テレバックMP7FR冷陰極

MP7FR Active Vacuum Gauge
データシートのダウンロード

新規設計には推奨しません。
Televac®MX7BおよびMX7Mアクティブゲージに置き換わりました。

部品番号2-7970-152 , 2-7970-352

特長と効果

  • コンパクト設計
  • どの向きにも取り付け可能
  • 最小限の迷走磁場
  • 優れたユニット間性能
  • 優れたカスタマーサポート

Televac®MP7FRアクティブUHVゲージは、簡単に交換できるTelevac® 7Fダブルインバーテッドマグネトロン冷陰極真空センサを使用しています。1*10-11Torrから1*10-2 Torrまでの広い測定範囲、プログラム可能なセットポイント、工場設定可能なアナログ出力、LEDディスプレイなど、様々な機能を備えています。本器は、磁界の存在下でガスをイオン化することにより、間接的に絶対圧を測定するものです。ホットイオンセンサと異なり、ガスの流入に強いのが特徴です。また、センサの交換は容易に分解できる構造になっています。

仕様

動作範囲 1*10-11Torr から 1*10-2Torr への 1*10-11Torr
コミュニケーション 該当なし
アナログ出力 0 V～10 V DC
プログラム可能なセットポイント 1
セットポイントタイプ リレー
電源電圧 24 V DC
最大出力 6 W
校正媒体 乾燥空気または窒素
過圧 150 psi
デジタル出力分解能 指数付き有効数字2桁
動作温度 0 °C～50 °C
保存温度 -20 °C ～ 60 °C
ベークアウト温度 150 °C (電子機器を取り外した状態)
400 °C (電子機器と磁石を取り外した状態)
表示可読距離 3 m (10 ft)
 
精度
1*10-7Torr から 1*10-2Torr への 1*10-7Torr ±0.2十年
アナログ出力 ±5 mV

アプリケーション

熱処理・真空炉
低温・工業用ガス
薄膜の成膜・コーティング工程
半導体
フリーズドライと食品包装
ロードロック
医薬品のプロセス