Televac AN 3023:用MX2A/MX4A自动控制MX7B/MX7M。

宗旨

This application note explains how the relay set point of an MX2A or MX4A rough vacuum active gauge can be used to automatically enable and disable an MX7B or MX7M cold cathode high vacuum active gauge.

相关Televac®产品

本应用说明适用于下面列出的Televac®产品。

说明 部件号
MX2A 2-8910-1XX
MX4A 2-8930-1XX
MX7B 2-8940-XXX
MX7M 2-8950-XXX
MX2A/MX4A 15导体电缆 2-9858-XXX
MX7B/MX7M 6导体电缆。 2-9873-XXX
MX7B/MX7M 15 导线电缆。 2-9858-XXX

背景介绍

The Televac® MX2A and MX4A are thermal conductivity gauges for rough vacuum measurement (1*10-3 Torr to 1000 Torr). The Televac® MX7B and MX7M are cold cathode gauges for high and ultra high vacuum measurement (1*10-11/1*10-8 Torr to 1*10-2 Torr).

由于冷阴极的设计,重要的是不要在超过1*10-2托的压力下开启冷阴极。在更高的压力下开启冷阴极会导致溅射、氧化和污染;这些都会导致读数不准确,并损坏传感器。因此,有必要使用粗真空计,如MX2AMX4A,在压力超过1*10-2Torr时禁用冷阴极。

MX2AMX4A都包括继电器设定点,它本质上是一个开关,可以设置为特定的真空读数。在这种情况下,设定点将是1*10-2Torr。继电器可以连接到冷阴极的电压供应器上,形成一个能够测量1*10-11/1*10-8Torr到1000 Torr的有源仪表系统。

Configuring the MX2A/MX4A Set Point

MX2AMX4A有2个设定点。本应用中,继电器设定点的效果最好,所以本应用说明将重点介绍设定点2。

设置点2有2个设置。

1.SP2H(设定点2高)--设定点停用的真空读数。
2.SP2L(设定点2低)--设定点激活的真空读数。

我们建议在SP2中采用以下设置来控制MX7BMX7M

1.SP2H--0.012托(12毫托,12微米,1.2*10-2托)
2.SP2L-0.010托尔(10米托尔,10微米,1.0*10-2托尔)

请注意,这些只是建议。您的系统可能需要不同的设置。

要更改SP2H和SP2L设置,请执行以下操作。

1.按SEL按钮,直到屏幕上显示"Setpoints"。
2.使用向上/向下箭头,直到屏幕显示"SP2L"。
3.3. 按ENT键。现在屏幕顶部将显示"ADJ"。
4.使用向上/向下箭头将数值调整到所需的SP2L。在我们上面的建议中,这将是0.010。
5.5. 再次按ENT键保存更改。屏幕顶部的"ADJ"将消失。
6.6. 按向下箭头。屏幕现在应该显示SP2H。如果没有,按箭头直到显示为止。
7.7. 按ENT键。"ADJ"将重新出现在屏幕顶部。
8.8. 使用向上/向下箭头将数值调整到所需的SP2H。在我们上面的建议中,这将是0.012。
9.9. 再次按ENT键保存新的设置。屏幕上方的"ADJ"将消失。
10.按SEL键,直到到达测量屏幕或等待屏幕超时。

SP2H和SP2L也可以通过RS-485 W3命令来改变。以下命令将把SP2H和SP2L改为我们推荐的值。

Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed):

*XW310021202<cr>

See the instruction manual for the MX2A and MX4A for more information on the W3 command.

在MX7B/MX7M上启用引脚控制

MX7B/MX7M必须进入引脚控制模式,然后才能用MX2A/MX4A打开和关闭。要使仪表进入引脚控制模式,请按照以下步骤进行。

1.按SEL键,直到屏幕上显示"系统设置"。如果最初在测量屏幕上,应按2次才能到达此屏幕。
2.2. 按SEL键,直到屏幕上显示Vsense Control。这应该是第四个设置。
3.3. 使用上下箭头将其设置为引脚控制。

这也可以通过RS-485 W8命令来完成。下面的命令将使装置进入引脚控制模式。

Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed).

*XW81<cr>

有关W8命令的更多信息,请参阅MX7BMX7M手册。

现在,MX7B/MX7M已经可以通过MX2A/MX4A的继电器来控制了。

Connecting the MX2A/MX4A to the MX7B/MX7M

MX7B/MX7M的引脚控制是根据13和14脚来切换的。当它们短路时,冷阴极开启。否则,冷阴极将关闭。

当压力高于设定点时,MX2A/MX4A的继电器将连接11和3号引脚,当压力低于设定点时,将连接11和4号引脚。因此,可以用来短接引脚13和14。下表和图显示了可以让继电器控制MX7B/MX7M的连接。

MX2A/MX4A MX7B/MX7M
引脚11(SP2 COM) 引脚13
引脚4(SP2 NO) 引脚14

 

现在只有当MX2A/MX4A检测到压力低于1*10-2时,MX7B/MX7M才会开启冷阴极。

请注意,有必要为设备供电。此外,根据不同的应用,可能需要连接到模拟或RS-485连接。

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