Televac® 3F 미니 BA 핫 이온 초고진공 게이지(UHV)

3F Hot Ion Vacuum Gauge
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부품 번호: 3451-8305-25, 3451-8305-35, 3452-8306-05

호환 대상: MC300(레거시 ), MM200(레거시)

Televac® 3F 미니 BA 고온 음극 이온화 UHV 게이지는 고진공에서 입증된 정확성과 탁월한 내구성으로 성능을 극대화합니다. 미니어처 센서의 견고한 전체 금속 구조는 대부분의 응용 분야에 이상적이며, 기본 인클로저와 대부분의 내부 요소는 304 스테인리스 스틸로 제작되었습니다. 이중 필라멘트는 이트리아 코팅 이리듐으로 개별적으로 지지되어 온도와 사용 기간의 변화에 따라 균일한 출력을 제공하고 보정 오류가 적습니다. 코팅된 이리듐 필라멘트는 더 낮은 재료로는 불가능한 견고함으로 압력 파열을 견디는 경향이 있습니다. 일반적인 사용자는 10,000시간의 필라멘트 수명을 경험해야 합니다. 정밀 이온 수집기는 직경이 0.004인치로 게이지의 엑스레이 한계를 줄여줍니다.

사양

측정 범위 1*10-2 ~ 1*10~10 토르
질소에 대한 민감도 10/토르
베이크아웃 온도 200 °C
작동 온도 0°C ~ 50°C
엑스레이 제한 <1*10-10 Torr
필라멘트 방출 전류 .01, 0.1, 1.0 mA 또는 자동
필라멘트 바이어스 잠재력 +30 V +/+ 0.3%
그리드 잠재력 +180 V +/+ 0.3%
필라멘트 가열 전압 1.5V 일반(최대 2.5V)
필라멘트 가열 전류 1.5A 일반(최대 3A)
장착 방향 Any
드가 파워 5 W e-빔

응용 프로그램

극저온 및 산업용 가스
반도체
박막 증착 및 코팅 공정
분석 악기
장식 코팅
전자 현미경 검사법
환경 시뮬레이션
고에너지 물리학
조명 제품 Mfg.
마그네틱 미디어 Mfg.
분자 빔 에피탁시
광학 및 기능 코팅
물리적 증기 증착
표면 과학
열 처리