Televac AN 3004:清洁7FC和7FCS冷阴极无源压力表

说明

本应用说明解释了清洁Televac® 7FC冷阴极7FCS冷阴极真空传感器的过程,这些传感器曾在恶劣的环境中使用或在10-4Torr或更高的范围内长期运行。

所需材料

正确清洗7FC冷阴极7FCS冷阴极真空传感器需要以下材料。

1.3/16 "内六角扳手

说明

1.从真空室中取出传感器。

2.拧开螺栓,露出阳极组件。

3.轻轻向上提起阳极组件,使其与机体分离。

4.从传感器上拆下铜垫圈。

5.检查阳极和本体上的刀口,确保它们处于良好状态。

6.用擦洗垫轻轻地清除阳极上的任何污染物。对于7FCS,要注意不要损坏启动辅助装置。

7.用玻璃珠轰击身体。

8.清洁后,用干燥的氮气吹出任何残留的玻璃珠或灰尘。

9.在本体中安装一个新的铜制密封垫。

10.更换机体中的阳极组件。

11.逐渐地从一个螺栓到另一个螺栓拧紧螺栓,以确保垫片的均匀压缩。

12.重新安装在真空室中。

13.当抽到高真空时,允许几个小时的时间让管子脱气。

14.如果清洗和装配正确,测量管就可以直接使用,无需重新校准,除非需要NIST
可追溯的校准。

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