Televac AN 3024:用MP2AR/MP4AR自动控制MX7B/MX7M。

宗旨

本应用说明解释了如何利用MP2ARMP4AR粗真空有源表的继电器设定点来自动启用和禁用MX7BMX7M冷阴极高真空有源表。

相关Televac®产品

本应用说明适用于下面列出的Televac®产品。

说明 部件号
MP2AR 2-7910-XXX
MP4AR 2-7930-XXX
MX7B 2-8940-XXX
MX7M 2-8950-XXX
MP2AR/MP4AR 9 导线电缆 2-9852-XXX
MX7B/MX7M 6导体电缆。 2-9873-XXX
MX7B/MX7M 15 导线电缆。 2-9858-XXX

背景介绍

Televac® MP2ARMP4AR是用于粗真空测量的热导仪(1*10-3Torr至20/760 Torr)。TelevacMX7BMX7M是冷阴极仪,用于高真空和超高真空测量(1*10-11/1*10-8Torr至1*10-2Torr)。

由于冷阴极的设计,重要的是不要在超过1*10-2托的压力下开启冷阴极。在更高的压力下开启冷阴极会导致溅射、氧化和污染;这些都会导致读数不准确,并损坏传感器。因此,有必要使用粗真空计,如MP2ARMP4AR,在1*10-2托尔以上的压力下禁用冷阴极。

MP2ARMP4AR都包括一个继电器设定点,它本质上是一个开关,可以设置为一个特定的真空读数。在这种情况下,设定点将是1*10-2Torr。继电器可以连接到冷阴极的电压供应上,创建一个能够测量从高真空(10-11/10-8Torr)到粗真空(20/760 Torr)的有源仪表系统。

配置MP2AR/MP4AR设定点

MP2AR MP4AR有一个继电器设定点,当读取到一定的真空度时,可以用来输出一个信号。当需要时,这个信号就可以用来开启冷阴极。为了控制MX7B/MX7M,我们建议在1*10-2托尔时开启它们,因此设定点应配置为在该真空度下跳闸。注意,这些只是建议。您的系统可能需要不同的设置。

MP2AR/MP4AR顶部的"设定点显示"按钮可以查看当前设定点的设置。这将在显示屏上显示设定点的真空度。请注意,当压力低于1 Torr时,微米LED灯将亮起。当显示设定点值时,显示屏将闪烁。要恢复正常操作,请再次按下"设定点显示"按钮,或等待60秒超时。

设定点也可以从DB9连接器上的9号针脚读取电压值。该电压值可以通过MP2AR/MP4AR手册中描述的方法转换为真空。

要调整MP2AR/MP4AR的设定点,请执行以下操作。

  1. 使用上述任一方法查看设定点。
  2. 转动"设定点调整"螺丝,改变设定点值。
  3. 将设定点调整为10微米。

在MX7B/MX7M上启用引脚控制

MX7B/MX7M必须先进入引脚控制模式,然后才能用MP2AR/MP4AR打开和关闭。要使仪表进入引脚控制模式,请按照以下步骤进行。

  1. 按SEL键,直到屏幕上显示"系统设置"。如果最初在测量屏幕上,应按2次才能到达此屏幕。
  2. 按SEL键,直到屏幕上显示Vsense Control。这应该是第四项设置。
  3. 使用上下箭头将其设置为引脚控制。

This can also be done with the RS-485 W8 command. The following command will set the unit to pin control mode. Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed).
*XW81<cr>

有关W8命令的更多信息,请参阅MX7BMX7M手册。现在,MX7B/MX7M已经准备好由MP2AR/MP4AR的继电器来控制。

将MP2AR/MP4AR连接到MX7B/MX7M。

MX7B/MX7M的引脚控制是根据13和14脚来切换的。当它们短路时,冷阴极开启。否则,冷阴极将关闭。

当压力高于设定值时,MP2AR/MP4AR的继电器将连接2和6号引脚,当压力低于设定值时,将连接1和6号引脚。因此,可以用来短接MX7B/MX7M的13、14脚。下表和图显示了允许继电器控制MX7B/MX7M的连接。

MP2AR/MP4AR MX7B/MX7M
引脚6(继电器COM) 引脚13
引脚1(继电器NO 引脚14

 

MX7B/MX7M现在只有在MP2AR/MP4AR检测到压力低于1*10-2时才会开启冷阴极。
请注意,有必要为装置供电。此外,根据应用情况,可能需要连接到模拟或RS-485连接。

相关产品

MP4AR主动式真空计

MP2AR热电偶有源真空计

- 1*10-3Torr 至 20 Torr
- 紧凑而坚固的设计
- 传感器易于更换

MP4AR主动式真空计

MP4AR 对流式主动真空计

- 1*10-3Torr 至 20 Torr
- 紧凑而坚固的设计
- 传感器易于更换

MX7B冷阴极有源真空计数字式真空计

MX7B 冷阴极主动真空计

- 1*10-8Torr到1*10-3Torr
- 用于过程控制的设定点继电器和开放式连接器
- 结构紧凑,抗污染

RMA Thank You - MX7M冷阴极主动真空计

MX7M冷阴极主动真空计

- 5*10-11Torr到1*10-2Torr
- 用于过程控制的设定点继电器和开放式连接器
- 全金属密封导致低除气性