- 低コストの圧電ダイアフラム真空圧力計
- コンパクトで堅牢、耐汚染性に優れた真空トランスデューサ
- ドロップイン式真空圧計交換
- 真空トランスデューサの優れたカスタマーサポート
- 高濃度汚染環境に対応したフィルター
当社の1Fピエゾダイアフラムゲージ(よく呼ばれるのは 真空圧力計、真空変換器 または 真空センサは、ピエゾダイアフラムの設計により、高速、堅牢、耐汚染性、高精度の低真空圧ゲージです。熱電対式真空計の2A、4Aと比較して、1Fピエゾダイアフラム真空センサーは、ガスに依存しない設計で、どの方向にも取り付けることができることに注意してください。
1Fピエゾダイアフラム真空センサーは、10Torr(1万ミクロン)から10,000Torr(100万ミクロン、大気圧以上)まで読み取ることができます。また、その範囲において優れた精度を持ち、MX200真空コントローラーと組み合わせることで、この真空計の動作範囲において±5%から±10%の精度を実現します。
供給電流 | 1.5 mA |
フルスケール出力 | 75 mV ~ 150 mV |
0 圧力出力 | >2 mV |
非線形性 | +/- 0.05 %~0.10 |
ヒステリシス | 0.01 %~0.05 % +/- . |
イン/アウト抵抗 | 2.5 K ~ 6.0 K Ω |
温度誤差-スパン | +/- 0.3%から0.5%まで |
温度エラー-ゼロ | +/- 0.1%から0.5%まで |
温度ヒステリシススパン | +/- .1 % |
温度ヒステリシスゼロ | +/- .1 % |
応答時間 | 1.0 mS |
出力負荷 抵抗 | 50 M Ω |
圧力過負荷(定格 | 最大3倍 |
動作温度 | 0 °C~50 °C |
加速 | 50g以下 |
衝撃 | 1000gのピークを0.05msのために |
振動 | 10 Hz~2000 Hzで20 gのピーク |
メディア | 非腐食性ガス |
熱処理・真空炉 |
低温・工業用ガス |
薄膜の成膜・コーティング工程 |
電子ビーム溶接 |
フリーズドライと食品包装 |
化学物質 |
医薬品のプロセス |
ピックアップと搬送 |