공차와 정확도 사양 및 진공 테스트 포인트
섹션 1 - 설명
일반: 이 문서에서는 Televac®에서 제공하는 다양한 진공 센서, 진공 컨트롤러 및 액티브 진공 게이지의 진공 교정 테스트 포인트 및 허용 오차뿐만 아니라 Televac®에서 사용할 수 있는 교정 옵션에 대해 설명합니다. 모든 값은 토르 단위이며, 별도의 언급이 없는 한 질소 가스를 사용하여 보정합니다. Televac®은 모든 제품에 대한 진공 테스트 포인트 및 공차를 변경할 수 있는 권리를 보유합니다. Televac®의 승인 없이 장치를 변경하면 장치의 교정 인증서 또는 적합성 인증서가 무효화됩니다. 요청 시 추가 맞춤형 테스트 포인트를 사용할 수 있습니다.
ISO 17025 공인 교정에 대한 설명: 프레드릭스 컴퍼니는 1E-6 토르 ~ 1000 토르 범위의 진공 및 압력 교정에 대해 ISO 17025 인증을 받았습니다. ISO 17025 인증을 받은 시스템을 사용하여 NIST에서 추적 가능한 참조 표준에 따라 다양한 지점(게이지에 따라 다름)에서 질소 가스로 (진공 스탠드에서) 장치를 진공 교정합니다. 여기에는 들어오는 데이터(있는 그대로), 교정 조정 후 나가는 데이터(왼쪽) 및 각 지점의 참조 표준 불확도가 포함됩니다. 간단한 결정 규칙을 사용한 적합성 선언문이 포함되어 있습니다. 적합성 결정은 측정 불확도를 포함하지 않고 측정 결과를 텔레바크_오차 양식에 정의된 교정 한계와 비교하여 이루어집니다.
NIST 추적 가능 교정에 대한 설명: 프레드릭스 컴퍼니는 NIST 추적 가능 교정을 제공하며, 이 교정을 통해 다양한 지점(게이지에 따라 다름)에서 질소 가스로 장치를 진공 스탠드에서 NIST 추적 가능한 기준 표준에 따라 진공 교정할 수 있습니다(게이지에 따라 다름). 여기에는 들어오는 데이터(있는 그대로), 교정 조정 후 나가는 데이터(왼쪽)가 포함되지만 각 지점의 기준 불확실성은 포함되지 않습니다(ISO 17025 공인 교정에는 불확실성이 포함됨).
공장(표준) 캘리브레이션에 대한 설명: 프레데릭스 컴퍼니는 전기 장비만을 사용하여 장치를 전기적으로 검증하는 표준(공장) 캘리브레이션을 제공합니다. 이 검증에는 특정 전기 신호가 적용될 때 장치가 지정된 허용 오차 범위 내에서 진공 판독값을 제공하는지 확인하는 작업이 포함됩니다. 이는 진공 보정이 아니며 컨트롤러 또는 활성 게이지에 연결했을 때 센서가 정확하게 판독된다는 것을 보장하지 않습니다. 이는 센서 오염과 센서 간 기계적 변동성을 전기적 검증으로 설명할 수 없기 때문입니다.
섹션 2 - 보정 옵션 비교 표
| 설명 | 공장(표준) | NIST 추적 가능 | ISO 17025 인증 |
| 전기적 검증 | 예 | 아니요 | 아니요 |
| NIST 추적 가능한 레퍼런스에 대한 진공 비교 보정 | 아니요 | 예 | 예 |
| 참조 표준 불확실성 포함 | 아니요 | 아니요 | 예 |
| ISO 17025 공인 보정 | 아니요 | 아니요 | 예 |
섹션 3 - 2A, 2A VacuMini, 2A NASA Mini 파트 1
적용 가능한 컨트롤러 및 액티브 게이지 MX200, MM200, MC300, MV2A, 컴팩트 2A, VacuGuard™, B2A 휴대용, MP2AR
공장(표준) 캘리브레이션
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 0.0E+0 | -1.0E-3 | 1.0E-3 |
| 1.0E-1 | 9.0E-2 | 1.1E-1 |
| 1.0E+0 | 8.0E-1 | 1.2E+0 |
NIST 추적 가능한 보정
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 0.0E+0 | -1.0E-3 | 1.0E-3 |
| 1.0E-2 | 9.0E-3 | 1.1E-2 |
| 2.0E-2 | 1.8E-2 | 2.2E-2 |
| 5.0E-2 | 4.5E-2 | 5.5E-2 |
| 1.0E-1 | 9.0E-2 | 1.1E-1 |
| 2.0E-1 | 1.6E-1 | 2.4E-1 |
| 5.0E-1 | 4.0E-1 | 6.0E-1 |
| 1.0E+0 | 8.0E-1 | 1.2E+0 |
NIST 추적 가능한 GE 항공 사양 P10TF3 호환 보정
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 0.0E+0 | -1.0E-3 | 1.0E-3 |
| 1.0E-2 | 9.0E-3 | 1.1E-2 |
| 2.0E-2 | 1.8E-2 | 2.2E-2 |
| 5.0E-2 | 4.5E-2 | 5.5E-2 |
| 1.0E-1 | 9.0E-2 | 1.1E-1 |
| 2.0E-1 | 1.7E-1 | 2.3E-1 |
| 5.0E-1 | 4.3E-1 | 5.8E-1 |
| 1.0E+0 | 8.5E-1 | 1.2E+0 |
ISO 17025 공인 교정
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 1.0E-3 | 0.0E-3 | 2.0E-3 |
| 1.0E-2 | 9.0E-3 | 1.1E-2 |
| 2.0E-2 | 1.8E-2 | 2.2E-2 |
| 5.0E-2 | 4.5E-2 | 5.5E-2 |
| 1.0E-1 | 9.0E-2 | 1.1E-1 |
| 2.0E-1 | 1.6E-1 | 2.4E-1 |
| 5.0E-1 | 4.0E-1 | 6.0E-1 |
| 1.0E+0 | 8.0E-1 | 1.2E+0 |
ISO 17025 공인 GE 항공 사양 P10TF3 호환 보정
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 1.0E-3 | 0.0E-3 | 1.0E-3 |
| 1.0E-2 | 9.0E-3 | 1.1E-2 |
| 2.0E-2 | 1.8E-2 | 2.2E-2 |
| 5.0E-2 | 4.5E-2 | 5.5E-2 |
| 1.0E-1 | 9.0E-2 | 1.1E-1 |
| 2.0E-1 | 1.7E-1 | 2.3E-1 |
| 5.0E-1 | 4.3E-1 | 5.8E-1 |
| 1.0E+0 | 8.5E-1 | 1.2E+0 |
섹션 4 - 2A, 2A VacuMini, 2A NASA Mini 파트 2
적용 가능한 컨트롤러 및 액티브 게이지
MX2A
공장(표준) 캘리브레이션
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 0.0E+0 | -1.0E-3 | 1.0E-3 |
| 1.0E-1 | 9.0E-2 | 1.1E-1 |
| 1.0E+0 | 9.0E-1 | 1.1E+0 |
NIST 추적 가능한 보정
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 0.0E+0 | -1.0E-3 | 1.0E-3 |
| 1.0E-2 | 9.0E-3 | 1.1E-2 |
| 2.0E-2 | 1.8E-2 | 2.2E-2 |
| 5.0E-2 | 4.5E-2 | 5.5E-2 |
| 1.0E-1 | 9.0E-2 | 1.1E-1 |
| 2.0E-1 | 1.8E-1 | 2.2E-1 |
| 5.0E-1 | 4.5E-1 | 5.5E-1 |
| 1.0E+0 | 9.0E-1 | 1.1E+0 |
ISO 17025 공인 교정
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 1.0E-3 | 0.0E-3 | 2.0E-3 |
| 1.0E-2 | 9.0E-3 | 1.1E-2 |
| 2.0E-2 | 1.8E-2 | 2.2E-2 |
| 5.0E-2 | 4.5E-2 | 5.5E-2 |
| 1.0E-1 | 9.0E-2 | 1.1E-1 |
| 2.0E-1 | 1.8E-1 | 2.2E-1 |
| 5.0E-1 | 4.5E-1 | 5.5E-1 |
| 1.0E+0 | 9.0E-1 | 1.1E+0 |
섹션 5 - 4A 파트 1
적용 가능한 컨트롤러 및 액티브 게이지
MX200, MX4A
공장(표준) 캘리브레이션
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 0.0E+0 | -1.0E-3 | 1.0E-3 |
| 1.0E+0 | 9.0E-1 | 1.1E+0 |
| 7.6E+2 | 6.8E+2 | 8.4E+2 |
NIST 추적 가능한 보정
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 0.0E+0 | -1.0E-3 | 1.0E-3 |
| 1.0E-2 | 9.0E-3 | 1.1E-2 |
| 5.0E-2 | 4.5E-2 | 5.5E-2 |
| 1.0E-1 | 9.0E-2 | 1.1E-1 |
| 5.0E-1 | 4.5E-1 | 5.5E-1 |
| 1.0E+0 | 9.0E-1 | 1.1E+0 |
| 1.0E+1 | 9.0E+0 | 1.1E+1 |
| 1.0E+2 | 9.0E+1 | 1.1E+2 |
| 7.6E+2 | 6.8E+2 | 8.4E+2 |
ISO 17025 공인 교정
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 1.0E-3 | 0.0E-3 | 2.0E-3 |
| 1.0E-2 | 9.0E-3 | 1.1E-2 |
| 5.0E-2 | 4.5E-2 | 5.5E-2 |
| 1.0E-1 | 9.0E-2 | 1.1E-1 |
| 5.0E-1 | 4.5E-1 | 5.5E-1 |
| 1.0E+0 | 9.0E-1 | 1.1E+0 |
| 1.0E+1 | 9.0E+0 | 1.1E+1 |
| 1.0E+2 | 9.0E+1 | 1.1E+2 |
| 7.6E+2 | 6.8E+2 | 8.4E+2 |
섹션 6 - 4A 파트 2
적용 가능한 컨트롤러 및 액티브 게이지
MM200, MC300, MP4AR
공장(표준) 캘리브레이션
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 0.0E+0 | -1.0E-3 | 1.0E-3 |
| 1.0E+0 | 9.0E-1 | 1.1E+0 |
| 7.6E+2 | 6.8E+2 | 8.4E+2 |
NIST 추적 가능한 보정
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 0.0E+0 | -1.0E-3 | 1.0E-3 |
| 1.0E-2 | 9.0E-3 | 1.1E-2 |
| 5.0E-2 | 4.5E-2 | 5.5E-2 |
| 1.0E-1 | 9.0E-2 | 1.1E-1 |
| 5.0E-1 | 4.5E-1 | 5.5E-1 |
| 1.0E+0 | 9.0E-1 | 1.1E+0 |
| 1.0E+1 | 9.0E+0 | 1.1E+1 |
| 1.0E+2 | 8.0E+1 | 1.2E+2 |
| 7.6E+2 | 6.8E+2 | 8.4E+2 |
ISO 17025 공인 교정
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 1.0E-3 | 0.0E-3 | 2.0E-3 |
| 1.0E-2 | 9.0E-3 | 1.1E-2 |
| 5.0E-2 | 4.5E-2 | 5.5E-2 |
| 1.0E-1 | 9.0E-2 | 1.1E-1 |
| 5.0E-1 | 4.5E-1 | 5.5E-1 |
| 1.0E+0 | 9.0E-1 | 1.1E+0 |
| 1.0E+1 | 9.0E+0 | 1.1E+1 |
| 1.0E+2 | 8.0E+1 | 1.2E+2 |
| 7.6E+2 | 6.8E+2 | 8.4E+2 |
섹션 7 - 7B, 7E, 7M, 7F, 7FC, 7FCS 파트 1
적용 가능한 컨트롤러 및 액티브 게이지
MX200, MM200, MC300, MP7ER, MP7FR
공장(표준) 캘리브레이션
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 1.0E-5 | 6.0E-6 | 1.6E-5 |
| 1.0E-4 | 6.0E-5 | 1.6E-4 |
NIST 추적 가능한 보정
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 1.0E-6 | 6.0E-7 | 1.6E-6 |
| 5.0E-6 | 3.2E-6 | 8.0E-6 |
| 1.0E-5 | 6.3E-6 | 1.6E-5 |
| 5.0E-5 | 3.2E-5 | 8.0E-5 |
| 1.0E-4 | 6.3E-5 | 1.6E-4 |
ISO 17025 공인 교정
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 1.0E-6 | 6.0E-7 | 1.6E-6 |
| 5.0E-6 | 3.2E-6 | 8.0E-6 |
| 1.0E-5 | 6.3E-6 | 1.6E-5 |
| 5.0E-5 | 3.2E-5 | 8.0E-5 |
| 1.0E-4 | 6.3E-5 | 1.6E-4 |
섹션 8 - 7B, 7E, 7M, 7F, 7FC, 7FCS 파트 2
적용 가능한 컨트롤러 및 액티브 게이지
MX7B, MX7M
공장(표준) 캘리브레이션
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 1.0E-05 | 7.0E-06 | 1.3E-05 |
| 1.0E-04 | 7.0E-05 | 1.3E-04 |
NIST 추적 가능한 보정
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 1.0E-6 | 7.0E-7 | 1.3E-6 |
| 5.0E-6 | 3.5E-6 | 6.5E-6 |
| 1.0E-5 | 7.0E-6 | 1.3E-5 |
| 5.0E-5 | 3.5E-5 | 6.5E-5 |
| 1.0E-4 | 7.0E-5 | 1.3E-4 |
ISO 17025 공인 교정
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 1.0E-6 | 7.0E-7 | 1.3E-6 |
| 5.0E-6 | 3.5E-6 | 6.5E-6 |
| 1.0E-5 | 7.0E-6 | 1.3E-5 |
| 5.0E-5 | 3.5E-5 | 6.5E-5 |
| 1.0E-4 | 7.0E-5 | 1.3E-4 |
섹션 9 - CC-10
적용 가능한 컨트롤러 및 액티브 게이지
CC-10
공장(표준) 캘리브레이션
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 1.0E-5 | 6.0E-6 | 1.6E-5 |
| 1.0E+00 | 8.5E-1 | 1.2E+0 |
| 7.6E+2 | 7.2E+2 | 8.0E+2 |
NIST 추적 가능한 보정
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 1.0E-6 | 6.3E-7 | 1.6E-6 |
| 5.0E-6 | 3.2E-6 | 8.0E-6 |
| 1.0E-5 | 6.3E-6 | 1.6E-5 |
| 5.0E-5 | 3.2E-5 | 8.0E-5 |
| 1.0E-4 | 6.3E-5 | 1.6E-4 |
| 1.0E-3 | 6.3E-4 | 1.6E-3 |
| 1.0E-2 | 6.3E-3 | 1.6E-2 |
| 1.0E-1 | 8.5E-2 | 1.2E-1 |
| 1.0E+0 | 8.5E-1 | 1.2E+0 |
| 1.0E+1 | 8.5E+0 | 1.2E+1 |
| 1.0E+2 | 8.5E+1 | 1.2E+2 |
| 7.6E+2 | 7.2E+2 | 8.0E+2 |
ISO 17025 공인 교정
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 1.0E-6 | 6.3E-7 | 1.6E-6 |
| 5.0E-6 | 3.2E-6 | 8.0E-6 |
| 1.0E-5 | 6.3E-6 | 1.6E-5 |
| 5.0E-5 | 3.2E-5 | 8.0E-5 |
| 1.0E-4 | 6.3E-5 | 1.6E-4 |
| 1.0E-3 | 6.3E-4 | 1.6E-3 |
| 1.0E-2 | 6.3E-3 | 1.6E-2 |
| 1.0E-1 | 8.5E-2 | 1.2E-1 |
| 1.0E+0 | 8.5E-1 | 1.2E+0 |
| 1.0E+1 | 8.5E+0 | 1.2E+1 |
| 1.0E+2 | 8.5E+1 | 1.2E+2 |
| 7.6E+2 | 7.2E+2 | 8.0E+2 |
섹션 10 - 1E, 1F
적용 가능한 컨트롤러 및 액티브 게이지
MX200, MM200
공장(표준) 캘리브레이션
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 5.0E+0 | 4.0E+0 | 6.0E+0 |
| 1.0E+2 | 9.0E+1 | 1.1E+2 |
| 7.6E+2 | 7.2E+2 | 8.0E+2 |
NIST 추적 가능한 보정
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 5.0E+0 | 4.5E+0 | 5.5E+0 |
| 1.0E+2 | 9.0E+1 | 1.1E+1 |
| 4.0E+2 | 3.8E+2 | 4.2E+2 |
| 7.2E+2 | 7.2E+2 | 8.0E+2 |
ISO 17025 공인 교정
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 5.0E+0 | 4.5E+0 | 5.5E+0 |
| 1.0E+2 | 9.0E+1 | 1.1E+2 |
| 4.0E+2 | 3.8E+2 | 4.2E+2 |
| 7.6E+2 | 7.2E+2 | 8.0E+2 |
섹션 11 - CDG(커패시턴스 다이어프램 게이지, 커패시턴스 마노미터)
적용 가능한 컨트롤러 및 액티브 게이지
MX200, MM200
참고: FS는 CDG의 전체 범위(일반적으로 0.1, 1, 10, 100 또는 1000 토르)를 나타냅니다.
공장(표준) 캘리브레이션
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 0.1*FS | (0.1*FS) - 2% | (0.1*FS) + 2% |
| 0.5*FS | (0.5*FS) - 2% | (0.5*FS) + 2% |
| FS | FS - 2% | FS + 2% |
NIST 추적 가능한 보정
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 0.01*FS | 0.01*FS - 0.001*FS | 0.01*FS + 0.001*FS |
| 0.1*FS | (0.1*FS) - 2% | (0.1*FS) + 2% |
| 0.2*FS | (0.2*FS) - 2% | (0.2*FS) + 2% |
| 0.3*FS | (0.3*FS) - 2% | (0.3*FS) + 2% |
| 0.4*FS | (0.4*FS) - 2% | (0.4*FS) + 2% |
| 0.5*FS | (0.5*FS) - 2% | (0.5*FS) + 2% |
| 0.6*FS | (0.6*FS) - 2% | (0.6*FS) + 2% |
| 0.7*FS | (0.7*FS) - 2% | (0.7*FS) + 2% |
| 0.8*FS | (0.8*FS) - 2% | (0.8*FS) + 2% |
| 0.9*FS | (0.9*FS) - 2% | (0.9*FS) + 2% |
| FS | FS - 2% | FS + 2% |
ISO 17025 공인 교정
| 테스트 포인트 | 낮은 공차 | 상부 허용 오차 |
| 0.01*FS | 0.01*FS - 0.001*FS | 0.01*FS + 0.001*FS |
| 0.1*FS | (0.1*FS) - 2% | (0.1*FS) + 2% |
| 0.2*FS | (0.2*FS) - 2% | (0.2*FS) + 2% |
| 0.3*FS | (0.3*FS) - 2% | (0.3*FS) + 2% |
| 0.4*FS | (0.4*FS) - 2% | (0.4*FS) + 2% |
| 0.5*FS | (0.5*FS) - 2% | (0.5*FS) + 2% |
| 0.6*FS | (0.6*FS) - 2% | (0.6*FS) + 2% |
| 0.7*FS | (0.7*FS) - 2% | (0.7*FS) + 2% |
| 0.8*FS | (0.8*FS) - 2% | (0.8*FS) + 2% |
| 0.9*FS | (0.9*FS) - 2% | (0.9*FS) + 2% |
| FS | FS - 2% | FS + 2% |