Televac AN 3023:用MX2A/MX4A自动控制MX7B/MX7M。

宗旨

本应用说明解释了如何使用MX2AMX4A粗真空有源真空计的继电器设定点来自动启用和禁用MX7BMX7M冷阴极高真空有源真空计。

相关Televac®产品

本应用说明适用于下面列出的Televac®产品。

说明 部件号
MX2A 2-8910-1XX
MX4A 2-8930-1XX
MX7B 2-8940-XXX
MX7M 2-8950-XXX
MX2A/MX4A 15导体电缆 2-9858-XXX
MX7B/MX7M 6导体电缆。 2-9873-XXX
MX7B/MX7M 15 导线电缆。 2-9858-XXX

背景介绍

Televac® MX2A MX4A是用于粗真空测量(1*10-3托至 1000 托)的热导率真空计。Televac® MX7BMX7M是冷阴极真空计,用于高真空和超高真空测量(1*10-11/1*10-8 托至 1*10-2托)。

由于冷阴极的设计,重要的是不要在超过1*10-2托的压力下开启冷阴极。在更高的压力下开启冷阴极会导致溅射、氧化和污染;这些都会导致读数不准确,并损坏传感器。因此,有必要使用粗真空计,如MX2AMX4A,在压力超过1*10-2Torr时禁用冷阴极。

MX2AMX4A都包括继电器设定点,它本质上是一个开关,可以设置为特定的真空读数。在这种情况下,设定点将是1*10-2Torr。继电器可以连接到冷阴极的电压供应器上,形成一个能够测量1*10-11/1*10-8Torr到1000 Torr的有源仪表系统。

配置 MX2A/MX4A 设定点

MX2AMX4A有2个设定点。本应用中,继电器设定点的效果最好,所以本应用说明将重点介绍设定点2。

设置点2有2个设置。

1.SP2H(设定点2高)--设定点停用的真空读数。
2.SP2L(设定点2低)--设定点激活的真空读数。

我们建议在SP2中采用以下设置来控制MX7BMX7M

1.SP2H--0.012托(12毫托,12微米,1.2*10-2托)
2.SP2L-0.010托尔(10米托尔,10微米,1.0*10-2托尔)

请注意,这些只是建议。您的系统可能需要不同的设置。

要更改SP2H和SP2L设置,请执行以下操作。

1.按SEL按钮,直到屏幕上显示"Setpoints"。
2.使用向上/向下箭头,直到屏幕显示"SP2L"。
3.3. 按ENT键。现在屏幕顶部将显示"ADJ"。
4.使用向上/向下箭头将数值调整到所需的SP2L。在我们上面的建议中,这将是0.010。
5.5. 再次按ENT键保存更改。屏幕顶部的"ADJ"将消失。
6.6. 按向下箭头。屏幕现在应该显示SP2H。如果没有,按箭头直到显示为止。
7.7. 按ENT键。"ADJ"将重新出现在屏幕顶部。
8.8. 使用向上/向下箭头将数值调整到所需的SP2H。在我们上面的建议中,这将是0.012。
9.9. 再次按ENT键保存新的设置。屏幕上方的"ADJ"将消失。
10.按SEL键,直到到达测量屏幕或等待屏幕超时。

SP2H和SP2L也可以通过RS-485 W3命令来改变。以下命令将把SP2H和SP2L改为我们推荐的值。

Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed):

*XW310021202<cr>

有关 W3 命令的更多信息,请参阅MX2AMX4A的使用手册。

在MX7B/MX7M上启用引脚控制

MX7B/MX7M必须进入引脚控制模式,然后才能用MX2A/MX4A打开和关闭。要使仪表进入引脚控制模式,请按照以下步骤进行。

1.按SEL键,直到屏幕上显示"系统设置"。如果最初在测量屏幕上,应按2次才能到达此屏幕。
2.2. 按SEL键,直到屏幕上显示Vsense Control。这应该是第四个设置。
3.3. 使用上下箭头将其设置为引脚控制。

这也可以通过RS-485 W8命令来完成。下面的命令将使装置进入引脚控制模式。

Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed).

*XW81<cr>

有关W8命令的更多信息,请参阅MX7BMX7M手册。

现在,MX7B/MX7M已经可以通过MX2A/MX4A的继电器来控制了。

将 MX2A/MX4A 连接到 MX7B/MX7M

MX7B/MX7M的引脚控制是根据13和14脚来切换的。当它们短路时,冷阴极开启。否则,冷阴极将关闭。

当压力高于设定点时,MX2A/MX4A的继电器将连接11和3号引脚,当压力低于设定点时,将连接11和4号引脚。因此,可以用来短接引脚13和14。下表和图显示了可以让继电器控制MX7B/MX7M的连接。

MX2A/MX4A MX7B/MX7M
引脚11(SP2 COM) 引脚13
引脚4(SP2 NO) 引脚14

 

现在只有当MX2A/MX4A检测到压力低于1*10-2时,MX7B/MX7M才会开启冷阴极。

请注意,有必要为设备供电。此外,根据不同的应用,可能需要连接到模拟或RS-485连接。

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