Televac® MP3DR Hot Ion Digital Vacuum Gauge

MP7FR Active Vacuum Gauge
データシートのダウンロード

Not recommended for new designs.
Replaced by Televac® MP7FR Double Inverted Magnetron Cold Cathode Active Gauge PN 2-7970-XYY.

Part Numbers: 2-2100-31, 2-7990-101, 2-7990-131, 2-7990-152

特長と効果

  • 1*10-2Torr から 1*10-10Torr への測定
  • デュアルコーティングとサポートされたフィラメントが最大の寿命を実現
  • Exceptionally low x-ray limit of < 1*10-10 Torr
  • フィラメントのワンボタン電子選択
  • CFタイプのシールと10-11標準cc/sのヘリウムリーク率により、信頼性の高い超高真空運転が可能です。
  • シンプルなデザインは、最も困難なアプリケーションでの長年の生産的な使用に問題がないことを意味します。
  • 200℃までベーク可能（センサーのみ
  • 4桁LED
  • 選択可能なエミッション電流
  • 時間選択可能なデガス
  • プロセス制御のためのデュアルTTLセットポイント
  • RS-232/485デジタル通信
  • 11.5 V～30 V DC制御インターフェース電源スイッチ

The Televac® MP3DR is a miniature Bayard-Alpert high-vacuum sensor and integral control electronics in a compact envelope. It is designed to be closely coupled to the user’s vacuum system and to provide a local pressure indication and/or digital interface to a computer control system. The MP3DR derives its performance strength from Televac®’s cutting-edge miniature Bayard-Alpert ionization sensor and user-friendly operation from its intuitive control and display interface.

仕様

測定範囲 1*10-2Torr から 1*10-10Torr への 1*10-2Torr
窒素に対する感度 10/Torr
ドガパワードガパワー 5 W電子ビーム
ベークアウト温度（センサーのみ 200 °C
動作温度 0 °C～40 °C
Ｘ線限界 < 1*10-10 Torr
フィラメントエミッション電流 0.01 mA、0.1 mA、1.0 mAまたは自動
フィラメントバイアス電位 30 V ± 0.3%
グリッドポテンシャル 180 V ± 0.3%
フィラメント加熱電圧 1.5 V (2.5 V max.)
フィラメント加熱電流 2A (最大3A)
取付方向 何れかの
制御システム
電源入力 11.5 V～30 V DC @ 750 mA
表示 セグメント化された青緑色
プロセス制御出力 各2つのTTL
デジタル通信 RS-232/485
電源/信号コネクタ 15ピンD-sub
デジタルポート デュアル、6ピンモジュラー
物理データ
高さ 5.25”
直径 3.00”
重量 19.5オンス（KF25フランジ(KF25フランジ)
動作環境
場所 屋内
高度 2000mへ
温度 0 °C～40 °C
相対湿度 80% RH～31 °C
インストール カテゴリーII

製品番号

MP3DR ホットイオン 部品番号
KF25フランジ 2-7990-131
2.75インチCFフランジ 2-2100-31
1/8" NPT ステンレス鋼 2-7990-152
1"チューブレーション 2-7990-101