표 와 다이어그램은 릴레이가 MX7B/MX7M을제어 할 수있는 연결을 보여줍니다 :
| MP2AR/MP4AR | MX7B/MX7M |
| 핀 6 (릴레이 COM) | 핀 13 |
| 핀 1 (릴레이 번호) | 핀 14 |
MP2AR/MP4AR가1*10-2보다 낮은 압력을 감지하면 MX7B/MX7M은 이제차가운 음극을 켜집니다.
장치에 전원을 공급할 필요가 있습니다. 또한 응용 프로그램에 따라 아날로그 또는 RS-485 연결에 연결해야 할 수도 있습니다.
관련 제품
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• 낮은 가스 배출로 이어지는 모든 금속 씰