Televac AN 3025: MM200的热离子真空计脱气说明。

宗旨

本应用说明解释了Televac®和ETI热离子真空计(也称为热电离真空计或热丝真空计)与Televac®MM200真空控制器一起使用时的脱气程序。

相关Televac®产品

本应用说明适用于所列Televac®产品。

说明 部件号
MM200真空控制器 2-7900-20
3F微型Bayard-Alpert热电离仪 345X-830X-XX

背景介绍

热离子真空计可以进入高压模式(称为"脱气"模式),该模式对灯丝施加高压,用电子轰击栅格,导致脱气和去除污染物。这样可以提高真空计在其工作范围内的性能。

我应该多长时间对我的真空计进行一次脱气?

简短的回答:Televac®建议每月脱气一次,至少每三个月脱气一次。Televac®建议每月最多脱气一次,至少每三个月一次。

答案很长。与几乎所有与真空测量有关的事情一样,答案是"取决于"。脱气的频率在很大程度上取决于您的独特工艺;在存在更多污染的环境中,或者对于需要实现UHV测量的应用(在10-10和10-11Torr范围内),脱气应该更加频繁。对于其他环境和应用,可以减少脱气的频率。

但什么是"频繁"或"经常"?要回答这个问题,重要的是要注意,太频繁的脱气会导致灯丝和栅格退化,但不脱气会影响真空计的性能和真空测量的准确性。这就回到了我们的建议,Televac®建议每月最多脱气一次,至少每三个月脱气一次。

可以定期(比如每月一次)进行脱气,也可以使用其他方法来尝试确定仪表何时需要脱气。

确定热离子表是否需要脱气的方法之一是将其与参考真空表进行比较。将参考真空计和热离子计连接到同一个真空系统(物理上尽可能地接近对方),您可以比较它们的读数,看看热离子计的读数是否有漂移。热离子计的典型精度是±10%,所以您需要考虑到这一点(下文将详细解释)。

很多东西都可以作为参考真空计,包括另一种热离子计、冷阴极计或旋转转子计(SRG)。所有这些不同类型的参考真空计都有不同的精度规格。举个例子,假设您的参考真空计也是一个热离子计,我们称它为热离子计1,我们称您在系统上一直使用的真空计为热离子计2。

您的真空系统上同时安装了热离子计1和热离子计2,您将真空泵抽下来,然后测量以下读数。

例1

  1. 热离子计1读数=1.0E-6托尔。
    1. 考虑到±10%的精度规格,您的读数公差为9.0E-7至1.1E-6 Torr。
  2. 热离子计2读数=9.0E-7。
    1. 考虑到±10%的精度规格,您的读数公差为8.1E-7至9.9E-7 Torr。
  3. 看起来你的状态不错,不需要脱气。

例二

  1. 热离子计1读数=1.0E-6托尔。
    1. 考虑到±10%的精度规格,您的读数公差为9.0E-7至1.1E-6 Torr。
  2. 热离子计2的读数=1.0E-7托尔。
    1. 考虑到±10%的精度规格,您的读数有9.0E-8至1.1E-7 Torr的公差。
  3. 这些读数超出了公差范围,看来是时候脱气了!

德加程序

这些仅适用于Televac®MM200真空控制器与Televac®和ETI热离子表。

  1. 将所有相关的真空规连接到真空系统,并将规线连接到MM200控制器。
  2. 打开MM200的电源。
  3. 将系统泵送至热离子表读数为1.0*10为止-5 或以下。
    1. 如果真空表处于"自动"模式,当粗真空表达到1*10-2托(10微米)时,真空表将自动开启。
    2. 如果仪表处于"自我"模式,则需要按照标准的开启程序手动开启。
  4. 按SETUP键,直到左侧屏幕显示"0",右侧屏幕显示"dGAS"。
    1. 左边的屏幕显示了压力表保持在脱气模式下的时间(以分钟为单位)。
  5. 使用左上、下箭头增加或减少时间。
    1. Televac®建议对仪器进行5分钟的脱气。
  6. 按 SETUP(设置)或 TEST/OP(测试/操作)键,直到设备返回测量屏幕。
  7. 仪表现在正在脱气,剩余的时间(以分钟为单位)将在右侧屏幕上闪烁。

请注意,热离子仪中有两个灯丝,上述程序将对选择的灯丝进行脱气。要更换灯丝,请按照以下步骤进行。

  1. 按SETUP键,直到左边屏幕显示"FIL",右边屏幕显示"nbr1"或"nbr2"。
  2. 使用左侧上下箭头在"nbr1"和"nbr2"(灯丝号1和灯丝号2)之间切换。
  3. 按 SETUP(设置)或 TEST/OP(测试/操作)键,直到设备返回测量屏幕。

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