1.小结
真空测量术语通常是特定行业所特有的,或者是可以互换使用的。本文件概述了不同的术语以及它们之间的关系。
2.2. 术语
1.模拟输出,记录器输出,0~10 V直流输出;都是同一事物的互换名词,对应压力的电压输出。
2.低真空、粗真空、粗真空、高压;同一事物的可互换术语,取决于你在和谁说话这些压力在约760托尔和约25托尔之间,或约760托尔和约10-3托尔之间。后者也被定义为中等真空。
3.高真空、低压;同一事物的可互换术语,通常定义为10-3托尔至10-9托尔。
4. 超高真空,UHV,极低压力;同一事物的可互换术语,通常定义为10-9托尔至10-12托尔。
5.极高真空,XHV,极低压力;同一事物的可互换术语,通常定义为低于10-12托的压力。
6.微米、毫托尔、毫托尔;都是同一个词,等于10-3或0.001托尔。
7.PLC,或可编程逻辑控制器;真空系统的"大脑",通常由罗克韦尔-柯林斯/艾伦-布拉德利或西门子提供,但也有其他几家制造商。
8.人机界面,即人机界面;真空系统的显示屏。
9. 仪表、被动式仪表、传感器、传感器、管子,或这些术语的某种组合;所有这些术语都可以互换,表示同一事物,为清楚起见,我们喜欢将这些术语称为"被动式真空计"。有时,这些术语被用来表示与电子器件相结合的被动真空计,我们将其称为"主动真空计"。这对于某些应用来说是一个重要的区别,特别是那些存在辐射的应用(有源真空计在辐照环境下会迅速退化)。
10.皮拉尼、对流、对流子、TC、热电偶;这些在技术上都是不同的(除了TC和热电偶),但它们经常被互换使用。所有这些类型的仪表的广义名称是"导热仪"。
11.CDG,电容式膜片计,电容式压力计,Baratron;都是同一事物的可互换术语。Baratron是MKS仪器公司的注册商标。
12. 冷阴极、CC、冷电离计、电离计、离子计、潘宁;通常都是同一事物的互换术语。冷阴极有不同的类型,但大多数厂家和用户并不区分它们。
13.热离子、热电离、热丝、热阴极、Bayard-Alpert、BAG(Bayard-Alpert Gauge);有不同的类型,但这些通常都是同一事物的可互换术语。
14.法兰、接头;这些在技术上是不同的,但它们可以互换使用。这是真空系统上的端口和真空表之间的接口。
15.NW、KF、QF、DN、Klein法兰、快速法兰,或者是一些带有两位数数字的组合; 这些都是同一类型法兰的代号。如果你有兴趣,两位数的数字表示法兰的公称内径,单位是毫米。
16. CF, conflat;同一类型法兰的可互换名称,这些通常用于超高压应用。