MM200용 핫 이온 진공 게이지 드가

목적

이 애플리케이션 노트에서는 Televac MM200 진공 컨트롤러^{와 함께 사용할 때 Televac®} 및 ETI 핫 이온 진공 게이지(핫 이온화 진공 게이지 또는 핫 필라멘트 진공 게이지라고도 함)의 가스 제거 절차에 ^{대해 설명합니다.®}

배경

뜨거운 이온 진공 게이지는 필라멘트에 고전압을 적용하고 전자로 그리드를 포격하는 고전압 모드("degas" 모드라고 함)에 투입되어 오염을 제거하고 제거합니다. 이렇게 하면 작동 범위에 대한 진공 게이지의 성능이 향상됩니다.

진공 게이지를 얼마나 자주 탈기해야 합니까?

짧은 대답: Televac^® 뜨거운 이온 게이지를 한 달에 한 번, 적어도 3개월에 한 번 씩 탈퇴하는 것이 좋습니다.

긴 대답: 진공 측정과 관련된 거의 모든 것과 마찬가지로 대답은 "따라 다름"입니다. 탈가스 의 빈도는 고유 프로세스에 크게 의존합니다. 더 많은 오염이 존재하는 환경이나 UHV 측정(10-10 및 10^-11 Torr 범위)을 달성해야 하는 응용 분야의 경우 탈기 는 더 자주 수행해야 합니다. 다른 환경 및 응용 프로그램의 경우 덜 자주 수행할 수 있습니다.

그러나 "빈번한" 또는 "자주"란 무엇입니까? 이 질문에 대답하려면 너무 자주 탈유하면 필라멘트와 그리드가 저하되지만 degas에 실패하면 진공 게이지의 성능과 진공 측정의 정확성에 영향을 줄 수 있습니다. 이것은 텔레바크^® 한 달에 한 번, 적어도 3 개월마다 한 번 게이지를 탈퇴할 것을 권장한다는 우리의 권고에 다시 우리를 제공합니다.

탈기는 정기적으로(예: 한 달에 한 번) 또는 다른 방법을 사용하여 게이지를 탈유해야 하는 시기를 결정할 수 있습니다.

핫 이온 게이지를 탈유해야 하는지 여부를 결정하는 한 가지 방법은 이를 참조 진공 게이지와 비교하는 것입니다. 레퍼런스 진공 게이지와 동일한 진공 시스템에 연결된 핫 이온 게이지를 사용하면 판독값을 비교하여 뜨거운 이온 게이지 판독이 표류했는지 확인할 수 있습니다. 핫 이온 게이지에 대한 일반적인 정확도는 ±10%이므로 이를 고려해야 합니다(아래에 자세히 설명되어 있음).

다른 핫 이온 게이지, 콜드 음극 게이지 또는 회전 로터 게이지(SRG)를 포함하여 많은 것들을 참조 진공 게이지로 사용할 수 있습니다. 이러한 다양한 유형의 기준 게이지는 정확도 사양이 모두 다릅니다. 예를 들어, 참조 진공 게이지도 뜨거운 이온 게이지라고 가정해 보겠습니다.

당신은 모두 핫 이온 게이지 1 과 핫 이온 게이지 2 진공 시스템에 설치, 당신은 아래로 펌프, 당신은 다음과 같은 판독을:

예 1

뜨거운 이온 게이지 1 판독 = 1.0E-6 토르
1. ±10% 정확도 사양을 고려하여 판독값은 9.0E-7에서 1.1E-6 Torr의 허용 오차를 가지고 있습니다.
뜨거운 이온 게이지 2 판독 = 9.0E-7
1. ±10% 정확도 사양을 고려하여 판독값은 8.1E-7에서 9.9E-7 Torr의 허용 오차를 가지고 있습니다.
당신이 좋은 모양에있는 것 같습니다; 탈가스를 필요로 하지 않습니다.

예 2

뜨거운 이온 게이지 1 판독 = 1.0E-6 토르
1. ±10% 정확도 사양을 고려하여 판독값은 9.0E-7에서 1.1E-6 Torr의 허용 오차를 가지고 있습니다.
뜨거운 이온 게이지 2 판독 = 1.0E-7 토르
1. ±10% 정확도 사양을 고려하여 판독값은 9.0E-8에서 1.1E-7 Torr의 허용 오차를 가지고 있습니다.
그 독서는 관용에서; 그것은 degas 하는 시간 처럼 보인다!

가스 제거 절차

텔레바크^® MM200 진공 컨트롤러에만 적용되며, 텔레바크^® ETI 핫 이온 게이지.

모든 관련 진공 게이지를 진공 시스템에 연결하고 게이지 케이블을 MM200 컨트롤러에 연결합니다.
MM200에 전원을 공급합니다.
뜨거운 이온 게이지가 1.0*10을 읽을 때까지 시스템을 아래로 펌프^-5 또는 아래.
1. 게이지가 "자동" 모드에 있는 경우 거친 진공 게이지가 1*10-2 Torr(10미크론)에 도달하면 자동으로 켜집니다.
2. 게이지가 "자체" 모드인 경우 표준 켜기 프로시저에 따라 수동으로 켜야 합니다.
왼쪽 화면이 "0"이라고 말하고 오른쪽 화면이 "dGAS"라고 할 때까지 설치를 누릅니다.
1. 왼쪽 화면은 게이지가 degas 모드에 남아 있는 시간(분)을 나타냅니다.
왼쪽 위아래 화살표를 사용하여 시간을 늘리거나 줄입니다.
1. Televac^® 5 분 동안 게이지를 탈퇴하는 것이 좋습니다.
장치가 측정 화면으로 돌아올 때까지 설정 또는 테스트/OP를 누릅니다.
게이지가 이제 탈기되고 나머지 시간(분)이 올바른 화면에 깜박입니다.