Televac AN 3020: Вакуумная терминология Ссылка

1. Резюме

Терминология измерения вакуума часто является уникальной для конкретных отраслей промышленности и/или используется взаимозаменяемо. В данном документе представлен обзор различных терминов и их взаимосвязь.

2. Терминология

1. Аналоговый выход, выход рекордера, выход 0 - 10 В постоянного тока; все взаимозаменяемые термины для одного и того же, выход напряжения, соответствующего давлению.

2. Низкий вакуум, грубый вакуум, грубый вакуум, высокое давление; взаимозаменяемые термины для того же самого, в зависимости от того, с кем вы говорите, являются давления между ~760 Torr и ~25 Torr, или ~760 Torr и ~10-3 Torr. Последний также определяется как средний вакуум.

3. Высокий вакуум, низкое давление; взаимозаменяемые термины для того же самого, обычно определяемые как 10-3 Torr до 10-9 Torr.

4. Сверхвысокий вакуум, СВЧ, очень низкое давление; взаимозаменяемые термины для того же самого, обычно определяемые как 10-9 Torr до 10-12 Torr.

5. Крайне высокий вакуум, XHV, очень низкое давление; взаимозаменяемые термины для того же самого, обычно определяемые как давления ниже 10-12 Торр.

6. Микрон, миллитор, мТорр; все условия для одного и того же, равны 10-3 или 0.001 Торр.

7. PLC, или программируемый логический контроллер; "мозг" вашей вакуумной системы, обычно поставляемый Rockwell Collins/Allen-Bradley или Siemens, хотя есть несколько других производителей.

8. ЧМИ или человеко-машинный интерфейс; дисплей для вашей вакуумной системы.

9. Манометр, пассивный манометр, датчик, преобразователь, трубка или какая-либо их комбинация; все эти термины являются взаимозаменяемыми для одного и того же, для большей ясности мы хотели бы назвать их "пассивными вакуумметрами". Иногда эти термины используются для обозначения пассивного вакуумметра в сочетании с электроникой, которую мы называем "активным манометром". Это важное различие для определённых применений, особенно для тех, где присутствует излучение (активные вакуумметры будут быстро разрушаться в облучаемых средах).

10. Пирани, конвекция, конвектор, ТС, термопары, технически все они разные (за исключением ТС и термопары), но они часто используются как взаимозаменяемые. Широкий термин для всех этих типов датчиков является "датчик теплопроводности".

11. CDG, мембранный измеритель емкости, манометр емкости, баратрон; все взаимозаменяемые термины для одного и того же. Baratron является зарегистрированной торговой маркой компании MKS Instruments, Inc.

12. Холодный катод, CC, холодный ионизационный манометр, ионизационный манометр, ионизационный манометр, Пеннинг; обычно все взаимозаменяемые термины для одного и того же предмета. Существуют различные типы холодных катодов, но большинство производителей и пользователей не делают различий между ними.

13. Горячий ион, горячая ионизация, горячая нить, горячий катод, Баярд-Альперт, BAG (Bayard-Alpert Gauge); существуют различные типы, но все они, как правило, являются взаимозаменяемыми терминами для одной и той же вещи.

14. Фланец, фитинг; они технически разные, но используются взаимозаменяемо. Это интерфейс между портом Вашей вакуумной системы и вакуумметром.

15. NW, KF, QF, DN, фланец Кляйна, быстрый фланец или их комбинация с двузначным номером; все это обозначения для одного и того же типа фланца. Если вас интересует, двузначное число обозначает номинальный внутренний диаметр фланца в миллиметрах.

16. CF, conflat; взаимозаменяемые названия для одного и того же типа фланцев, они обычно используются для применения в UHV.