宗旨
本应用说明解释了如何利用MP2AR或MP4AR粗真空有源表的继电器设定点来自动启用和禁用MX7B或MX7M冷阴极高真空有源表。
相关Televac®产品
本应用说明适用于下面列出的Televac®产品。
说明 | 部件号 |
MP2AR | 2-7910-XXX |
MP4AR | 2-7930-XXX |
MX7B | 2-8940-XXX |
MX7M | 2-8950-XXX |
MP2AR/MP4AR 9 导线电缆 | 2-9852-XXX |
MX7B/MX7M 6导体电缆。 | 2-9873-XXX |
MX7B/MX7M 15 导线电缆。 | 2-9858-XXX |
背景介绍
Televac® MP2AR和MP4AR是用于粗真空测量的热导仪(1*10-3Torr至20/760 Torr)。TelevacMX7B和MX7M是冷阴极仪,用于高真空和超高真空测量(1*10-11/1*10-8Torr至1*10-2Torr)。
由于冷阴极的设计,重要的是不要在超过1*10-2托的压力下开启冷阴极。在更高的压力下开启冷阴极会导致溅射、氧化和污染;这些都会导致读数不准确,并损坏传感器。因此,有必要使用粗真空计,如MP2AR或MP4AR,在1*10-2托尔以上的压力下禁用冷阴极。
MP2AR和MP4AR都包括一个继电器设定点,它本质上是一个开关,可以设置为一个特定的真空读数。在这种情况下,设定点将是1*10-2Torr。继电器可以连接到冷阴极的电压供应上,创建一个能够测量从高真空(10-11/10-8Torr)到粗真空(20/760 Torr)的有源仪表系统。
配置MP2AR/MP4AR设定点
MP2AR 和MP4AR有一个继电器设定点,当读取到一定的真空度时,可以用来输出一个信号。当需要时,这个信号就可以用来开启冷阴极。为了控制MX7B/MX7M,我们建议在1*10-2托尔时开启它们,因此设定点应配置为在该真空度下跳闸。注意,这些只是建议。您的系统可能需要不同的设置。
按MP2AR/MP4AR顶部的"设定点显示"按钮可以查看当前设定点的设置。这将在显示屏上显示设定点的真空度。请注意,当压力低于1 Torr时,微米LED灯将亮起。当显示设定点值时,显示屏将闪烁。要恢复正常操作,请再次按下"设定点显示"按钮,或等待60秒超时。
设定点也可以从DB9连接器上的9号针脚读取电压值。该电压值可以通过MP2AR/MP4AR手册中描述的方法转换为真空。
- 使用上述任一方法查看设定点。
- 转动"设定点调整"螺丝,改变设定点值。
- 将设定点调整为10微米。
在MX7B/MX7M上启用引脚控制
MX7B/MX7M必须先进入引脚控制模式,然后才能用MP2AR/MP4AR打开和关闭。要使仪表进入引脚控制模式,请按照以下步骤进行。
- 按SEL键,直到屏幕上显示"系统设置"。如果最初在测量屏幕上,应按2次才能到达此屏幕。
- 按SEL键,直到屏幕上显示Vsense Control。这应该是第四项设置。
- 使用上下箭头将其设置为引脚控制。
This can also be done with the RS-485 W8 command. The following command will set the unit to pin control mode. Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed).
*XW81<cr>
有关W8命令的更多信息,请参阅MX7B和MX7M手册。现在,MX7B/MX7M已经准备好由MP2AR/MP4AR的继电器来控制。
将MP2AR/MP4AR连接到MX7B/MX7M。
MX7B/MX7M的引脚控制是根据13和14脚来切换的。当它们短路时,冷阴极开启。否则,冷阴极将关闭。
当压力高于设定值时,MP2AR/MP4AR的继电器将连接2和6号引脚,当压力低于设定值时,将连接1和6号引脚。因此,可以用来短接MX7B/MX7M的13、14脚。下表和图显示了允许继电器控制MX7B/MX7M的连接。
MP2AR/MP4AR | MX7B/MX7M |
引脚6(继电器COM) | 引脚13 |
引脚1(继电器NO | 引脚14 |
MX7B/MX7M现在只有在MP2AR/MP4AR检测到压力低于1*10-2时才会开启冷阴极。
请注意,有必要为装置供电。此外,根据应用情况,可能需要连接到模拟或RS-485连接。