宗旨
该应用说明解释了如何使用MX2A或MX4A粗真空有源真空计的集电极开路设定点来自动控制MP7ER或MP7FR冷阴极高真空有源真空计的开启/关闭。
相关 Televac 产品
本文件适用于下列Televac®产品
| 说明 | 部件号 |
| MX2A | 2-8910-1XX |
| MX4A | 2-8930-1XX |
| MP7ER | 2-7950-XXX |
| MP7FR | 2-7970-XXX |
| MX2A/MX4A 6导体电缆 | 2-9857-XXX |
| MP7ER/MP7FR 9导体电缆。 | 2-9852-XXX |
背景介绍
Televac® MX2A和MX4A是用于粗真空测量（1*10-3托至 1000 托）的热导率主动真空计，Televac®MP7ER和MP7FR是用于高真空测量（1*10-11/1*10-8 托至 1*10-2托）的冷阴极主动真空计。
由于冷阴极的设计，在1*10-2Torr以上的压力下不开启冷阴极是很重要的。这有助于防止溅射，以及在较高压力下开启冷阴极时发生的氧化和污染，从而导致读数不准确和损坏仪表。
由于冷阴极的读数不能超过 1*10-2托，因此必须使用MX2A或MX4A等粗真空计在 1*10-2托时开关冷阴极。
MX2A和MX4A都包含一个集电极开路设置点，它本质上是一个开关，可以设置为特定的真空读数。在本例中，我们将设定点设置为 1*10-2Torr。该设定点开关可直接连接到MP7ER或MP7FR 的冷阴极开/关控制引脚，从而创建一个独立的有源真空计系统，测量范围从 1*10-11/1*10-8Torr 到 1000 Torr。
设置 MX2A/MX4A 设定点 1（开路集电极）
MX2A/MX4A设定点1开式集电极有两种设置。
1.SP1H（设定点1高）--设定点停用的真空读数。
2.SP1L（设定点1低）--设定点激活的真空读数。
当设定点用于控制MP7ER/MP7FR时，我们推荐SP1H和SP1L的设置如下。
1.SP1H-0.012托尔(相当于12毫托尔、12微米和1.2*10-2托尔)
2.SP1L-0.010托尔(相当于10毫托尔、10微米和1.0*10-2托尔)
请注意，这些是建议，您的系统可能需要不同的设置。
要更改SP1H和SP1L设置，请按照以下步骤进行。
1.在测量屏幕上，按两次SEL键。
2.2. 屏幕将显示"Setpoints SP1L .XXX"（其中.XXX为当前设置）。
3.按ENT键，屏幕上方中央将显示"ADJ"。
4.使用向上和向下箭头调整数值，直到读出".010"。
5.按ENT键，屏幕上方的"ADJ"将随之消失。
6.按向下箭头，屏幕将显示"Setpoints SP1H .XXX"（其中.XXX为当前设置）。
7.按ENT键，屏幕上方中央再次显示"ADJ"。
8.使用向上和向下箭头调整数值，直到读出".012"。
9.按ENT键，屏幕上方的"ADJ"将随之消失。
10.按SEL键三次，返回测量屏幕（或等待超时）。
The SP1H and SP1L settings can also be changed via RS-485 communications using the W2 command. The command to change the SP1H and SP1L settings to the values recommended above is the following (where X is the address of the unit, default is 0, and <cr> is a carriage return which is equivalent to pressing the enter key on your keyboard):
1. *XW210021202<cr>
连接 MX2A/MX4A 和 MP7ER/MP7FR
这些说明假定使用Televac®MX2A/MX4A 电缆 PN 2-9857-XXX 和Televac®MP7ER/MP7FR 电缆 PN 2-9852-XXX。完成第 3 节所述的 MX2A/MX4A 设置后，进行下表列出的连接。该设置将为两个装置供电，将 MX2A/MX4A 设置点 1 的源连接接地，并将 MX2A/MX4A 设置点 1 的漏极开路连接到 MP7ER/MP7FR 的冷阴极开/关控制引脚。
当系统被抽空并达到1.0*10-2Torr时，MX2A/MX4A的设定点1将切换，将MP7ER/MP7FR的冷阴极接通/断开控制引脚与地连接，使其接通。反之，当系统通风或漏风，达到1.2*10-2Torr时，控制引脚将与地断开，关闭冷阴极。
注：
1.图中所示的导线之间不需要直接连接，例如可以通过电子柜中的接线端子进行接线。
2.2. 系统可能需要额外的连接；例如，模拟0至10 V直流输出线可能需要连接到PLC的模拟输入，或者RS-485线可能需要连接到PLC。
| MX2A/MX4A | MP7ER/MP7FR | 说明 |
| 引脚5（绿色 | 引脚1（棕色 | 设定点1连接到冷阴极开/关控制引脚。 |
| 引脚12（黑色 | 查看说明 | 接电源（-）地线，任意连接。 |
| 引脚8（红色 | 引脚4（黄色 | 电源 (+) 24 V DC, 这些可以独立连接。 |
| 引脚15（黑色 | 引脚2（红色 | 电源(-)地，可独立连接。 |
其他考虑因素
这些说明描述了MX2A/MX4A可以用来自动切换MP7ER/MP7FR的冷阴极控制引脚的一种方法。还有其他各种可能更适合您独特的真空系统的方法，包括以下几种。
1.用MX2A/MX4A设定点2继电器切换MP7ER/MP7FR的冷阴极控制脚。
2.从PLC(或其他控制系统)监测MX2A/MX4A的模拟输出，将模拟输出转换为真空读数，用PLC直接切换MP7ER/MP7FR的冷阴极控制引脚的1*10-2托(10微米)。
3.与方案2类似，但用RS-485通讯方式监测MX2A/MX4A的真空读数。
