ETI 핫 이온 패시브 진공 게이지
ETI 핫 이온
당사의 ETI 브랜드는 텅스텐 필라멘트를 사용하여 10-10 Torr에서 10-3 Torr까지의 고진공 측정을 위해 유리 및 누드 핫 이온 게이지 (핫 필라멘트, Bayard-Alpert, BA 또는 BAG 게이지 또는 진공 센서라고도 함)를 포함한 다양한 유형의 진공 기술을 제공합니다. 이 진공 기술은 냉음극 진공 기술에 비해 더 높은 정확도로 반도체 산업에서 인기가 있습니다. 고온 이온 게이지는 냉음극 게이지보다 더 나은 정확도를 제공하지만 고온 이온 게이지는 더 비싸고 청소할 수 없으며 오염에 더 취약하여 오래 지속되지 않습니다.
