说明
1.从真空室中取出传感器。
2.拧开盖子,露出阳极组件(要取下,逆时针旋转盖子)。
3.轻轻向上提起阳极组件,使其与机体分离。
4.将 "O "型环从机体上取下,注意不要刮伤 "O "型环座。用无绒纸巾擦拭,确保它仍然是完整的(没有裂缝或撕裂)。它应该是圆形的,而不是扁平的。
5.使用70-140目玻璃珠磨料在30psi下喷射整个阳极组件,注意不要损坏玻璃贯穿件。(如果注意到玻璃珠上有任何彩虹效应,则馈入件可能存在裂缝,应更换阳极组件(7B型的PN 2-6200-37和7E型的PN 2-7900-51)。
6.用玻璃珠喷洒机身,集中在杆件和 "O "形环区域。清洁其余的内部零件。如果管子的螺纹端需要清洁,也可以用玻璃珠喷砂。
7.清洁后,用干燥空气吹出任何残留的玻璃珠或灰尘。请注意,所有的金属颗粒都已从杆件区域清除。
8.用Apiezon L或M润滑脂(一种真空认可的润滑脂)重新润滑 "O "形环。不要涂抹过多的润滑脂,"O "型环应该是有光泽的。
9.将 "O "型环装入机体。
10.在安装完 "O "型环后,将阳极组件装入阀体。观察键槽的位置。
11.拧上盖子,用手紧固。
12.重新安装在真空室中。
13.当抽到高真空时,允许几个小时的时间让管子脱气。
14.如果清洗和装配正确,测量管就可以直接使用,无需重新校准,除非需要NIST
可追溯的校准。