설명
이 애플리케이션 노트에서는 열악한 환경에서 사용되었거나 10-4 Torr 이상 범위에서 장기간 작동된 Televac® 7FC 냉음극 및 7FCS 냉음극 진공 센서를 청소하는 프로세스를 설명합니다.
지침
1. 진공 챔버에서 센서를 제거합니다.
2. 볼트의 나사를 풀어 양극 조립체를 노출시킵니다.
3. 양극 어셈블리를 위쪽으로 부드럽게 들어 올려 본체에서 분리합니다.
4. 센서에서 구리 개스킷을 제거합니다.
5. 양극과 몸체의 칼 가장자리를 확인하여 양호한 상태인지 확인하십시오.
6. 정련 패드를 사용하여 양극에서 오염 물질을 부드럽게 제거하십시오. 7FCS의 경우 시작 보조 장치가 손상되지 않도록 주의하십시오.
7. 유리 구슬로 몸을 폭파하십시오.
8. 청소 후 잔류 유리 구슬이나 먼지를 건조한 질소로 날려 버리십시오.
9. 몸에 새로운 구리 개스킷을 설치하십시오.
10. 본체의 양극 어셈블리를 교체합니다.
11. 개스킷의 균일 한 압축을 보장하기 위해 볼트에서 볼트로 점차적으로 움직이는 볼트를 조이십시오.
12. 진공 챔버에 다시 설치하십시오.
13. 튜브가 높은 진공으로 펌핑 될 때 탈기되도록 몇 시간을 허용하십시오.
14. 제대로 청소하고 조립 한 경우, 게이지 튜브는 NIST가 아닌 한 재 보정없이 사용할 준비가되었습니다.
추적 가능한 교정이 필요합니다.
